視圖和俯視圖。如圖所示，兩隔板5垂直于腔室1底面，與腔室1的內(nèi)壁間隙配合。在由隔板5上的入膠孔6輸膠體后，隔板5可以推動(dòng)兩隔板5之間的膠體進(jìn)行水平方向上的移動(dòng)，使腔室1內(nèi)膠體的位置可以控制，進(jìn)而可以控制腔室1內(nèi)的膠體在基板上的涂膠位置以及控制在機(jī)頭向前行進(jìn)涂覆膠體的寬度。
[0048]需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例以腔室1的橫截面為長(zhǎng)方形進(jìn)行舉例說(shuō)明，腔室1的結(jié)構(gòu)也可以為其他結(jié)構(gòu)形狀，如，正方形，圓形，三角形，梯形等等。相應(yīng)腔室1內(nèi)隔板5的形狀也可以為正方形，圓形，三角形，梯形等等。
[0049]具體的，為了使隔板5實(shí)現(xiàn)水平方向上的移動(dòng)，進(jìn)而使腔室1內(nèi)膠體的所處位置進(jìn)行相應(yīng)的改變。如圖6所示，每一個(gè)隔板5背對(duì)另一個(gè)隔板5的一面通過(guò)傳動(dòng)部件7連接驅(qū)動(dòng)裝置8，驅(qū)動(dòng)裝置8驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部件7帶動(dòng)隔板5進(jìn)行水平移動(dòng)。
[0050]優(yōu)選的，驅(qū)動(dòng)裝置8為液壓驅(qū)動(dòng)裝置或伺服電極。
[0051]優(yōu)選的，傳動(dòng)部件7為伸縮桿或驅(qū)動(dòng)螺桿。本實(shí)施例中，傳動(dòng)部件7為伸縮桿或驅(qū)動(dòng)螺桿可使可移動(dòng)隔板5在水平方向進(jìn)行穩(wěn)定的移動(dòng)，防止可移動(dòng)隔板5在移動(dòng)過(guò)程中發(fā)生晃動(dòng)，影響出膠位置的精確度。
[0052]優(yōu)選的，每一個(gè)隔板5背對(duì)另一個(gè)隔板5的一面還通過(guò)彈性結(jié)構(gòu)固定于腔室1的內(nèi)壁。
[0053]具體的，在本發(fā)明實(shí)施例中，涂膠機(jī)頭還可以包括控制器，控制器與驅(qū)動(dòng)裝置8電連接?？刂破饔糜诟鶕?jù)設(shè)定出膠位置和出膠寬度，控制驅(qū)動(dòng)裝置8驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部件7的傳動(dòng)精度。本實(shí)施例中，控制器的設(shè)置可以使涂膠機(jī)更加智能化，可以直接根據(jù)設(shè)定出的膠位置和出膠寬度使涂膠機(jī)在面板上涂覆出需要的膠體圖形。
[0054]優(yōu)選的，控制器為中央處理器、單片機(jī)或數(shù)字信號(hào)處理器。
[0055]由于膠體的流動(dòng)性，使得腔室1內(nèi)的膠體在沿扁平狀的膠嘴4排出時(shí)可能不會(huì)直線向下排出，因此，為了控制腔室1內(nèi)膠體通過(guò)膠嘴4的排出方向，優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例提供的隔板5還包括設(shè)置于下端的條狀阻擋部件9，阻擋部件9延伸至膠嘴4內(nèi)。
[0056]如圖7所示，阻擋部件9與隔板5可以為一體結(jié)構(gòu)，阻擋部件9的延伸方向與膠嘴4的出膠方向相同。阻擋部件9與隔板5為一起結(jié)構(gòu)時(shí)，制作過(guò)程方便簡(jiǎn)單、涂膠位置易于確定。
[0057]或者，如圖8所示，阻擋部件9與隔板5也可以不為一體結(jié)構(gòu)，S卩，阻擋部件9與隔板5的下端通過(guò)固定部件連接。例如，可以通過(guò)螺母將阻擋部件9固定于隔板5上。當(dāng)阻擋部件9與隔板5不為一起結(jié)構(gòu)時(shí)，有利于單獨(dú)的阻擋部件9在損毀時(shí)的更換方便。
[0058]本實(shí)施例中，條狀阻擋部件9的設(shè)置可以控制膠體在通過(guò)膠嘴4時(shí)的流動(dòng)方向，避免由于膠體流動(dòng)方向的隨意性最終影響膠體在面板上的涂覆精準(zhǔn)度。
