述油墨罐，由此，一邊循環(huán)上述固化性組合物，一邊涂布上述固 化性組合物，因此，可提高微細(xì)的固化物膜的形成精度，且可提高固化物膜的密合性。為了 得到本發(fā)明的效果，一邊循環(huán)上述固化性組合物，一邊涂布上述固化性組合物具有較大的 意義。
[0074] 另外，本發(fā)明的固化物膜的制造方法優(yōu)選具備多層化工序，其包括：在上述第1光 照射工序后的上述預(yù)固化物膜上進(jìn)行上述涂布工序和上述第1光照射工序，在上述預(yù)固化 物膜上形成其它預(yù)固化物膜，由此形成多層的預(yù)固化物膜。在本發(fā)明中，可高精度地形成厚 度厚的固化物膜。另外，在本發(fā)明中，即使是進(jìn)行了多層化的固化物膜也可微細(xì)且高精度地 形成。
[0075] 在具備上述多層化工序的情況下，在本發(fā)明中，由于進(jìn)行特定的上述涂布工序、特 定的上述第1光照射工序、特定的上述多層化工序及特定的上述加熱工序，并且，使上述固 化性組合物在上述噴墨裝置內(nèi)從上述油墨罐轉(zhuǎn)移至上述噴出部，然后，使未從上述噴出部 噴出的上述固化性組合物在上述循環(huán)流路部?jī)?nèi)流動(dòng)而轉(zhuǎn)移至上述油墨罐，由此，一邊循環(huán) 上述固化性組合物，一邊涂布上述固化性組合物，因此，可提高厚度厚的固化物膜的形成精 度，且可提高固化物膜的密合性。為了得到高精度地形成厚度厚的固化物膜這樣的效果，一 邊循環(huán)上述固化性組合物，一邊涂布上述固化性組合物具有較大的意義。
[0076] 并且，在本發(fā)明中，即使不進(jìn)行光刻法中的曝光工序及顯影工序等許多工序也可 形成良好的指定形狀的固化物膜。因此，可減少?gòu)U棄物的量，可降低環(huán)境負(fù)荷，并且，并且也 可降低用于形成電子部件的材料成本。
[0077] 以下，一邊參照附圖一邊對(duì)本發(fā)明的具體的實(shí)施方式及實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，由此明 確本發(fā)明。
[0078] 圖2為表示具備通過(guò)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的固化物膜的制造方法得到的固化 物膜的電子部件的剖面圖。
[0079] 圖2所示的電子部件1具備電子部件主體2(第1電子部件主體）和電子部件主 體2的表面上所配置的多層的固化物膜3。多層的固化物膜3具有多個(gè)固化物膜3A、固化 物膜3B、固化物膜3C。就多層的固化物膜3而言，通過(guò)多個(gè)固化物膜3A、3B、3C層疊而成。 多層的固化物膜3為加熱后的固化物膜。第2電子部件主體可以配置于多層的固化物膜3 的與第1電子部件主體2側(cè)相反的表面上。
[0080] 作為上述電子部件主體，具體而言，可以舉出：半導(dǎo)體芯片、切割后的半導(dǎo)體晶片 (分割了的半導(dǎo)體晶片）、電容器、二極管、印刷基板、撓性印刷基板、玻璃環(huán)氧基板以及玻 璃基板等。上述電子部件主體可以在表面具有固化物膜。在具有固化物膜的電子部件主體 中，可以在固化物膜上形成固化物膜。
[0081] 對(duì)以下的本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的固化物膜的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0082] 首先，如圖1(a)所示，使用噴墨裝置11在電子部件主體2上涂布具有光固化性及 熱固化性且為液狀的固化性組合物12 (涂布工序）。在此，在電子部件主體2表面的整體上 涂布固化性組合物12。在涂布后，固化性組合物12的液滴互相混合，成為圖I (b)所示的狀 ??τ O
