1.一種碎片剔除裝置,其特征在于,包括:第一活動組件(100)、第二活動組件(200)、取料板(300)和清掃組件(400);所述第二活動組件(200)和所述第一活動組件(100)連接;所述第一活動組件(100)和所述取料板(300)連接,所述取料板(300)的端側(cè)設(shè)置有凸起部;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述取料板(300)呈l型結(jié)構(gòu),所述l型結(jié)構(gòu)的一端與所述第一活動組件(100)連接,所述l型結(jié)構(gòu)的另一端設(shè)置有所述凸起部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,還包括:承托板(600):
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,還包括:承接盒(700):
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的裝置,其特征在于,所述第一活動組件(100)包括第一氣缸,所述第二活動組件(200)包括第二氣缸,所述取料板(300)上設(shè)置有橡膠墊。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,還包括:第一支撐柱(801)和第二支撐柱(802);
7.一種硅片分揀裝置,其特征在于,包括:控制組件、硅片載具(500)、檢測組件,以及,如權(quán)利要求1-6中任一項所述的碎片剔除裝置(10);
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置,其特征在于,還包括:傳送帶(900);
9.一種碎片剔除方法,其特征在于,應(yīng)用于如權(quán)利要求7或8所述的硅片分揀裝置,所述方法包括:
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,所述控制所述硅片載具的碎片層上升到第一高度,并控制所述第一活動組件帶動所述取料板沿第一方向移動,包括: