一種涂膠機(jī)頭、涂膠機(jī)及涂膠方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種涂膠機(jī)頭、涂膠機(jī)及涂膠方法。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)，在亮度、對(duì)比度、功耗、壽命、體積和重量等綜合性能上明顯優(yōu)于傳統(tǒng)的陰極射線管顯示器，它的性能優(yōu)良、大規(guī)模生產(chǎn)特性好，自動(dòng)化程度高，原材料成本低廉，發(fā)展空間廣闊，迅速成為了新世紀(jì)的主流顯示產(chǎn)品。
[0003]在TFT-1XD的光刻工藝制作過程中，由于涂膠機(jī)的限制，使不同型號(hào)的產(chǎn)品所涂覆的光刻膠距玻璃基板邊緣的距離都相等。即目前的涂膠機(jī)只能涂覆出固定寬度的膠體，這會(huì)使得面板上所形成的圖形存在均一性較差的問題。這是由于在后期的顯影刻蝕過程中，由于面板中部的像素邊緣區(qū)域溶解的光刻膠較少，而面板邊緣的像素邊緣區(qū)域溶解的光刻膠較多，不同區(qū)域溶解的光刻膠的量不同會(huì)導(dǎo)致顯影液從高濃度區(qū)域向低濃度區(qū)域流動(dòng)，從而導(dǎo)致面板邊緣區(qū)域與面板中部區(qū)域形成的圖形形狀不能完全一致，使得整張面板的圖形不均勻，降低了 TFT-LCD產(chǎn)品的良率。
[0004]如圖1所示，為目前光刻工藝中所使用的光刻機(jī)機(jī)頭結(jié)構(gòu)示意圖，主要有容納膠體的腔室1，腔室1的外側(cè)壁上設(shè)置的入膠口 2，入膠口 2用于與向腔室1內(nèi)輸送膠體的供給管路3相連通。腔室1下方還設(shè)置有膠嘴4，膠嘴4寬度的延伸方向與腔室1的軸向平行。膠嘴4與腔室1底部接觸的部分形成有上下連通的長(zhǎng)形縫隙。由于膠嘴4與腔室1底部所形成的長(zhǎng)形縫隙的長(zhǎng)度固定，因此，目前的光刻機(jī)在行進(jìn)的過程中只能涂覆出固定寬度的光刻膠，并不能根據(jù)具體需要靈活地選擇涂膠位置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種涂膠機(jī)頭、涂膠機(jī)及涂膠方法，該涂膠機(jī)可以根據(jù)具體設(shè)定的位置在面板上進(jìn)行涂膠，可以對(duì)面板所需要涂覆的涂膠寬度進(jìn)行控制，從而使面板中部區(qū)域與面板邊緣區(qū)域在顯影過程中溶解的光刻膠量一致，進(jìn)而使面板中部與邊緣處形成的圖形均勻一致，提高面板的制作良率。
[0006]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例提供一種涂膠機(jī)頭，所述涂膠機(jī)頭具有容納膠體的腔室、連通所述腔室的扁平狀的膠嘴和供膠管路，所述膠嘴的寬度延伸方向與所述腔室的軸向平行；還包括設(shè)置于所述腔室內(nèi)的、可水平移動(dòng)的兩個(gè)隔板，兩個(gè)所述隔板相對(duì)設(shè)置且平行于所述腔室的橫截面；
[0008]所述隔板具有入膠孔，所述供膠管路的出膠端固定于所述入膠孔內(nèi)且出膠方向朝向兩個(gè)所述隔板之間。
[0009]本實(shí)施例中，所述涂膠機(jī)頭在所述腔室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)可在水平方向移動(dòng)的隔板，可移動(dòng)隔板可以推動(dòng)兩個(gè)所述隔板之間的膠體進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而可以控制所述腔室內(nèi)的膠體通過所述膠嘴的出膠位置，提高涂膠機(jī)在面板上涂覆膠體位置的靈活性。
[0010]優(yōu)選的，每一個(gè)所述隔板背對(duì)另一個(gè)所述隔板的一面通過傳動(dòng)部件連接驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件帶動(dòng)所述隔板進(jìn)行水平移動(dòng)。本實(shí)施例中，兩個(gè)隔板相背的面通過傳動(dòng)部件連接驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件帶動(dòng)所述隔板進(jìn)行水平移動(dòng)，可以使腔室內(nèi)膠體的所處位置進(jìn)行相應(yīng)的改變，進(jìn)而可以控制所述涂膠機(jī)頭通過所述膠嘴的出膠寬度。
[0011]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)裝置為液壓驅(qū)動(dòng)裝置或伺服電極。
[0012]優(yōu)選的，所述傳動(dòng)部件為伸縮桿或驅(qū)動(dòng)螺桿。本實(shí)施例中，所述傳動(dòng)部件為伸縮桿或驅(qū)動(dòng)螺桿可使可移動(dòng)隔板在水平方向進(jìn)行穩(wěn)定的移動(dòng)，防止所述可移動(dòng)隔板在移動(dòng)過程中發(fā)生晃動(dòng)，影響出膠位置的精確度。
[0013]優(yōu)選的，每一個(gè)所述隔板背對(duì)另一個(gè)所述隔板的一面還通過彈性結(jié)構(gòu)固定于所述腔室的內(nèi)壁。
[0014]優(yōu)選的，所述涂膠機(jī)頭還包括控制器，所述控制器與所述驅(qū)動(dòng)裝置電連接；
[0015]所述控制器用于根據(jù)設(shè)定出膠位置和出膠寬度，控制所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述所述傳動(dòng)部件的傳動(dòng)精度。
[0016]本實(shí)施例中，所述涂膠機(jī)頭還包括控制器，所述控制器用于根據(jù)設(shè)定出膠位置和出膠寬度，所述控制器的設(shè)置可以使所述涂膠機(jī)更加智能化，可以直接根據(jù)設(shè)定出的膠位置和出膠寬度使所述涂膠機(jī)在面板上涂覆出需要的膠體圖形?？刂扑鲵?qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述所述傳動(dòng)部件的傳動(dòng)精度。
[0017]優(yōu)選的，所述控制器為中央處理器、單片機(jī)或數(shù)字信號(hào)處理器。
[0018]優(yōu)選的，所述隔板還包括設(shè)置于下端的條狀阻擋部件，所述阻擋部件延伸至所述膠嘴內(nèi)；
[0019]所述阻擋部件與所述隔板下端固定連接，或者所述阻擋部件與所述隔板為一體結(jié)構(gòu)，所述阻擋部件的延伸方向與所述膠嘴的出膠方向相同。
[0020]本實(shí)施例中，位于所述隔板下端的條狀阻擋部件可以控制膠體在通過所述膠嘴時(shí)的流動(dòng)方向，避免由于膠體流動(dòng)方向的隨意性最終影響膠體在面板上的涂覆精準(zhǔn)度。所述阻擋部件與所述隔板可以為一體結(jié)構(gòu)，也可以不為一體結(jié)構(gòu)，而是通過其他連接結(jié)構(gòu)將所述阻擋部件與所述隔板固定在一起。當(dāng)所述阻擋部件與所述隔板不為一起結(jié)構(gòu)時(shí)，單獨(dú)的阻擋部件有利于損毀時(shí)的更換方便；當(dāng)所述阻擋部件與所述隔板為一起結(jié)構(gòu)時(shí)，制作過程方便簡(jiǎn)單、涂膠位置易于確定。
[0021]優(yōu)選的，所述隔板與所述腔室的內(nèi)壁間隙配合。本實(shí)施例中，所述隔板與所述腔室的內(nèi)壁間隙配合可以使膠體位于兩可移動(dòng)隔板相對(duì)的區(qū)域內(nèi)，使所述腔室內(nèi)的膠體在兩所述可移動(dòng)隔板之間排出。
[0022]本實(shí)施例的有益效果如下:所述涂膠機(jī)頭在所述腔室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)可在水平方向移動(dòng)的隔板，可移動(dòng)隔板可以推動(dòng)兩個(gè)所述隔板之間的膠體進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而可以控制所述腔室內(nèi)的膠體通過所述膠嘴的出膠位置，提高涂膠機(jī)在面板上涂覆膠體位置的靈活性。
[0023]本發(fā)明實(shí)施例提供一種涂膠機(jī)，包括上述實(shí)施例提供的涂膠機(jī)頭。
[0024]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種采用所述涂膠機(jī)的涂膠方法，包括:
[0025]在基板上形成多層圖層的工序中，完成第一圖層的光刻工藝后檢測(cè)所述第一圖層坐標(biāo)相對(duì)所述基板坐標(biāo)存在的偏差；
[0026]根據(jù)所述偏差調(diào)整所述涂膠機(jī)頭的所述腔室內(nèi)的兩個(gè)所述隔板，使由兩個(gè)所述隔板所限定所述膠嘴的出膠范圍與所述第一圖層對(duì)應(yīng)和/或調(diào)整所述涂膠機(jī)頭行程的起始位置；
[0027]以調(diào)整后的所述涂膠機(jī)頭完成當(dāng)前圖層的光刻膠涂覆工藝。
[0028]本實(shí)施例中，完成第一圖層的光刻工藝后檢測(cè)到所述第一圖層坐標(biāo)相對(duì)所述基板坐標(biāo)存在的偏差時(shí)，能夠根據(jù)偏差，通過涂膠機(jī)頭和設(shè)置在腔室內(nèi)的兩個(gè)隔板重新調(diào)整涂膠位置，使再次涂膠的圖形與第一圖層的形狀一致，避免基板涂膠面積不均勻使得基板在后期顯影過程中形成的圖形關(guān)鍵尺寸不盡相同，整個(gè)基板均一性較差的現(xiàn)象出現(xiàn)。
[0029]優(yōu)選的，在基板上形成多層圖層的工序中，完成第一圖層的光刻工藝后檢測(cè)所述第一圖層坐標(biāo)相對(duì)所述基板坐標(biāo)存在的偏差，具體包括:
[0030]在基板上形成多層圖層的工序中，完成第一圖層的光刻工藝后通過檢測(cè)所述第一圖層中心位置處的坐標(biāo)相對(duì)所述基板中心位置處的坐標(biāo)偏移來確認(rèn)所述第一圖層相對(duì)所述基板的偏差。
[0031]優(yōu)選的，根據(jù)所述偏差調(diào)整所述涂膠機(jī)頭的所述腔室內(nèi)的兩個(gè)所述隔板，使由兩個(gè)所述隔板所限定所述膠嘴的出膠范圍與所述第一圖層對(duì)應(yīng)和/或調(diào)整所述涂膠機(jī)頭行程的起始位置，具體包括:
[0032]根據(jù)所述偏差，通過所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)裝置，使所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件帶動(dòng)兩個(gè)所述隔板進(jìn)行移動(dòng)，使由兩個(gè)所述隔板所限定所述膠嘴的出膠范圍與所述第一圖層對(duì)應(yīng)和/或調(diào)整所述涂膠機(jī)頭行程的起始位置。
[0033]本實(shí)施例中，通過控制器控制驅(qū)動(dòng)裝置，使驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部件使兩個(gè)隔板進(jìn)行移動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)通過隔板控制腔室內(nèi)膠體的位置，進(jìn)而使當(dāng)前圖層可以保持與第一圖層的圖形一致。
[0034]本實(shí)施例的有益效果如下:所述涂膠機(jī)頭在所述腔室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)可在水平方向移動(dòng)的隔板，可移動(dòng)隔板可以推動(dòng)兩個(gè)所述隔板之間的膠體進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而可以在檢測(cè)到所述第一圖層坐標(biāo)相對(duì)所述基板坐標(biāo)存在的偏差時(shí)，能夠根據(jù)偏差，通過設(shè)置在腔室內(nèi)的兩個(gè)隔板重新調(diào)整涂膠位置，使再次涂膠的圖形與第一圖層的形狀一致，避免基板涂膠面積不均勻使得基板在后期顯影過程中形成的圖形關(guān)鍵尺寸不盡相同，整個(gè)基板均一性較差的現(xiàn)象出現(xiàn)。
【附圖說明】
[0035]圖1為現(xiàn)有涂膠機(jī)頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖2為為現(xiàn)有涂I父機(jī)頭的俯視結(jié)構(gòu)不意圖；
[0037]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的涂膠機(jī)頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的涂膠機(jī)頭的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的涂膠機(jī)頭的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的涂膠機(jī)頭的具體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0041]圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種隔板的具體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0042]圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種隔板的具體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043]圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種涂膠方法的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0044]下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的實(shí)現(xiàn)過程進(jìn)行詳細(xì)說明。需要注意的是，自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0045]如圖1所示，為現(xiàn)有涂膠機(jī)機(jī)頭的結(jié)構(gòu)示意圖，具有容納膠體的腔室1，用于向腔室1輸送膠體的供給管路3。腔室1下端還設(shè)有扁平狀的膠嘴4。如圖2所示，膠嘴4寬度的延伸方向與腔室1的軸向平行，在腔室1與膠嘴4重疊的區(qū)域開有上下連通的縫隙，以使腔室1內(nèi)的膠體通過該縫隙經(jīng)膠嘴4排出腔室1以外。
[0046]由于現(xiàn)有涂膠機(jī)的膠嘴4長(zhǎng)度固定，因此，目前的涂膠機(jī)只能在基板上涂覆出固定寬度的膠體，并不能根據(jù)具體需要靈活地選擇涂膠位置。為此，本發(fā)明提供一種涂膠機(jī)頭，如圖3所示，該涂膠機(jī)頭具有容納膠體的腔室1、連通腔室1的扁平狀的膠嘴4和供給管路3，膠嘴4的寬度延伸方向與所述腔室1的軸向平行。其中，涂膠機(jī)頭在腔室1內(nèi)還設(shè)置兩個(gè)可水平移動(dòng)的隔板5，兩個(gè)隔板5相對(duì)設(shè)置且平行于所述腔室1的橫截面?？梢苿?dòng)隔板5上設(shè)置有入膠孔6，供給管路3的出膠端固定于入膠孔6內(nèi)且出膠方向朝向兩個(gè)隔板5之間，供給管路3通過該入膠孔將腔室1外的膠體輸送到兩個(gè)隔板5之間的腔室區(qū)域內(nèi)。
[0047]圖4和圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的涂膠機(jī)機(jī)頭的剖