[0083] 如圖3所示，噴墨裝置11在內(nèi)部具有油墨罐21、噴出部22和循環(huán)流路部23。
[0084] 循環(huán)流路部23在循環(huán)流路部23內(nèi)具有緩沖罐23Α和泵23Β。但是，如圖4所示的 噴墨裝置IlX所示，循環(huán)流路部23Χ在循環(huán)流路部23Χ內(nèi)可以不具有緩沖罐和泵。上述循 環(huán)流路部?jī)?yōu)選在上述循環(huán)流路部?jī)?nèi)具有上述緩沖罐，優(yōu)選具有上述泵。另外，上述循環(huán)流路 部除緩沖罐及泵以外，可以在上述循環(huán)流路部?jī)?nèi)具有流速計(jì)、溫度計(jì)、過(guò)濾器等。
[0085] 在油墨罐21中貯存有上述固化性組合物。從噴出部22 (噴墨頭）噴出上述固化 性組合物。噴出部22包含噴出噴嘴。油墨罐21連接有噴出部22。油墨罐21和噴出部22 通過(guò)流路連接。循環(huán)流路部23的一端連接于噴出部22,另一端連接于油墨罐21。在循環(huán) 流路部23的內(nèi)部流通上述固化性組合物。
[0086] 在具備緩沖罐23Α或泵23Β的情況下，緩沖罐23Α及泵23Β優(yōu)選分別配置在噴出 部22和油墨罐21之間。緩沖罐23Α配置于比泵23Β更靠近噴出部22側(cè)。緩沖罐23Β配 置于比緩沖罐23Α更靠近油墨罐21側(cè)。在緩沖罐23Α中臨時(shí)貯存有上述固化性組合物。
[0087] 在上述的涂布工序中，在噴墨裝置11內(nèi)使上述固化性組合物從油墨罐21轉(zhuǎn)移至 噴出部22,然后，使未從噴出部22噴出的上述固化性組合物流過(guò)循環(huán)流路部23內(nèi)并轉(zhuǎn)移至 油墨罐21。由此，在上述的涂布工序中，一邊循環(huán)上述固化性組合物，一邊涂布上述固化性 組合物。
[0088] 作為上述噴出部，可以舉出：熱方式、氣泡噴射方式、電磁閥方式或壓電方式的噴 墨頭等。另外，作為上述噴出部?jī)?nèi)的循環(huán)流路部，可以舉出：從共通循環(huán)流路（分流器）向 噴出噴嘴分叉的端部噴射型；或者油墨在噴出噴嘴循環(huán)的側(cè)噴型。從提高固化性組合物的 噴出性且更進(jìn)一步提高微細(xì)的固化物膜的形成精度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選上述噴墨裝置為使用 壓電方式的噴墨頭的噴墨裝置，在上述涂布工序中，通過(guò)壓電元件的作用來(lái)涂布上述固化 性組合物。
[0089] 關(guān)于上述固化性組合物的循環(huán)方法，可利用油墨的自重或利用泵等進(jìn)行加壓、減 壓等進(jìn)行循環(huán)。這些也可以組合多個(gè)而使用。作為泵，可以舉出：汽缸方式的無(wú)脈動(dòng)泵、螺 旋槳泵、齒輪泵及隔膜泵等。從提高循環(huán)效率且更進(jìn)一步提高微細(xì)的固化物膜的形成精度 的觀點(diǎn)、以及更進(jìn)一步提高厚度厚的固化物膜的形成精度的觀點(diǎn)出發(fā)，上述循環(huán)流路部?jī)?yōu) 選在上述循環(huán)流路部?jī)?nèi)包含使上述固化性組合物轉(zhuǎn)移的泵。
[0090] 就上述噴出部的涂出噴嘴而言，優(yōu)選保持適當(dāng)?shù)膲毫?，且在該范圍?nèi)壓力變動(dòng) (脈動(dòng)）少。在使用泵等的情況下，為了抑制泵的脈動(dòng)，優(yōu)選在泵和上述噴出部之間設(shè)置衰 減器。作為這樣的衰減器，可以舉出臨時(shí)貯存上述固化性組合物的緩沖罐或膜式的減震器 等。
[0091] 從更進(jìn)一步提尚微細(xì)的固化物I旲的形成精度的觀點(diǎn)、以及更進(jìn)一步提尚厚度厚的 固化物膜的形成精度的觀點(diǎn)出發(fā)，上述循環(huán)流路部?jī)?yōu)選在上述循環(huán)流路部?jī)?nèi)含有臨時(shí)貯存 有上述固化性組合物的緩沖罐。
