真空泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空泵，作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能電池板制造裝置中的工藝室、其它的密閉室的氣體排氣機(jī)構(gòu)等利用。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種真空泵，例如公知有專利文獻(xiàn)I所記載的真空泵。在該文獻(xiàn)I所記載的真空泵(以下稱為“以往的真空泵”)中，作為防止泵內(nèi)生成物的附著的手段，是通過向該文獻(xiàn)I的圖2中圖示的線圈(25)中通入交流電流而使良導(dǎo)熱體(24)與散熱板(20)的溫度上升，通過散熱板(20)對動(dòng)翼(5)、靜翼(4)以及螺紋槽泵級(9)的氣體流路進(jìn)行加熱。
[0003]但是，在以往的真空泵中，雖然如前述那樣，動(dòng)翼(5)、靜翼(4)以及螺紋槽泵級(9)的氣體流路能夠加熱，但由于外殼(I)內(nèi)的下部側(cè)不能夠加熱(參照該文獻(xiàn)I的圖2)，所以生成物容易附著在外殼(I)內(nèi)的下部側(cè)，存在作為真空泵整體的生成物的附著量比較多的問題。
[0004]此外，根據(jù)以往的真空泵，如專利文獻(xiàn)I的圖2中圖示的那樣，將線圈(25)收容在良導(dǎo)熱體(24)中，線圈(25)的配線貫通該良導(dǎo)熱體(24)地與連接器(26)相連。因此，磁通從該良導(dǎo)熱體(24)的貫通孔(線圈(25)的配線通過的孔)以及線圈(25)的配線泄漏，也存在因其泄漏磁通而發(fā)生真空泵內(nèi)部的電裝零件誤動(dòng)作等磁通泄漏引起的真空泵電氣系統(tǒng)的事故的可能性。
[0005]但是，在以往的真空泵中，通過氣體吸氣口(2)的氣體經(jīng)過動(dòng)翼(5)、靜翼(4)以及螺紋槽泵級(9)的氣體流路向排氣口(3)的方向流動(dòng)，吸氣口(2) —側(cè)成為高真空，另一方面，排氣口(3) —側(cè)成為低真空(參照專利文獻(xiàn)I的段落0052的記載)。此時(shí)，即使在接近排氣口(3)的螺紋槽泵級(9)的下游，也與排氣口(3)同樣地成為低真空。
[0006]但是，根據(jù)以往的真空泵，由于如前述那樣線圈(25)配置在了成為低真空的螺紋槽泵級(9)的下游(參照專利文獻(xiàn)I的圖2)，所以產(chǎn)生真空放電引起的線圈(25)的絕緣包覆破壞，線圈(25)的壽命短。此外，也存在產(chǎn)生線圈(25)的絕緣包覆破壞引起的短路等泵電氣系統(tǒng)的故障，不能夠長期穩(wěn)定地連續(xù)運(yùn)行真空泵的問題。
[0007]此外，在以往的真空泵中，在外殼(I)的下部外周安裝連接器(26)，并且用配線(無附圖標(biāo)記)連接該連接器(26)和線圈(25)，從連接器(26)經(jīng)由前述配線向線圈(25)通入有交流電流(參照該文獻(xiàn)I的圖2)。
[0008]但是，根據(jù)以往的真空泵，由于前述連接器(26)的端部側(cè)、尤其是連接了配線的一側(cè)配置在外殼(I)內(nèi)的真空中(參照該文獻(xiàn)I的圖2)，所以必須使用昂貴的真空連接器作為連接器(25)(參照該文獻(xiàn)I的段落0051的記載)，也存在真空泵整體的成本不得不增高的冋題。
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本國特開2002 - 21775號公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明是為了解決前述問題而提出的，其目的在于能夠降低作為真空泵整體的生成物的附著量，并且有效地防止磁通泄漏引起的真空泵電氣系統(tǒng)的事故。此外，本發(fā)明的其它目的還在于能夠使真空泵長期安定地連續(xù)運(yùn)行，以及實(shí)現(xiàn)真空泵整體的成本降低。
