子柱4的下部外周的內(nèi)外兩重的環(huán)狀板材，將其作為內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A以及外側(cè)的分離加熱板23B。
[0161]此外，在圖16的真空泵P4中，內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A設(shè)成通過直接與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A的端部抵接地安裝，作為集中地對(duì)內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A進(jìn)行加熱的機(jī)構(gòu)發(fā)揮功能。另一方面，外側(cè)的分離加熱板23B設(shè)成通過直接與外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B的端部抵接地安裝，作為集中地對(duì)外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B進(jìn)行加熱的機(jī)構(gòu)發(fā)揮功會(huì)K。
[0162]在圖17的加熱部20中，磁軛25與線圈26之間也被夾裝在其間的絕緣板27電絕緣。此外，圖17的加熱部20中的加熱板23和磁軛25也由鐵系材料(例如純鐵、S15C、S25C)或具有磁性的不銹鋼材料(例如鐵素體系不銹鋼材料、SUS430、SUS304、SUS420J2)等磁性材料形成，前述線圈26由良導(dǎo)體(例如銅材料)形成。
[0163]若參照?qǐng)D17，則在泵座ID上設(shè)有用于裝設(shè)連接器100的連接器裝設(shè)部101，從連接器裝設(shè)部101與前述凹部21連通的配線穿入孔102，以及穿過配線穿入孔102連接線圈26和連接器30的線圈26的配線103。在前述磁軛25上，為了穿入前述線圈30的配線103及后述的傳感器51的配線也設(shè)有配線穿入孔102。此外，雖然圖17所示連接器100、連接器裝設(shè)部101、配線穿入孔102、配線103、以及傳感器51的配線配置在水平位置(朝向座IB的外周的方向)，但也可以配置在垂直位置(朝向座IB的底面的方向)。
[0164]在圖17中，若從連接器100經(jīng)由配線103向線圈26中通入高頻的交流電流，則線圈26和加熱板23 (分離加熱板23A、23B)以及磁軛25電磁結(jié)合，在加熱板23以及磁軛25的內(nèi)部發(fā)生渦電流。于是，由于加熱板23及磁軛25中存在固有的電阻，所以在加熱板23及磁軛25中產(chǎn)生焦耳熱。此外，在加熱板23及磁軛25中產(chǎn)生鐵損發(fā)熱，在線圈26中產(chǎn)生銅損發(fā)熱。內(nèi)側(cè)以及外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、18B優(yōu)先被這些熱中尤其是加熱板23發(fā)生的熱加熱，此外，基座隔架IB優(yōu)先被磁軛25發(fā)生的熱加熱。進(jìn)而，定子柱4也優(yōu)先被來自泵座ID的傳熱加熱。
[0165]雖然內(nèi)外的分離加熱板23A、23B設(shè)定成通過由相同材質(zhì)的磁性材料形成而每個(gè)分離加熱板23A、23B的發(fā)熱量大致相同，但作為與其不同的實(shí)施方式，也可以是通過由不同材質(zhì)的磁性材料形成這些加熱板，每個(gè)分離加熱板23A、23B的發(fā)熱量不同。
[0166]內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B存在因其質(zhì)量、材質(zhì)、熱損失的不同等而熱容量不同的情況。例如，存在與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A相比，外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B的熱容量大的情況。在這種情況下，例如能夠通過由純鐵系的材料形成外側(cè)的分離加熱板23B，由不銹鋼材料形成內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A，設(shè)定成與內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A的發(fā)熱量相比，外側(cè)的分離加熱板23B的發(fā)熱量大。這樣一來，加熱板23能夠加熱成內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A與外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B成為大致相同的溫度，或者加熱成為各自的目標(biāo)溫度等與螺紋槽排氣部定子18A、18B的熱容量相對(duì)應(yīng)地對(duì)螺紋槽排氣部定子18A、18B進(jìn)行加熱。
