技術(shù)特征：

1.一種磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，由下列重量份的原料制成：ABS塑料100-150份、偶聯(lián)劑10-30份、相容劑10-20份、潤(rùn)滑劑1-5份、抗氧化劑10-20份、增塑劑20-50份和導(dǎo)電助劑10-20份。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，由下列重量份的原料制成：ABS塑料120份、偶聯(lián)劑20份、相容劑15份、潤(rùn)滑劑3份、抗氧化劑15份、增塑劑30份和導(dǎo)電助劑15份。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，所述偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑KH550。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，所述相容劑為丙烯腈-丁二烯-苯乙烯接枝馬來(lái)酸酐。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，所述潤(rùn)滑劑為液體石蠟。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，所述抗氧化劑為N,N-二苯基對(duì)苯胺。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，所述增塑劑為鄰苯二甲酸甲酯。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射塑料靶材膜，其特征在于，所述導(dǎo)電助劑為：