述目標基底之間，并與所述目標基底接觸設置； 在所述粘膠層遠離目標基底的表面設置一金屬層； 提供一有機溶劑，使該有機溶劑從所述粘膠層與納米結構層接觸的界面滲透使所述粘 膠層分解；以及 采用外力使所述粘膠層連同所述金屬層與所述納米結構層及目標基底分離。
2. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述粘膠層遠離目標基底 的表面完全被金屬層覆蓋，而所述粘膠層的側面未被所述金屬層覆蓋。
3. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述金屬層和粘膠層發(fā)生 褶皺時，將所述形成金屬層后的結構從有機溶劑中移出并放入水中。
4. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述納米結構層的厚度小 于等于1微米。
5. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述納米結構層包括碳納 米管層或石墨烯層。
6. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述金屬層的材料為鈦、 金、鉻或錯。
7. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述金屬層的厚度不小于 10納米。
8. 如權利要求7所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述金屬層為50納米厚的 金膜。
9. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述有機溶劑為乙醇、甲醇 或丙酮。
10. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述粘膠層由聚甲基丙烯 酸甲酯、聚二甲基硅氧烷或聚酰亞胺形成。
11. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，將所述形成金屬層后的結 構放入有機溶劑中，給金屬層遠離粘膠層的整個表面提供一均勻向上的力。
12. 如權利要求1所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，將所述形成金屬層后的結 構放入有機溶劑中，給目標基底遠離粘膠層的表面提供一均勻向下的力。
13. -種納米結構的轉移方法，包括以下步驟： 提供一第一基底，該第一基底的表面設置有一納米結構層； 通過一粘膠層使所述納米結構層與所述第一基底分離，分離后的所述納米結構層至少 部分從所述粘膠層暴露出來； 提供一第二基底，將所述第二基底和所述粘膠層層疊設置，并使所述納米結構層位于 所述第二基底和所述粘膠層之間，所述至少部分從所述粘膠層暴露出來的納米結構層與所 述第二基底的表面接觸；以及 提供一有機溶劑和一外力，使該有機溶劑從粘膠層與納米結構層接觸的界面，以及粘 膠層與所述第二基底接觸的界面滲透，并利用所述外力使所述粘膠層與所述納米結構層及 第二基底分離。
14. 如權利要求13所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，提供一阻擋層設置在所 述粘膠層遠離所述第二基底的表面。
15. 如權利要求13所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述阻擋層包括一金屬 層。
16. 如權利要求15所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述金屬層的材料為鈦、 金、鉻或錯。
17. 如權利要求13所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述外力為水的表面張 力和浮力。
18. 如權利要求17所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述外力進一步包括一 給金屬層遠離粘膠層的整個表面所提供的均勻向上的力。
19. 如權利要求17所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述外力進一步包括一 給目標基底遠離粘膠層的整個表面提供一均勻向下的力。
20. -種納米結構的轉移方法，包括以下步驟： 提供一第一基底，該第一基底的表面設置有一納米結構層； 提供一第-基底，該第-基底的表面具有一粘I父層； 將該第二基底表面的粘膠層與所述第一基底表面的納米結構層接觸； 通過移動所述第一基底和所述第二基底中至少一個，使所述納米結構層與所述第一基 底分離，分離后的納米結構層至少部分從所述粘膠層暴露出來； 提供一第三基底，將所述第二基底和第三基底層疊設置，并使所述納米結構層位于所 述第二基底和第三基底之間，所述至少部分從粘膠層暴露出來的納米結構層與所述第三基 底的表面接觸；以及 提供一有機溶劑和水，將上述第二基底和第三基底層疊設置后的結構先放入該有機溶 劑中再放入水中，使所述第二基底連同所述粘膠層與所述納米結構層及第三基底分離，從 而使所述納米結構層被轉移到所述第三基底的表面。
21. 如權利要求20所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，將所述第二基底和第三 基底層疊設置后的結構放入水中，給金屬層遠離粘膠層的整個表面提供一均勻向上的力。
22. 如權利要求20所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，將所述第二基底和第三 基底層疊設置后的結構放入水中，給目標基底遠離粘膠層的表面提供一均勻向下的力。
23. 如權利要求20所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述第二基底的厚度不 小于10納米。
24. 如權利要求20所述的納米結構的轉移方法，其特征在于，所述第二基底的材料為 欽、金、絡或錯。
【專利摘要】一種納米結構的轉移方法，包括以下步驟：提供一生長基底，該生長基底表面具有一納米結構層；提供一粘膠層覆蓋所述納米結構層；通過移動所述粘膠層和所述生長基底中至少一個，使所述粘膠層遠離所述生長基底，從而使所述納米結構層與所述生長基底分離，至少部分納米結構層從所述粘膠層暴露出來；提供一目標基底，將該粘膠層與所述目標基底層疊設置，使所述納米結構層位于所述粘膠層與所述目標基底之間，并與所述目標基底接觸設置；在所述粘膠層遠離目標基底的表面設置一金屬層；提供一有機溶劑，使該有機溶劑從所述粘膠層與納米結構層接觸的界面滲透使所述粘膠層分解；采用外力使所述粘膠層連同所述金屬層與所述納米結構層及目標基底分離。
【IPC分類】B81C1-00
【公開號】CN104876177
【申請?zhí)枴緾N201410070781
【發(fā)明人】何宇俊, 李東琦, 李天一, 魏洋, 姜開利, 范守善
【申請人】清華大學, 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司
【公開日】2015年9月2日
【申請日】2014年2月28日
【公告號】US9138973, US20150246517