[0167]作為將材質(zhì)變更成其它的方法有在材料中外加添加物的方法。例如，在分離加熱板的材料中外加陶瓷，使材料的電阻等物性部分地變化。這樣一來，不僅能夠變更分離加熱板整體的發(fā)熱量，也能夠變更一部分的發(fā)熱量。
[0168]圖18至圖22是與先前所說明的加熱板23的分離有關(guān)的其它的實(shí)施方式的說明圖。
[0169]這些圖18至圖22所示的加熱板23也與先前所說明的圖16、圖17的加熱板23相同，作為內(nèi)外的分離加熱板23A、23B是分離的，但其具體的分離結(jié)構(gòu)如以下那樣不同。
[0170]在圖16、圖17的加熱板23中，構(gòu)成加熱板的內(nèi)外的分離加熱板23A、23B成為以其分離形成的間隙部G3 (以下稱為“分離間隙G3”)為基準(zhǔn)左右對(duì)稱的截面形狀。另一方面，在圖18、圖19的加熱板23中，構(gòu)成加熱板的內(nèi)外的分離加熱板23A、23B成為以其分離間隙G3為基準(zhǔn)左右不對(duì)稱的截面形狀，每個(gè)分離加熱板23A、23B的發(fā)熱范圍以及發(fā)熱量不同。
[0171]尤其是在圖18的加熱板23中，由于內(nèi)外的分離加熱板23A、23B的寬度L1、L2不同，所以內(nèi)外的分離加熱板23A、23B成為以其分離間隙G3為基準(zhǔn)左右不對(duì)稱的截面形狀。在此，例如在與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A相比外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B的熱容量大的情況下，外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B—方溫度不易上升。在這種情況下，如該圖18那樣，將外側(cè)的分離加熱板23A的寬度LI設(shè)定成比內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A的寬度L2大。這樣一來，加熱板23能夠加熱成內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B成為大致相同的溫度，或者加熱成為各自的目標(biāo)溫度等與螺紋槽排氣部定子18A、18B的熱容量相對(duì)應(yīng)地對(duì)螺紋槽排氣部定子18A、18B進(jìn)行加熱。
[0172]另一方面，在圖19的加熱板23中，由于內(nèi)外的分離加熱板23A、23B的厚度H1、H2不同，所以內(nèi)外的分離加熱板23A、23B成為以其分離間隙G3為基準(zhǔn)左右不對(duì)稱的截面形狀。在此，例如在與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A相比外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B的熱容量大的情況下，如該圖19那樣，將外側(cè)的分離加熱板23B的厚度Hl設(shè)定成比內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A的厚度H2大。這樣一來，加熱板23能夠加熱成內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B成為大致相同的溫度，或者加熱成為各自的目標(biāo)溫度等與螺紋槽排氣部定子18A、18B的熱容量相對(duì)應(yīng)地對(duì)螺紋槽排氣部定子18A、18B進(jìn)行加熱。
[0173]在圖20的加熱板23中，構(gòu)成加熱板的內(nèi)外的分離加熱板23A、23B是由實(shí)心材料形成內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A，由層壓材料形成外側(cè)的分離加熱板23B，這樣一來，外側(cè)的分離加熱板23B的一方設(shè)定成與內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A相比發(fā)熱量減少。該設(shè)定是與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A的熱容量相比，外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B的熱容量小的情況的例子，在與該例子相反的情況下，只要由層壓材料形成內(nèi)側(cè)的分離加熱板23A，由實(shí)心材料形成外側(cè)的分離加熱板23B即可。