[0092] 在一邊對(duì)上述固化性組合物進(jìn)行加熱一邊使其循環(huán)的情況下，通過(guò)向上述油墨罐 內(nèi)導(dǎo)入加熱器或?qū)ι鲜鲅h(huán)流路部使用加熱器，可調(diào)節(jié)上述固化性組合物的溫度。
[0093] 接著，如圖1(b)、（c)所示，在上述的涂布工序后，由第1光照射部13對(duì)涂布后的 固化性組合物12照射光，使固化性組合物12的固化進(jìn)行（第1光照射工序）。由此，可以 由第1光照射部13形成經(jīng)過(guò)光照射的預(yù)固化物膜12A。由后述的第2光照射部14進(jìn)行照 射光的情況下，從第1光照射部13照射的光的波長(zhǎng)或照射強(qiáng)度與由后述的第2光照射部14 照射的光的波長(zhǎng)或照射強(qiáng)度可以相同，也可以不同。從更進(jìn)一步提高固化物膜的固化性的 觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選由第2光照射部14照射的光照射強(qiáng)度比從第1光照射部13照射的光的照 射強(qiáng)度強(qiáng)。在使用光固化性化合物和光及熱固化性化合物的情況下，為了控制光固化性，優(yōu) 選進(jìn)行上述第1光照射工序和后述的第2光照射工序。
[0094] 另外，"由第1光照射部13對(duì)涂布后的固化性組合物12照射光，使固化性組合物 12進(jìn)行固化"中，包含使反應(yīng)進(jìn)行而成為增粘狀態(tài)。
[0095] 作為進(jìn)行光照射的裝置，沒(méi)有特別限定，可以舉出產(chǎn)生紫外線的發(fā)光二極管 (UV-LED)、金屬鹵化物燈、高壓水銀燈、以及超高壓水銀燈等。從更進(jìn)一步提高固化物膜的 形成精度的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選在第1光照射部使用UV-LED。
[0096] 接著，如圖I (c)、⑷所示，在上述的第1光照射工序后的上述預(yù)固化物膜12A上， 進(jìn)行上述涂布工序和上述第1光照射工序，在上述預(yù)固化物膜12A上形成其它預(yù)固化物膜 12B、預(yù)固化物膜12C，由此形成多層的預(yù)固化物膜12X(多層化工序）。多層的預(yù)固化物膜 12X包含預(yù)固化物膜12A、預(yù)固化物膜12B、預(yù)固化物膜12C。也可以進(jìn)行多次上述涂布工序 和上述第1光照射工序而增加層疊數(shù)。另外，未必一定進(jìn)行上述的多層化工序。
[0097] 接著，如圖1(d)、（e)所示，在上述第1光照射工序后且上述的多層化工序后，由 與第1光照射部13不同的第2光照射部14對(duì)多層的預(yù)固化物膜12X(預(yù)固化物膜12A、預(yù) 固化物膜12B、預(yù)固化物膜12C)照射光，使多層的預(yù)固化物膜12X的固化進(jìn)一步進(jìn)行（第2 光照射工序）。由此，可形成經(jīng)過(guò)第2光照射部14照射光的預(yù)固化物膜12Y。另外，在未進(jìn) 行上述多層化工序的情況下，在上述的第1光照射工序后，由與第1光照射部13不同的第 2光照射部14對(duì)預(yù)固化物膜12A照射光，使預(yù)固化物膜12A的固化進(jìn)一步進(jìn)行（第2光照 射工序）。
