技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種碳晶板用烘箱，碳晶板用烘箱包括：箱體；旋轉托架，旋轉托架包括旋轉軸、托架、隔熱托架及隔熱板，旋轉托架通過旋轉軸及凹槽設置于箱體內，托架及隔熱托架設置在旋轉軸上，隔熱板設置在托架及隔熱托架上，旋轉托架能夠以旋轉軸為軸心轉動；托盤，托盤為多個，分別通過多個托架橫梁及多個隔熱托架橫梁設置于旋轉托架上承載抽屜，承載抽屜包括承載抽屜殼體及多個抽拉板，多個抽拉板滑設于承載抽屜殼體，多個抽拉板能夠抽出或伸入承載抽屜殼體，承載抽屜用于放置在托盤上。本發(fā)明的碳晶板用烘箱碳晶板烘干與冷卻可在一個箱體內進行，避免了碳晶板驟冷開裂的問題。

技術研發(fā)人員：金浩;馬西健;崔亮
受保護的技術使用者：蕪湖桑樂金電子科技有限公司
技術研發(fā)日：2017.06.13
技術公布日：2017.08.29