[0059]本實(shí)施例的有益效果如下:涂膠機(jī)頭在腔室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)可在水平方向移動(dòng)的隔板，在由隔板上的入膠口輸入膠體后，隔板可以推動(dòng)兩隔板之間的膠體進(jìn)行水平方向上的移動(dòng)，使腔室內(nèi)膠體的位置可以控制，進(jìn)而可以控制膠嘴在基板上的涂膠位置以及涂膠機(jī)頭在行進(jìn)時(shí)涂覆膠體的寬度，提高涂膠機(jī)在面板上涂覆膠體位置的靈活性。
[0060]本發(fā)明實(shí)施例提供一種涂膠機(jī)，包括上述實(shí)施例提供的涂膠機(jī)頭。
[0061]參見(jiàn)圖9，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種涂膠方法，采用上述實(shí)施例提供的涂膠機(jī)進(jìn)行涂膠，包括:
[0062]901、在基板上形成多層圖層的工序中，完成第一圖層的光刻工藝后檢測(cè)第一圖層坐標(biāo)相對(duì)基板坐標(biāo)存在的偏差。
[0063]具體的，可以通過(guò)檢測(cè)第一圖層中心位置處的坐標(biāo)相對(duì)基板中心位置處的坐標(biāo)偏移來(lái)確認(rèn)第一圖層相對(duì)基板的偏差。
[0064]902、根據(jù)偏差調(diào)整涂膠機(jī)頭的腔室內(nèi)的兩個(gè)隔板，使由兩個(gè)隔板所限定膠嘴的出膠范圍與第一圖層對(duì)應(yīng)和/或調(diào)整涂膠機(jī)頭行程的起始位置。
[0065]在具體的檢測(cè)結(jié)果中，第一圖層坐標(biāo)相對(duì)基板坐標(biāo)存在的偏差可能為零也可能不為零，具體的:
[0066]第一圖層坐標(biāo)在垂直于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上相對(duì)基板坐標(biāo)的偏差不為零時(shí)，通過(guò)控制器控制驅(qū)動(dòng)裝置，使驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部件帶動(dòng)兩個(gè)隔板進(jìn)行移動(dòng)，使由兩個(gè)隔板所限定膠嘴的出膠范圍與第一圖層對(duì)應(yīng)；
[0067]第一圖層坐標(biāo)在平行于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上相對(duì)基板坐標(biāo)的偏差不為零時(shí)，調(diào)整涂膠機(jī)頭的起始位置并控制涂膠機(jī)頭的行程，使涂膠機(jī)頭在平行于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上的涂膠范圍與第一圖層的一致；
[0068]第一圖層坐標(biāo)在垂直于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上以及在平行于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上相對(duì)基板坐標(biāo)的偏差均不為零時(shí)，通過(guò)控制器控制驅(qū)動(dòng)裝置，使驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部件帶動(dòng)兩個(gè)隔板進(jìn)行移動(dòng)，使由兩個(gè)隔板所限定膠嘴的出膠范圍與第一圖層對(duì)應(yīng)，同時(shí)，調(diào)整涂膠機(jī)頭的起始位置，使當(dāng)前圖層在平行于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上與第一圖層一致；
[0069]第一圖層坐標(biāo)在垂直于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上以及在平行于涂膠機(jī)頭行進(jìn)的方向上相對(duì)基板坐標(biāo)的偏差均為零時(shí)，此時(shí)，不需要重新調(diào)整隔板以及涂膠機(jī)頭的位置，直接涂覆。