[0011]為了達(dá)到前述目的，本發(fā)明第I技術(shù)方案的真空泵具備:內(nèi)包在泵殼中的轉(zhuǎn)子，固定在前述轉(zhuǎn)子上的旋轉(zhuǎn)軸，前述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)可能地支承的支承機(jī)構(gòu)，使前述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及在與前述轉(zhuǎn)子的外周側(cè)或者內(nèi)周側(cè)之間形成螺紋槽排氣通路的螺紋槽排氣部定子，其特征在于，在前述螺紋槽排氣部定子的下部設(shè)有加熱部，前述加熱部具備磁軛，線圈，和加熱板，通過向前述線圈中通入交流電流產(chǎn)生的電磁感應(yīng)加熱，對前述磁軛以及前述加熱板進(jìn)行加熱。
[0012]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，前述轉(zhuǎn)子內(nèi)包在基座隔架中，在前述轉(zhuǎn)子的下部配置有定子基座，前述加熱部設(shè)在前述螺紋槽排氣部定子與前述定子基座之間，并且具備加熱器隔架，前述加熱板與前述螺紋槽排氣部定子抵接地安裝在前述加熱器隔架上，通過對前述磁軛以及前述加熱板進(jìn)行加熱，從而對前述加熱器隔架、前述螺紋槽排氣部定子、前述基座隔架或者前述定子基座的至少一種進(jìn)行加熱。
[0013]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部由具有凹部的前述加熱器隔架，配置在前述凹部內(nèi)的前述磁軛，配置在前述磁軛上的前述線圈，以及與前述螺紋槽排氣部定子抵接地并且前述凹部封堵地安裝在前述加熱器隔架上的前述加熱板來構(gòu)成。
[0014]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部由具有凹部的前述加熱器隔架，配置在前述凹部內(nèi)的前述磁軛，與前述螺紋槽排氣部定子抵接地并且前述凹部封堵地安裝在前述加熱器隔架上的具有槽的前述加熱板來構(gòu)成。
[0015]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部由前述加熱器隔架，安裝在前述加熱器隔架上的前述磁軛，與前述螺紋槽排氣部定子抵接地并且前述磁軛內(nèi)包地安裝在前述加熱器隔架上的具有槽的前述加熱板，以及配置在前述槽內(nèi)的前述線圈來構(gòu)成。
[0016]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，具備:連接器裝設(shè)部，用于將連接器裝設(shè)在前述加熱器隔架的外側(cè)面上；配線穿入孔，僅形成在前述加熱器隔架上或者形成在前述加熱器隔架及前述磁軛雙方上，使前述凹部或者前述槽和前述連接器裝設(shè)部連通；以及配線，穿入前述配線穿入孔中，連接前述線圈與前述連接器。
[0017]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部具備:溫度傳感器，安裝在前述加熱板或者前述螺紋槽排氣部定子或者前述磁軛上；和溫度控制機(jī)構(gòu)，基于前述溫度傳感器的檢測值，控制前述加熱板或者前述螺紋槽排氣部定子或者前述磁軛達(dá)到規(guī)定的溫度。
[0018]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部具備:溫度傳感器，安裝在前述線圈上；和保護(hù)控制機(jī)構(gòu)，基于前述溫度傳感器的檢測值，控制前述線圈不超過規(guī)定的溫度。
[0019]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，作為能夠比前述基座隔架及前述定子基座優(yōu)先地對前述螺紋槽排氣部定子進(jìn)行加熱的手段，通過在前述螺紋槽排氣部定子與前述基座隔架或者前述定子基座之間留有間隙或者夾裝導(dǎo)熱率更低的中間部件，使前述螺紋槽排氣部定子不直接與前述基座隔架或者前述定子基座接觸。
[0020]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，由磁性材料一體地形成前述加熱器隔架和前述磁軛。
[0021]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，一體地形成前述加熱器隔架和前述基座隔架。
[0022]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，一體地形成前述定子基座和前述加熱器隔架與前述基座隔架。