[0098] 上述的第2光照射工序優(yōu)選在后述的加熱工序如進(jìn)彳丁。從更進(jìn)一步提尚厚度厚的 固化物膜的形成精度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選進(jìn)行上述第2光照射工序。但是，未必一定進(jìn)行上述 第2光照射工序，可以在上述多層化工序后進(jìn)行后述的加熱工序，而不進(jìn)行上述第2光照射 工序。并且，也可以在上述第1光照射工序后進(jìn)行后述的加熱工序，而不進(jìn)行上述第2光照 射工序。
[0099] 接著，在上述第1光照射工序后，在上述多層化工序后且上述第2光照射工序后， 對(duì)預(yù)固化物膜12Y進(jìn)行加熱，使由第2光照射部14照射光的預(yù)固化物膜12Y固化，形成固 化物膜3 (加熱工序）。另外，在上述多層化工序后，未進(jìn)行上述第2光照射工序時(shí)，可在上 述多層化工序后對(duì)多層的預(yù)固化物膜12X進(jìn)行加熱，使多層的預(yù)固化物膜12X固化而形成 固化物膜（加熱工序）。在上述第1光照射工序后，未進(jìn)行上述多層化工序及上述第2光照 射工序時(shí)，可在上述第1光照射工序后對(duì)預(yù)固化物膜12A進(jìn)行加熱，使預(yù)固化物膜12A固化 而形成固化物膜（加熱工序）。如上可得到圖2所示的電子部件1。
[0100] 圖5為表示具備通過(guò)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的固化物膜的制造方法得到的的固 化物膜的電子部件的剖面圖。
[0101] 圖5所示的電子部件31具備電子部件主體2和電子部件主體2的表面上所配置 的固化物膜32。固化物膜32為單層。這樣，也可以形成單層的固化物膜。
[0102] 另外，在上述的電子部件的制造方法中，為了在預(yù)固化物膜上層疊預(yù)固化物膜而 進(jìn)行了上述涂布工序和上述第1光照射工序，但也可以在預(yù)固化物膜間進(jìn)行上述涂布工序 和上述第1光照射工序。
[0103] 在上述的固化物膜的制造方法中，從提高固化性組合物的噴出性及轉(zhuǎn)移性且更進(jìn) 一步提高微細(xì)的固化物膜以及厚度厚的固化物膜的形成精度的觀點(diǎn)出發(fā)，循環(huán)的上述固化 性組合物的溫度優(yōu)選為30°C以上，更優(yōu)選為40°C以上，優(yōu)選為120°C以下，更優(yōu)選為100°C 以下。
[0104] 從提高固化性組合物的噴出性且更進(jìn)一步提高微細(xì)的固化物膜及厚度厚的固化 物膜的形成精度的觀點(diǎn)出發(fā)，上述固化性組合物的噴出時(shí)的粘度優(yōu)選為3mPa ·s以上，更優(yōu) 選為5mPa · s以上，優(yōu)選為1500mPa · s以下，更優(yōu)選為1200mPa · s以下。
[0105] 上述粘度依據(jù)JIS K2283,使用E型粘度計(jì)（東機(jī)產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社制造"TVE22L"） 在噴出時(shí)的溫度下進(jìn)行測(cè)定。
[0106] 上述固化性組合物具有光固化性及熱固化性。上述固化性組合物含有光固化性成 分和熱固化性成分。上述固化性組合物優(yōu)選含有光固化性化合物（可通過(guò)光的照射而固 化的固化性化合物）、熱固化性化合物（可通過(guò)加熱而固化的固化性化合物）、光聚合引發(fā) 劑和熱固化劑。上述固化性組合物優(yōu)選含有光固化性化合物、光及熱固化性化合物（可通 過(guò)光的照射及加熱兩者而固化的固化性化合物）、熱固化性化合物、光聚合引發(fā)劑和熱固化 劑。上述固化性組合物優(yōu)選含有固化促進(jìn)劑。
[0107] 另外，上述固化性組合物可以含有光固化性化合物和熱固化性化合物，且上述固 化性組合物不含可通過(guò)光的照射及加熱兩者固化的固化性化合物。但是，在該情況下，雖然 固化物膜的密合性變高，但存在固化物膜的密合性的提高效果