[0070]需要說(shuō)明的是，使由兩個(gè)隔板所限定膠嘴的出膠范圍與第一圖層對(duì)應(yīng)，具體的對(duì)應(yīng)關(guān)系為，使由兩個(gè)隔板所限定膠嘴的出膠范圍與第一圖層在垂直于涂膠機(jī)頭行進(jìn)方向上的圖層寬度對(duì)應(yīng)，即，在垂直于涂膠機(jī)頭行進(jìn)方向上，能夠使所需的當(dāng)前圖層的涂膠寬度與第一圖層的涂膠寬度一致。
[0071]903、以調(diào)整后的涂膠機(jī)頭完成當(dāng)前圖層的光刻膠涂覆工藝。
[0072]在根據(jù)第一圖層坐標(biāo)相對(duì)基板坐標(biāo)存在的偏差設(shè)置完隔板以及涂膠機(jī)頭的位置后，使涂膠機(jī)完成當(dāng)前圖層的光刻膠涂覆工藝。
[0073]本實(shí)施例的有益效果如下:涂膠機(jī)頭在腔室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)可在水平方向移動(dòng)的隔板，可移動(dòng)隔板可以推動(dòng)兩個(gè)隔板之間的膠體進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而可以在檢測(cè)到第一圖層坐標(biāo)相對(duì)基板坐標(biāo)存在的偏差時(shí)，能夠根據(jù)偏差，通過(guò)設(shè)置在腔室內(nèi)的兩個(gè)隔板重新調(diào)整涂膠位置，使再次涂膠的圖形與第一圖層的形狀一致，避免基板涂膠面積不均勻使得基板在后期顯影過(guò)程中形成的圖形關(guān)鍵尺寸不盡相同，整個(gè)基板均一性較差的現(xiàn)象出現(xiàn)。
[0074]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種涂膠機(jī)頭，所述涂膠機(jī)頭具有容納膠體的腔室、連通所述腔室的扁平狀的膠嘴和供膠管路，所述膠嘴的寬度延伸方向與所述腔室的軸向平行；其特征在于，還包括設(shè)置于所述腔室內(nèi)的、可水平移動(dòng)的兩個(gè)隔板，兩個(gè)所述隔板相對(duì)設(shè)置且平行于所述腔室的橫截面； 所述隔板具有入膠孔，所述供膠管路的出膠端固定于所述入膠孔內(nèi)且出膠方向朝向兩個(gè)所述隔板之間。2.如權(quán)利要求1所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，每一個(gè)所述隔板背對(duì)另一個(gè)所述隔板的一面通過(guò)傳動(dòng)部件連接驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件帶動(dòng)所述隔板進(jìn)行水平移動(dòng)。3.如權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置為液壓驅(qū)動(dòng)裝置或伺服電極。4.如權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，所述傳動(dòng)部件為伸縮桿或驅(qū)動(dòng)螺桿。5.如權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，每一個(gè)所述隔板背對(duì)另一個(gè)所述隔板的一面還通過(guò)彈性結(jié)構(gòu)固定于所述腔室的內(nèi)壁。6.如權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，所述涂膠機(jī)頭還包括控制器，所述控制器與所述驅(qū)動(dòng)裝置電連接； 所述控制器用于根據(jù)設(shè)定出膠位置和出膠寬度，控制所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件的傳動(dòng)精度。7.如權(quán)利要求6所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，所述控制器為中央處理器、單片機(jī)或數(shù)字信號(hào)處理器。8.