[0023]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，采用了如下的結(jié)構(gòu):在前述加熱器隔架和前述加熱板上設(shè)置螺栓穿入孔，通過穿入這些螺栓穿入孔中的緊固螺栓使前述加熱器隔架和前述加熱板為一體地安裝在前述螺紋槽排氣部定子上的結(jié)構(gòu)，或者在前述螺紋槽排氣部定子和前述加熱板上設(shè)置螺栓穿入孔，通過穿入這些螺栓穿入孔中的緊固螺栓使前述螺紋槽排氣部定子和前述加熱板為一體地安裝在前述加熱器隔架上的結(jié)構(gòu)，或者在前述螺紋槽排氣部定子上設(shè)置螺栓穿入孔，通過穿入該螺栓穿入孔中的緊固螺栓，將前述螺紋槽排氣部定子在前述基座隔架或者前述定子基座上安裝成前述螺紋槽排氣部定子的下側(cè)端面與前述加熱板抵接的結(jié)構(gòu)，作為能夠比前述加熱器隔架優(yōu)先地對前述螺紋槽排氣部定子進(jìn)行加熱的手段，采用了通過在前述加熱器隔架和前述加熱板的邊界附近設(shè)置減重部，降低從前述加熱板向前述加熱器隔架的傳熱的結(jié)構(gòu)。
[0024]為了達(dá)到前述目的，本發(fā)明第2技術(shù)方案的真空泵，具備:內(nèi)包在泵殼中的轉(zhuǎn)子，固定在前述轉(zhuǎn)子上的旋轉(zhuǎn)軸，前述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)可能地支承的支承機(jī)構(gòu)，使前述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及在與前述轉(zhuǎn)子的外周側(cè)或者內(nèi)周側(cè)之間形成螺紋槽排氣通路的螺紋槽排氣部定子，其特征在于，在前述螺紋槽排氣部定子的下部設(shè)有加熱部，前述加熱部具備磁軛，線圈，和加熱板，還具備將前述線圈與連接器連接的配線，和磁通泄漏降低機(jī)構(gòu)，通過向前述線圈中通入交流電流產(chǎn)生的電磁感應(yīng)加熱，對前述磁軛以及前述加熱板進(jìn)行加熱。
[0025]在本發(fā)明第2技術(shù)方案中，其特征在于，前述轉(zhuǎn)子內(nèi)包在基座隔架中，在前述轉(zhuǎn)子的下部配置有定子基座，前述加熱部設(shè)在前述螺紋槽排氣部定子與前述基座隔架之間，并且具備加熱器隔架，前述加熱板與前述螺紋槽排氣部定子抵接地安裝在前述加熱器隔架上，進(jìn)而，前述加熱部具備僅形成在前述加熱器隔架上或者形成在前述加熱器隔架及前述磁軛雙方上的配線穿入孔，前述配線穿入前述配線穿入孔中，前述磁通泄漏降低機(jī)構(gòu)裝設(shè)在前述配線穿入孔中或者前述連接器的周圍，前述交流電流從前述連接器經(jīng)由前述配線流動(dòng)，通過對前述磁軛以及前述加熱板進(jìn)行加熱，從而對前述加熱器隔架、前述螺紋槽排氣部定子、前述基座隔架或者前述定子基座的至少一種進(jìn)行加熱。
[0026]在本發(fā)明第2技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部由具有凹部的前述加熱器隔架，配置在前述凹部內(nèi)的前述磁軛，配置在前述磁軛上的前述線圈，以及與前述螺紋槽排氣部定子抵接地并且前述凹部封堵地安裝在前述加熱器隔架上的前述加熱板來構(gòu)成。
[0027]在本發(fā)明第2技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部由具有凹部的前述加熱器隔架，配置在前述凹部內(nèi)的前述磁軛，以及與前述螺紋槽排氣部定子抵接地并且前述凹部封堵地安裝在前述加熱器隔架上的具有槽的前述加熱板來構(gòu)成。
[0028]在本發(fā)明第2技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部由前述加熱器隔架，安裝在前述加熱器隔架上的前述磁軛，與前述螺紋槽排氣部定子抵接地并且前述磁軛內(nèi)包地安裝在前述加熱器隔架上的具有槽的前述加熱板，以及配置在前述槽內(nèi)的前述線圈來構(gòu)成。
[0029]在本發(fā)明第I或者第2技術(shù)方案中，其特征在于，前述加熱部還具備能夠?qū)⑶笆霭疾炕蛘咔笆霾蹆?nèi)設(shè)定成外氣壓的密封機(jī)構(gòu)。
