獨立地為碳原子數(shù)1~8的、飽和或不飽和的一價控基。作為 該一價控基,可列舉出例如甲基、乙基、丙基、己基、辛基等烷基;環(huán)戊基、環(huán)己基等環(huán)烷基; 乙締基、締丙基等鏈締基;苯基、甲苯基等芳基;2-苯乙基、2-甲基-2-苯乙基等芳烷基; 3, 3, 3-=氣丙基、2-(九氣下基)乙基、2-(十屯氣辛基)乙基、對氯苯基等面代控基。其 中,優(yōu)選為甲基、乙基。
[0044] 上述式妨中,R7彼此獨立地為碳原子數(shù)1~6的一價控基。作為該一價控基,可列 舉出甲基、乙基、丙基、下基、戊基、己基等烷基。它們可W是1種或2種W上的混合物。特 別優(yōu)選為甲基、乙基。
[0045] 作為上述式(5)所示的有機硅烷,可列舉出例如下述所示的化合物。
[0046] CeHnSi(OCHs) 3、 CioHziSi(OCHs) 3、 CizHzsSi(OCHs) 3、 CizHzsSi(OCzHs) 3、 CioHziSi(CHs) (0邸3) 2、 ?;瘨焖浦?邸3)2、 CioHziSi(CHs) (OC2H5)2、 CwHziSi (CH =邸2) (0邸3) 2、 CioHziSi(CHzCHzCFs)化CHs) 2 上述有機硅烷的配合量相對于(A)成分100質量份為0.Ol~30質量份、優(yōu)選為10~25 質量份。有機硅烷的配合量少于上述下限值時,有可能無法對組合物充分賦予濕潤性。另 夕F,配合量即使多于上述上限值,其效果也不會增加,故不經(jīng)濟。
[0047] (I)有化聚巧氣院 本發(fā)明的組合物還可W配合下述式(6)所示的有機硅烷。
[0048] [化 15]
由此,能夠提高填充材料與硅氧烷成分的濕潤性。
[0049] 上述式化)中,R8彼此獨立地為非取代或取代的、碳原子數(shù)1~18、優(yōu)選為1~10的 一價控基。作為該一價控基,可列舉出例如直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環(huán)烷基、鏈締基、芳基、 芳烷基、面代烷基等。作為直鏈狀烷基,可列舉出例如甲基、乙基、丙基、己基、辛基等。作為 支鏈狀烷基,可列舉出例如異丙基、異下基、叔下基、2-乙基己基等。作為環(huán)狀烷基,可列舉 出例如環(huán)戊基、環(huán)己基等。作為鏈締基,可列舉出例如乙締基、締丙基等。作為芳基,可列舉 出例如苯基、甲苯基等。作為芳烷基,可列舉出例如2-苯乙基、2-甲基-2-苯乙基等。作為 面代烷基,可列舉出例如3, 3, 3-=氣丙基、2-(九氣下基)乙基、2-(十屯氣辛基)乙基等。 其中,R8優(yōu)選為甲基、苯基。
[0050] 上述式(6)中,R9彼此獨立地為碳原子數(shù)1~5的烷基、烷氧基烷基、鏈締基或酷基。 作為烷基,可列舉出例如直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環(huán)狀烷基,可列舉出上述為了R8而例示 出的基團。作為烷氧基烷基,可列舉出例如甲氧基乙基、甲氧基丙基。作為酷基,可列舉出 例如乙酷基、辛酷基。其中,R9優(yōu)選為烷基,特別優(yōu)選為甲基、乙基。
[005。 上述式(6)中,q為5~100的整數(shù)、優(yōu)選為10-80的整數(shù)。C為1~3的整數(shù)、優(yōu)選為 3。
[0052] 作為上述式(6)所示的有機聚硅氧烷,可列舉出例如下述的化合物。
[0053] [化 16]
上述有機聚硅氧烷的配合量相對于(A)成分100質量份優(yōu)選為0.Ol~200質量份,更優(yōu) 選為0.Ol~150質量份。該有機聚硅氧烷的量少于上述下限值時,有可能無法充分賦予濕潤 性。另外,即使配合量多于上述上限值,賦予濕潤性的效果也不會增大,故不經(jīng)濟。
[0054] (T)二氣化巧微粉 本發(fā)明的組合物還可W配合(J)二氧化娃微粉。通過配合二氧化娃微粉,能夠對組合 物賦予形狀維持性。二氧化娃微粉使用向硅氧烷油脂組合物中添加的現(xiàn)有公知的二氧化娃 微粉即可,其中,適合使用進行了表面處理的煙霧質二氧化娃。通過進行表面處理,相對于 (A)~做成分的分散性提高,因此能夠在組合物中均勻分散。另外,由于進行了表面處理的 煙霧質二氧化娃彼此的相互作用、或者進行了表面處理的煙霧質二氧化娃與(A)-值)成分 的相互作用,能夠對將組合物固化而得到的固化物賦予形狀維持性。
[00巧]作為表面處理劑,氯硅烷、娃氮燒、硅氧烷等是有效的。作為表面處理劑的具體例, 可列舉出甲基=氯硅烷、二甲基二氯硅烷、=甲基氯硅烷、六甲基二娃氮燒、八甲基環(huán)四娃 氧燒、a,O-二甲基甲娃烷基二甲基聚硅氧烷等。