如權(quán)利要求1所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，所述隔板還包括設(shè)置于下端的條狀阻擋部件，所述阻擋部件延伸至所述膠嘴內(nèi)； 所述阻擋部件與所述隔板下端固定連接，或者所述阻擋部件與所述隔板為一體結(jié)構(gòu)，所述阻擋部件的延伸方向與所述膠嘴的出膠方向相同。9.如權(quán)利要求1所述的涂膠機(jī)頭，其特征在于，所述隔板與所述腔室的內(nèi)壁間隙配合。10.一種涂膠機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的涂膠機(jī)頭。11.一種涂膠方法，采用如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的涂膠機(jī)，其特征在于，包括: 在基板上形成多層圖層的工序中，完成第一圖層的光刻工藝后檢測(cè)所述第一圖層坐標(biāo)相對(duì)所述基板坐標(biāo)存在的偏差； 根據(jù)所述偏差調(diào)整所述涂膠機(jī)頭的所述腔室內(nèi)的兩個(gè)所述隔板，使由兩個(gè)所述隔板所限定所述膠嘴的出膠范圍與所述第一圖層對(duì)應(yīng)和/或調(diào)整所述涂膠機(jī)頭行程的起始位置；以調(diào)整后的所述涂膠機(jī)頭完成當(dāng)前圖層的光刻膠涂覆工藝。12.如權(quán)利要求11所述的涂膠方法，其特征在于，在基板上形成多層圖層的工序中，完成第一圖層的光刻工藝后檢測(cè)所述第一圖層坐標(biāo)相對(duì)所述基板坐標(biāo)存在的偏差，具體包括: 在基板上形成多層圖層的工序中，完成第一圖層的光刻工藝后通過(guò)檢測(cè)所述第一圖層中心位置處的坐標(biāo)相對(duì)所述基板中心位置處的坐標(biāo)偏移來(lái)確認(rèn)所述第一圖層相對(duì)所述基板的偏差。13.如權(quán)利要求11所述的涂膠方法，其特征在于，根據(jù)所述偏差調(diào)整所述涂膠機(jī)頭的所述腔室內(nèi)的兩個(gè)所述隔板，使由兩個(gè)所述隔板所限定所述膠嘴的出膠范圍與所述第一圖層對(duì)應(yīng)和/或調(diào)整所述涂膠機(jī)頭行程的起始位置，具體包括: 根據(jù)所述偏差，通過(guò)所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)裝置，使所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件帶動(dòng)兩個(gè)所述隔板進(jìn)行移動(dòng)，使由兩個(gè)所述隔板所限定所述膠嘴的出膠范圍與所述第一圖層對(duì)應(yīng)和/或調(diào)整所述涂膠機(jī)頭行程的起始位置。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種涂膠機(jī)頭、涂膠機(jī)及涂膠方法，所述涂膠機(jī)頭具有容納膠體的腔室、連通所述腔室的扁平狀的膠嘴和供膠管路，所述膠嘴的寬度延伸方向與所述腔室的軸向平行；還包括設(shè)置于所述腔室內(nèi)的、可水平移動(dòng)的兩個(gè)隔板，兩個(gè)所述隔板相對(duì)設(shè)置且平行于所述腔室的橫截面。涂膠機(jī)頭在腔室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)可在水平方向移動(dòng)的隔板，在由隔板上的入膠口輸入膠體后，隔板可以推動(dòng)兩隔板之間的膠體進(jìn)行水平方向上的移動(dòng)，使腔室內(nèi)膠體的位置可以控制，進(jìn)而可以控制膠嘴在基板上的涂膠位置以及涂膠機(jī)頭在行進(jìn)時(shí)涂覆膠體的寬度，提高涂膠機(jī)在面板上涂覆膠體位置的靈活性。
【IPC分類】B05D1/26, B05C5/02
【公開(kāi)號(hào)】CN105396755
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201511034140
【發(fā)明人】朱攀, 王濤, 張民, 龔磊, 關(guān)盛祚, 韓亞軍
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月16日
【申請(qǐng)日】2015年12月31日