固化物膜的制造方法、電子部件的制造方法及電子部件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種使用具有光固化性及熱固化性的固化性組合物形成固化物膜的 固化物膜的制造方法。另外，本發(fā)明涉及一種應(yīng)用了上述固化物膜的制造方法的電子部件 的制造方法及電子部件。
【背景技術(shù)】
[0002] 在電子設(shè)備中，在基板等電子部件上安裝有各種其它的電子部件，該電子部件間 通過(guò)布線進(jìn)行電連接。另外，為了確保絕緣性或作為保護(hù)膜發(fā)揮作用，在電連接有電子部件 的布線間形成有抗蝕劑圖案或阻隔壁。
[0003] 印刷布線板中的抗蝕劑圖案一般使用被稱為光致抗蝕劑的抗蝕劑材料且通過(guò)包 含曝光工序及顯影工序的光刻法形成。
[0004] 在制作具有抗蝕劑圖案和銅電路的印刷布線板時(shí)，例如在具有銅電路的印刷布線 板的整面形成抗蝕劑層，通過(guò)掩模對(duì)抗蝕劑層進(jìn)行部分曝光，由顯影部分地除去抗蝕劑層。 通過(guò)顯影形成抗蝕劑圖案，得到具有抗蝕劑圖案和銅電路的印刷布線板。
[0005] 這樣的印刷布線板的制造方法的一個(gè)例子公開(kāi)于下述的專利文獻(xiàn)1。在專利文獻(xiàn) 1中，進(jìn)行光刻法中的曝光工序及顯影工序等。
[0006] 另外，印刷布線板的制造方法的其它例子公開(kāi)于下述的專利文獻(xiàn)2。在專利文獻(xiàn) 2中，由噴墨裝置向基板上噴出噴墨用光固化性熱固化性組合物作為抗蝕劑材料，并使該抗 蝕劑材料固化。
[0007] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)平5-21941號(hào)公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn) 2 :W02004/099272A1

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 發(fā)明所要解決的問(wèn)題
[0012] 在專利文獻(xiàn)1中記載的現(xiàn)有印刷布線板的制造方法中，為了形成抗蝕劑層，需要 光刻法中的曝光工序及顯影工序等許多工序。因此，印刷布線板的制造效率差。
[0013] 并且，在現(xiàn)有印刷布線板的制造方法中，使用酸或堿等藥液進(jìn)行顯影處理，因此， 環(huán)境負(fù)荷大。并且，為了形成通過(guò)顯影而除去抗蝕劑層的部分，必須使用額外的抗蝕劑材 料。另外，通過(guò)顯影除去的抗蝕劑層部分成為廢棄物。并且，通過(guò)蝕刻除去的銅層也成為廢 棄物。因此，廢棄物的量多，因此，環(huán)境負(fù)荷大，并且，存在印刷布線板的材料成本也變高的 問(wèn)題。
[0014] 另外，如專利文獻(xiàn)2中記載的使用現(xiàn)有噴墨裝置的方法中，有時(shí)無(wú)法高精度地形 成抗蝕劑圖案。特別是在形成微細(xì)的抗蝕劑圖案的情況下，形成精度容易更進(jìn)一步變差。另 外，在將抗蝕劑圖案多層化的情況下，形成精度容易更進(jìn)一步變差。
[0015] 例如，存在無(wú)法將抗蝕劑圖案形成為指定的形狀或抗蝕劑圖案容易從基板剝離的 問(wèn)題。若抗蝕劑圖案從基板剝離，則有時(shí)無(wú)法充分地確保絕緣性。
[0016] 本發(fā)明的目的在于，提供一種可提高微細(xì)的固化物膜的形成精度，且可提高固化 物膜的密合性的固化物膜的制造方法。另外，本發(fā)明的目的還在于提供一種應(yīng)用了上述固 化物膜的制造方法的電子部件的制造方法及電子部件。
[0017] 用于解決問(wèn)題的技術(shù)方案
[0018] 根據(jù)本發(fā)明的寬泛方面，可提供一種固化物膜的制造方法，其具備：
[0019] 涂布工序，其使用噴墨裝置涂布具有光固化性及熱固化性且為液態(tài)的固化性組合 物；
[0020] 第1光照射工序，其在所述涂布工序后，由第1光照射部對(duì)所述固化性組合物照射 光，使所述固化性組合物進(jìn)行固化，形成預(yù)固化物膜；
[0021] 加熱工序，其在所述第1光照射工序后，對(duì)經(jīng)過(guò)光照射的所述預(yù)固化物膜進(jìn)行加 熱，使經(jīng)過(guò)光照射的所述預(yù)固化物膜發(fā)生固化，形成固化物膜；
[0022] 所述噴'墨裝置具有：
[0023] 油墨罐，其貯存所述固化性組合物；
[0024] 噴出部，其與所述油墨罐連接且噴出所述固化性組合物；
[0025] 循環(huán)流路部，其一端與所述噴出部連接，另一端與所述油墨罐部連接且所述固化 性組合物在其內(nèi)部流動(dòng)，
[0026] 在所述涂布工序中，使所述固化性組合物在所述噴墨裝置內(nèi)從所述油墨罐轉(zhuǎn)移至 所述噴出部，然后，使未從所述噴出部噴出的所述固化性組合物在所述循環(huán)流路部?jī)?nèi)流動(dòng) 而轉(zhuǎn)移至所述油墨罐，由此，一邊循環(huán)所述固化性組合物，一邊涂布所述固化性組合物。