[0030]在本發(fā)明第I或者第2技術(shù)方案中，其特征在于，作為前述密封機(jī)構(gòu)的具有彈性的O型環(huán)，能在前述加熱板上安裝前述O型環(huán)安裝的O型環(huán)槽，和從前述O型環(huán)槽的開口端面到底面之間設(shè)有最小直徑部，前述最小直徑部通過大于前述O型環(huán)的內(nèi)徑或者由設(shè)在前述O型環(huán)槽的邊緣上的突起部來構(gòu)成，從而具有前述O型環(huán)脫落防止功能的O型環(huán)脫落防止機(jī)構(gòu)。
[0031]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，前述轉(zhuǎn)子內(nèi)包在泵座中，前述螺紋槽排氣部定子在前述轉(zhuǎn)子的外周側(cè)由外側(cè)螺紋槽排氣部定子來構(gòu)成，在前述轉(zhuǎn)子的內(nèi)周側(cè)由內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子來構(gòu)成，前述加熱部設(shè)在前述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子以及前述外側(cè)螺紋槽排氣部定子的下部，前述加熱板與前述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子或者前述外側(cè)螺紋槽排氣部定子的任一種抵接，前述磁軛配置在前述泵座上，前述線圈配置在前述磁軛上，并且具有通過對前述加熱板以及前述磁軛進(jìn)行加熱，從而對前述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子、前述外側(cè)螺紋槽排氣部定子或者前述泵座的至少一種進(jìn)行加熱的功能，前述加熱板作為兩個(gè)以上的分離加熱板分離成多個(gè)。
[0032]其特征在于，前述分離加熱板通過其材質(zhì)不同而每個(gè)前述分離加熱板的發(fā)熱量不同。
[0033]其特征在于，通過前述分離加熱板為以該分離形成的間隙部為基準(zhǔn)左右不對稱的截面形狀，每個(gè)前述分離加熱板的發(fā)熱范圍以及發(fā)熱量不同。
[0034]其特征在于，前述分離加熱板通過至少一個(gè)前述分離加熱板由層壓材料形成，每個(gè)前述分離加熱板的發(fā)熱量不同。
[0035]其特征在于，前述分離加熱板通過該分離的部分在上下方向上重合，該分離的部分成為了折曲的通路形狀。
[0036]在本發(fā)明第I技術(shù)方案中，其特征在于，在前述泵座上設(shè)有配置了前述磁軛的凹部，用于裝設(shè)連接器的連接器裝設(shè)部，從前述連接器裝設(shè)部向前述凹部連通的配線穿入孔，以及穿入前述配線穿入孔中并連接前述線圈和前述連接器的配線。
[0037]在本發(fā)明第I或者第2技術(shù)方案中，其特征在于，具備裝設(shè)在前述配線穿入孔中或者前述連接器的周圍的磁通泄漏降低機(jī)構(gòu)。
[0038]其特征在于，前述磁通泄漏降低機(jī)構(gòu)是裝設(shè)在前述配線穿入孔中的屏蔽管。
[0039]其特征在于，前述磁通泄漏降低機(jī)構(gòu)是裝設(shè)在前述連接器的周圍的屏蔽板。
[0040]在本發(fā)明第2技術(shù)方案中，其特征在于，前述轉(zhuǎn)子內(nèi)包在泵座中，前述螺紋槽排氣部定子在前述轉(zhuǎn)子的外周側(cè)由外側(cè)螺紋槽排氣部定子來構(gòu)成，在前述轉(zhuǎn)子的內(nèi)周側(cè)由內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子構(gòu)成，前述加熱部設(shè)在前述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子以及前述外側(cè)螺紋槽排氣部定子的下部，前述加熱板與前述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子或者前述外側(cè)螺紋槽排氣部定子的任一種抵接，前述磁軛配置在前述泵座上，前述線圈配置在前述磁軛上，并且具有通過對前述加熱板以及前述磁軛進(jìn)行加熱，從而對前述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子、前述外側(cè)螺紋槽排氣部定子或者前述泵座的至少一種進(jìn)行加熱的功能，在前述泵座上設(shè)有用于裝設(shè)前述連接器的連接器裝設(shè)部，前述磁通泄漏降低機(jī)構(gòu)是由磁性材料構(gòu)成的屏蔽管，前述配線被前述屏蔽管包覆。
[0041]其特征