[0056] 二氧化娃微粉優(yōu)選具有50m7gW上的比表面積度ET法)、特別優(yōu)選具有100m7g W上的比表面積度ET法)。比表面積不足50m7g時,有時組合物的粘度變得過高、作業(yè)性 惡化。另外,二氧化娃微粉的比表面積(BET法)為SOOmVgW下、尤其是300mVgW下時, 形狀維持性變高,故而優(yōu)選。二氧化娃微粉的配合量相對于(A)成分100質量份為0. 1~100 質量份的范圍,優(yōu)選為1~80質量份的范圍,更優(yōu)選為1~60質量份的范圍。配合量少于上述 下限值時,固化物有可能無法具備形狀維持性。另外,配合量多于上述上限值時,組合物的 固化物不會呈現(xiàn)油脂狀、缺乏伸展性,故不優(yōu)選。
[0057] 本發(fā)明的組合物中,除了上述(A)-(J)成分之外,在不損害本發(fā)明目的的范圍內, 作為硅氧烷油脂的添加劑,還可W添加公知的添加劑。作為該添加劑,可列舉出例如受阻酪 系抗氧化劑、碳酸巧等增強性填充材料、非增強性填充材料、作為觸變性改善劑的聚酸等。 可W進一步根據(jù)需要添加顏料、染料等著色劑。
[0058] 本發(fā)明的硅氧烷組合物可W將(A)成分~(G)成分和根據(jù)需要的做成分、訊成 分、(J)成分及其它添加劑混合而制成單液附加型來長期低溫保存。
[0059] 本發(fā)明的硅氧烷組合物的制造方法沒有特別限定,根據(jù)現(xiàn)有公知的方法即可。例 如,向框式混合器(井上制作所制、商品名:planetarymixer)中?。ˋ)成分和膽)成分, 根據(jù)需要添加(H)成分、(I)成分,W70°C加熱混合1小時。將該混合物冷卻后,添加(G) 成分并在室溫下混合15分鐘。其后進一步添加(巧成分,在室溫下混合15分鐘W使其達 到均勻。其后,添加度)成分、(C)成分和值)成分,在室溫下混合15分鐘,從而能夠得到 硅氧烷組合物。
[0060] 本發(fā)明的硅氧烷組合物在25 °C下具有10~1,000化?S的粘度、優(yōu)選具有 50~300化?S的粘度。本發(fā)明的硅氧烷組合物裝入市售的注射器中并吐出在IC封裝表面 上、放熱體上來涂布。因此,粘度低于上述下限值時,涂布時產(chǎn)生液體垂落,故不優(yōu)選。另外, 粘度高于上述上限值時,涂布效率變差,故不優(yōu)選。需要說明的是,本發(fā)明中,組合物的粘度 是使用MLCOM粘度計(PC-1T類型)在25°C下測得的值。
[0061] 關于本發(fā)明的硅氧烷組合物,考慮到對IC封裝造成的應力時,將該組合物固化而 得到的固化物優(yōu)選具有由高分子計器株式會社制造的AskerC(低硬度應用)測得的硬度60 W下。
[0062] 本發(fā)明的硅氧烷組合物的固化條件沒有特別限定,可W使用與現(xiàn)有公知的硅氧烷 凝膠相同的條件。另外,本發(fā)明的硅氧烷組合物可W在分配后利用IC封裝放出的熱進行固 化。另外,也可W在分配后積極地使其加熱固化。關于加熱固化條件,優(yōu)選為80~200°C、進 一步優(yōu)選為90~180°C的范圍內的溫度,為0. 1~3小時、進一步優(yōu)選為0. 5~2小時。
[0063] 本發(fā)明的硅氧烷組合物在固化后能夠良好地粘接于IC封裝,另外能夠經(jīng)時地維 持穩(wěn)定的柔軟性,且不會從基材上剝落。另外,與現(xiàn)有硅氧烷油脂組合物的固化物相比,將 本發(fā)明的硅氧烷組合物固化而得到的固化物即使針對翅曲特別大的IC封裝也能夠使粘接 性追隨,且即使在高溫下保存也能夠維持柔軟性。因此,能夠提高可靠性高的半導體裝置。 實施例
[0064]W下示出實施例和比較例,更詳細地說明本發(fā)明,但本發(fā)明不限定于下述實施例。
[0065]W下示出實施例和比較例中使用的各成分。
[0066] (A)成分 A-I:兩末端被二甲基乙締基甲娃烷基封端且化°C下的運動粘度為600mm7s的二甲基 聚硅氧烷 A-2 :兩末端被二甲基乙締基甲娃烷基封端且25°C下的運動粘度為30000mm7s的二甲 基聚硅氧烷 度)成分: ? B-I:下述式所示的有機氨聚硅氧烷 [化 17]
? B-2 :下述式所示的有機氨聚硅氧烷 [化1引
作為比較例用樣品,使用了下述有機氨硅氧烷。
[0067] ?B-3 :下述式所示的有機氨聚硅氧烷 [化19]
? B-4 :下述式所示的有機氨聚硅氧烷 [化 20]
似成分 ? C-I:下述式所示的有機氨聚硅氧烷 [化2。
? C-