[0027] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化物膜的制造方法還具備 在所述第1光照射工序后且在所述加熱工序前的第2光照射工序，所述第2光照射工序包 括：由不同于所述第1光照射部的第2光照射部對(duì)經(jīng)過(guò)所述第1光照射部照射光的所述預(yù) 固化物膜照射光，使所述預(yù)固化物膜進(jìn)行進(jìn)一步固化。
[0028] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化物膜的制造方法還具備 在所述第1光照射工序后且在所述加熱工序前的多層化工序，所述多層化工序包括：在所 述第1光照射工序后的所述預(yù)固化物膜上進(jìn)行所述涂布工序和所述第1光照射工序，在所 述預(yù)固化物膜上形成其它預(yù)固化物膜，由此形成多層的預(yù)固化物膜。
[0029] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化物膜的制造方法還具備 在所述多層化工序后且在所述加熱工序前的第2光照射工序，所述第2光照射工序包括：由 不同于所述第1光照射部的第2光照射部對(duì)所述多層的預(yù)固化物膜照射光，使所述多層的 預(yù)固化物膜進(jìn)行進(jìn)一步固化。
[0030] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述循環(huán)流路部包含在所述循環(huán) 流路部?jī)?nèi)臨時(shí)貯存所述固化性組合物的緩沖罐。
[0031] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，在所述第1光照射工序后的所述 預(yù)固化物膜上或所述預(yù)固化物膜之間進(jìn)行所述涂布工序和所述第1光照射工序。
[0032] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，循環(huán)中的所述固化性組合物的溫 度為40°C以上、且100°C以下。
[0033] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述噴墨裝置使用壓電方式的噴 墨頭，在所述涂布工序中，通過(guò)壓電元件的作用來(lái)涂布所述固化性組合物。
[0034] 在本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定的方面中，所述固化性組合物噴出時(shí)的 粘度為3mPa · s以上、且1500mPa · s以下。
[0035] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化性組合物包含光固化性 化合物、熱固化性化合物、光聚合引發(fā)劑、和熱固化劑。本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某 特定方面中，所述固化性組合物包含所述光固化性化合物、光及熱固化性化合物、所述熱固 化性化合物、所述光聚合引發(fā)劑、和所述熱固化劑。
[0036] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述光固化性化合物具有（甲 基）丙烯酰基，所述光及熱固化性化合物具有（甲基）丙烯?；铜h(huán)狀醚基，所述熱固化性 化合物具有環(huán)狀醚基。
[0037] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定方面中，所述固化性組合物含有具有1個(gè) (甲基）丙烯?；膯喂倌芑衔锖途哂?個(gè)以上（甲基）丙烯酰基的多官能化合物作為 所述光固化性化合物。
[0038] 在本發(fā)明的固化物膜的制造方法的某特定的方面中，所述固化性組合物100重 量％中，所述光固化性化合物和所述光及熱固化性化合物的總計(jì)含量為40重量％以上、且 90重量％以下。
[0039] 根據(jù)本發(fā)明的寬泛方面，可提供一種電子部件的制造方法，其得到具備電子部件 主體和位于所述電子部件主體上的所述固化物膜的電子部件，
[0040] 所述電子部件的制造方法包括：通過(guò)上述固化物膜的制造方法在電子部件主體上 形成固化物膜的工序。
[0041] 根據(jù)本發(fā)明的寬泛方面，可提供一種電子部件，其具備：
[0042] 電子部件主體和位于所述電子部件主體上的固化物膜，所述固化物膜是上述固化 物膜的制造方法獲得的。
[0043] 發(fā)明的效果