[0174]作為采用了前述的層壓材料的其它不同的實(shí)施方式，也能夠通過由層壓材料形成內(nèi)外的分離加熱板23A、23B雙方，并且在內(nèi)外的分離加熱板23A、23B中改變其層壓數(shù)，設(shè)定成每個(gè)分離加熱板23A、23B的發(fā)熱量不同。
[0175]在圖21、圖22的加熱板23中，構(gòu)成加熱板的內(nèi)外的分離加熱板23A、23B通過其分離的部分在上下方向上重合，成為以分離間隙G3為基準(zhǔn)左右不對(duì)稱的截面形狀，除此之夕卜，該分離間隙G3 (加熱板23的分離的部分)成為了之字地折曲的通路形狀。
[0176]由于前述分離間隙G3為空隙，所以線圈26的磁通從分離間隙G3向加熱板23上部一側(cè)的泄漏不可避免。但是，若為圖21、圖22那樣的分離加熱板23A、23B的重合構(gòu)造，則由于通過其分離間隙G3為前述那樣之字地折曲的通路形狀，分離間隙G3的長(zhǎng)度增加，所以能夠有效地減少線圈26的磁通從分離間隙G3向加熱板23上部一側(cè)的泄漏。
[0177]尤其是在圖21那樣的分離加熱板23A、23B的重合構(gòu)造中，由于成為了內(nèi)外的分離加熱板23A、23B的寬度L1、L2也不同的結(jié)構(gòu)，所以每個(gè)分離加熱板23A、23B的發(fā)熱范圍以及發(fā)熱量不同，能夠與螺紋槽排氣部定子18A、18B的熱容量相對(duì)應(yīng)地對(duì)螺紋槽排氣部定子18A、18B進(jìn)行加熱。
[0178]此外，在圖16的真空泵P4中，作為前述加熱部20能夠比泵座ID優(yōu)先地對(duì)內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A或外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B進(jìn)行加熱的手段，在內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A與定子柱4之間設(shè)置空隙G2，或在外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B與泵座ID之間設(shè)置空隙G2，能夠設(shè)定成內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A與定子柱4的接觸面積以及外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B與泵座ID的接觸面積均減小。
[0179]在圖16、圖17中，雖然從前述線圈26到前述加熱板23的距離，和相當(dāng)于絕緣板27的厚度的從線圈26到磁軛25的距離能夠根據(jù)需要適當(dāng)變更，但從有效地防止螺紋槽排氣部定子18A、18B —側(cè)的生成物的附著的觀點(diǎn)考慮，其距離優(yōu)先設(shè)定成能夠與磁軛2相比有效地對(duì)加熱板23 —方進(jìn)行加熱的距離。
[0180]在圖16、圖17的加熱部20中，使磁軛25的截面形狀為朝向內(nèi)側(cè)以及外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、18B朝上的槽形狀，將該磁軛25的上端部接近加熱板23地配置。這樣一來，由于磁軛25內(nèi)的線圈26配置在由磁性材料的加熱板23和磁軛25包圍的空間內(nèi)，所以線圈26的磁通泄漏少。
[0181]此外，在圖16、圖17的加熱部20中，在磁軛25與加熱板23之間設(shè)有規(guī)定的間隙部。這樣一來，加熱板23發(fā)生的熱不易通過磁軛25向泵座ID —側(cè)逃逸，能夠由加熱板23優(yōu)先對(duì)螺紋槽排氣部定子18A、18B進(jìn)行加熱。
