1.一種吸胚裝置,其特征在于:包括負壓產(chǎn)生機構、固定座、導向桿、吸盤和吸胚墊,固定座連接于負壓產(chǎn)生機構,吸盤夾設于固定座和吸胚墊之間,導向桿具有軸向延伸的中空的第一腔室,第一腔室貫穿于導向桿,導向桿具有第一凸緣,吸胚墊位于第一凸緣和吸盤之間,吸胚墊遠離固定座的一端為一平面,吸胚墊朝向固定座的另一端與吸盤抵接,導向桿自上而下依次穿過吸胚墊、吸盤和固定座,第一腔室與負壓產(chǎn)生機構連通,固定座和吸盤均與導向桿密封連接,吸胚墊與導向桿滑動連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的吸胚裝置,其特征在于:所述吸胚墊具有第一圓筒形主體和由第一圓筒形主體徑向延伸形成的第二凸緣,該第二凸緣遠離固定座的一端為平面。
3.根據(jù)權利要求2所述的吸胚裝置,其特征在于:所述吸胚墊與導向桿為間隙配合。
4.根據(jù)權利要求1~3任一所述的吸胚裝置,其特征在于:所述吸盤和吸胚墊之間設有連接件,該連接件為彈性件或剛性件,且該吸盤、吸胚墊和連接件圍合形成第二腔室。
5.根據(jù)權利要求4所述的吸胚裝置,其特征在于:所述導向桿的徑向開有若干個通孔,第一腔室經(jīng)由各通孔與第二腔室連通。
6.根據(jù)權利要求1所述的吸胚裝置,其特征在于:所述固定座與導向桿為螺紋密封連接。
7.根據(jù)權利要求1所述的吸胚裝置,其特征在于:所述導向桿的中空的腔室遠離固定座的一端設有內(nèi)螺紋。