[0044] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法在涂布工序后進(jìn)行上述的第1光照射工序，上述涂 布工序使用噴墨裝置涂布具有光固化性及熱固化性且為液態(tài)的固化性組合物，并且，上述 噴墨裝置具有上述油墨罐、上述噴出部和上述循環(huán)流路部，在上述涂布工序中，使上述固化 性組合物在上述噴墨裝置內(nèi)從上述油墨罐轉(zhuǎn)移至上述噴出部，然后，使未從上述噴出部噴 出的上述固化性組合物在上述循環(huán)流路部?jī)?nèi)流動(dòng)而轉(zhuǎn)移至上述油墨罐，由此，一邊循環(huán)上 述固化性組合物，一邊涂布上述固化性組合物，因此，可提高微細(xì)的固化物膜的形成精度， 且可提高固化物膜的密合性。
【附圖說(shuō)明】
[0045] 圖1(a)~（e)為用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的固化物膜的制造方法中各工 序的剖面圖。
[0046] 圖2為示意性地表示具備通過(guò)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的固化物膜的制造方法得 到的固化物膜的電子部件的正面剖面圖。
[0047] 圖3為表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的固化物膜的制造方法中使用的噴墨裝置的 一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0048] 圖4為表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的固化物膜的制造方法中使用的噴墨裝置的 其它例子的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0049] 圖5為示意性地表示具備通過(guò)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的固化物膜的制造方法得 到的的固化物膜的電子部件的正面剖面圖。
[0050] 符號(hào)說(shuō)明
[0051] 1…電子部件
[0052] 2…電子部件主體
[0053] 3…多層的固化物膜（加熱后）
[0054] 3A、3B、3C···固化物膜（加熱后）
[0055] 11、IlX…噴墨裝置
[0056] 12…固化性組合物
[0057] 12A、12B、12C···由第1光照射部進(jìn)行了光照射的預(yù)固化物膜
[0058] 12X…多層的預(yù)固化物膜
[0059] 12Y…由第2光照射部進(jìn)行了光照射的多層的預(yù)固化物膜
[0060] 13…第1光照射部
[0061] 14…第2光照射部
[0062] 21…油墨罐
[0063] 22…噴出部
[0064] 23、23X…循環(huán)流路部
[0065] 23A…緩沖罐
[0066] 23B …泵
[0067] 31…電子部件
[0068] 32…固化物膜
【具體實(shí)施方式】
[0069] 以下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0070] 本發(fā)明的固化物膜的制造方法具備：涂布工序，其使用噴墨裝置涂布具有光固化 性及熱固化性且為液態(tài)的固化性組合物。另外，本發(fā)明的固化物膜的制造方法具備：第1光 照射工序，其在上述涂布工序后，由第1光照射部對(duì)上述固化性組合物照射光，使上述固化 性組合物進(jìn)行固化，形成預(yù)固化物膜。并且，本發(fā)明的固化物膜的制造方法還具備：加熱工 序，其在上述第1光照射工序后，對(duì)經(jīng)過(guò)光照射的上述預(yù)固化物膜進(jìn)行加熱，使經(jīng)過(guò)光照射 的上述預(yù)固化物膜發(fā)生固化，形成固化物膜。
[0071] 另外，在本發(fā)明的固化物膜的制造方法中，上述噴墨裝置具有：油墨罐，其貯存上 述固化性組合物；噴出部，其與上述油墨罐連接且噴出上述固化性組合物；循環(huán)流路部，其 一端與上述噴出部連接，另一端與上述油墨罐部連接且上述固化性組合物在其內(nèi)部流動(dòng)。
[0072] 在本發(fā)明的固化物膜的制造方法中，在上述涂布工序中，使上述固化性組合物在 上述噴墨裝置內(nèi)從上述油墨罐轉(zhuǎn)移至上述噴出部，然后，使未從上述噴出部噴出的上述固 化性組合物在上述循環(huán)流路部?jī)?nèi)流動(dòng)而轉(zhuǎn)移至上述油墨罐，由此，一邊循環(huán)上述固化性組 合物，一邊涂布上述固化性組合物。
[0073] 在本發(fā)明中，進(jìn)行特定的上述涂布工序、特定的上述第1光照射工序及特定的上 述加熱工序，并且，使用特定的上述噴墨裝置使上述固化性組合物在上述噴墨裝置內(nèi)從上 述油墨罐轉(zhuǎn)移至上述噴出部，然后，使未從上述噴出部噴出的上述固化性組合物在上述循 環(huán)流路部?jī)?nèi)流動(dòng)而轉(zhuǎn)移至上