[0182]圖16的真空泵P4進(jìn)而也如圖17所示，具備檢測(cè)泵內(nèi)的溫度的溫度檢測(cè)傳感器51，和基于溫度檢測(cè)傳感器51的檢測(cè)值控制加熱板23達(dá)到規(guī)定的溫度的溫度控制機(jī)構(gòu)(省略圖示)。另外，在該圖16的真空泵P4中，如圖17那樣在外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B上安裝溫度檢測(cè)傳感器51，但并不僅限于該安裝位置。例如，也可以在內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A或加熱板23上安裝溫度檢測(cè)傳感器51。
[0183]圖16、圖17的加熱部20也可以具備安裝在前述線圈26上的線圈溫度檢測(cè)傳感器(未圖示)，和基于前述線圈溫度檢測(cè)傳感器的檢測(cè)值控制成前述線圈不超過規(guī)定的溫度的保護(hù)控制機(jī)構(gòu)(省略圖示)。
[0184]此外，在圖16的真空泵P4中，在加熱板23上形成貫通孔，將溫度檢測(cè)傳感器51以及線圈溫度檢測(cè)傳感器的配線穿過該貫通孔和凹部21與配線穿入孔102連接在連接器100上，但也可以采用與其不同的連接方式。
[0185]在圖16、圖17的加熱部20中，作為凹部21與磁軛25的固定方式，例如能夠采用將磁軛25壓入凹部21內(nèi)的方式、未圖示的螺釘固定方式、或者用粘接劑將磁軛25固定在凹部21內(nèi)的方式。
[0186]此外，在圖16、圖17的加熱部20中，作為磁軛25與線圈26的固定方式，能夠采用向磁軛25內(nèi)填充樹脂等，用樹脂等對(duì)線圈26整體進(jìn)行模制的方式。
[0187]進(jìn)而，在圖16、圖17的加熱部20中，作為加熱板23與內(nèi)側(cè)以及外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、18B的固定方式，能夠采用將設(shè)在加熱板23 (分離加熱板23A、23B)的表面上的凸部嵌入外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A之間，用緊固螺栓固定加熱板23和螺紋槽排氣部定子18A、18B的方式(螺栓固定方式)、或用粘接劑將其固定的方式(粘接固定方式)等，此外，也可以并用前述螺栓固定方式和粘接固定方式。
[0188]在圖16、圖17的加熱部20中，由于為了穿入線圈26的配線103及溫度傳感器51以及線圈溫度檢測(cè)傳感器的配線，在磁軛25上也形成有配線穿入孔102，所以存在線圈26的磁通通過其配線穿入孔102向外部泄漏的可能性。因此，在該圖16、圖17的加熱部20中，作為磁通泄漏降低手段，在從磁軛25到連接器裝設(shè)部101的配線穿入孔102的整個(gè)范圍裝設(shè)由磁性材料構(gòu)成的屏蔽管200，此外，在連接器100的周圍配置有由磁性材料構(gòu)成的屏蔽板201。另外，由于僅通過屏蔽管200和屏蔽板201的某一方即能夠充分防止磁通泄漏，所以也能夠省略另一方。
[0189]圖16的真空泵P4成為了將加熱部20和泵座ID與定子柱4 一體化的構(gòu)造，但這些也可以作為不同的零件形成。
[0190]如以上所說明的那樣，在第4實(shí)施方式的真空泵P4中，作為加熱部20的具體的結(jié)構(gòu)，具備通過向線圈26中通入交流電流而產(chǎn)生的電磁感應(yīng)加熱對(duì)加熱板23以及磁軛25進(jìn)行加熱，從而對(duì)內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、外側(cè)螺紋槽排氣部定子18B、以及泵座ID進(jìn)行加熱的功能。因此，能夠通過加熱部20進(jìn)行的泵座ID的加熱防止泵座ID內(nèi)的生成物的附著，除此之外，進(jìn)而還能夠通過來自泵座ID的傳熱對(duì)定子柱4也進(jìn)行加熱，也能夠防止定子柱4處的生成物的附著，所以能夠降低作為真空泵P4整體的生成物的附著量。
[0191]此外，在第4實(shí)施方式的真空泵P4中，由于采用了將由磁性材料構(gòu)成的屏蔽管200裝設(shè)在配線穿入孔102中的結(jié)構(gòu)，或在連接器100的周圍設(shè)置了由磁性材料構(gòu)成的屏蔽板201的結(jié)構(gòu)，所以能夠通過屏蔽管200及屏蔽板201減少線圈26的磁通泄漏，有效地防止真空泵P4內(nèi)部的電裝零件因泄漏磁通而誤動(dòng)作等磁通泄漏引起的真空泵電氣系統(tǒng)的事故。
[0192]進(jìn)而，根據(jù)第4實(shí)施方式的真空泵P4，作為加熱板20的具體的結(jié)構(gòu)，采用了加熱板23作為與內(nèi)側(cè)以及外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A、18B的某一個(gè)抵接的兩個(gè)