作用部位621T、721T，所以能夠抑制上述變形，并能夠確保所希望的鋼絲索張力，能夠使促動器I順暢地動作。
[0084]另外，如圖2所示，利用夾持在旋轉軸2與促動器主體10之間的空間而設置單元62、72及第2引導機構8。因此，盡管設置了上述聯(lián)動機構，也能夠防止促動器I的寬度方向Y的尺寸增大。
[0085]圖8是表示適用本發(fā)明的促動器的第2實施方式的立體圖。另外，圖9是圖8中的B-B線向視圖。另外，圖10是示意性地表示單元、促動器主體及移動體的連接關系的圖。該第2實施方式與第I實施方式相比有兩點相差較大。首先，第I點是還追加一個共振抑制機構而成為三個，即追加一對支撐件91U、91D和單元92。另外第2點是全部支撐件61U、61D、71U、71D、91U、91D及移動體3以單支撐狀態(tài)由第I引導機構5沿X方向移動自如地支撐。另外，其他結構基本上相同，所以以下以不同點為中心進行說明，關于相同結構，使用相同的附圖標記，省略其說明。
[0086]在第I引導機構5中，相對于旋轉軸2在寬度方向Y的上游側、即(一 Y)方向側，在X方向上延伸的軌道固定臺511固定在促動器主體10的上表面，進而在該軌道固定臺511上導軌521在X方向上延伸設置。并且，如圖8所示，相對于導軌521從馬達M側在X方向上滑動自如地安裝有支撐件用滑動件56D、57D、58D、移動體用滑動件(省略圖示)及支撐件用滑動件58U、57U、56U。
[0087]并且，如圖8所示，移動體3的(一 Y)方向側端部相對于這些滑動件中的移動體用滑動件進行安裝，移動體3在以所謂的單支撐狀態(tài)支撐的同時一邊由第I引導機構5在X方向上引導一邊往復移動自如。另一方面，支撐件61D、91D、71D、71U、91U、61U分別相對于其余滑動件中的支撐件用滑動件56D、57D、58D、58U、57U、56U進行安裝。其中的支撐件91U、91D是共振抑制機構9的構成要素，相對于移動體3分別位于軸向X的上游側和下游側。并且，這些上游支撐件9IU和下游支撐件9ID以由單元92保持的狀態(tài)在X方向上一體地移動自如。另外，支撐件91U、91D與支撐件61U、61D、71U、71D同樣地以能夠支撐旋轉軸2的方式構成，其基本結構都與支撐件61U、61D、71U、71D相同。
[0088]作為共振抑制機構9的另一構成要素的單元92除了單元主體921的X方向的長度比單元62的單元主體的X方向的長度短且比單元72的單元主體的X方向的長度長這一點外，與單元62、72基本相同。g卩，單元92具有:在X方向上延伸的長條形狀的單元主體921、在方向X上彼此離開而相對于單元主體921旋轉自如地設置的一對帶輪922、923(圖10)、架設在一對帶輪922、923之間的鋼絲索924 (圖10)。
[0089]并且，單元92以在Y方向上由單元62、72夾持的方式配置，單元62、72、92以排列于Y方向上的狀態(tài)分別由第2引導機構8的樹脂滑動件811、813、812支撐。在該第2實施方式中，第2引導機構8也如圖9所示，這些單元62、72、92設于夾在旋轉軸2與促動器主體10之間的空間中。更詳細而言，第2引導機構8中，在X方向上延伸的導軌82在旋轉軸2的下方固定在促動器主體10的上表面。在該導軌82上，三條引導槽821、823、822在X方向上延伸設置。這些引導槽821、823、822沿Y方向排列設置，引導槽821位于支撐件61D、61U的(+Y)側端部的正下方，引導槽822位于支撐件71D、71U的(+Y)側端部的正下方，弓丨導槽823位于支撐件91D、91U的(+Y)側端部的正下方。另外，各引導槽821、823、822的結構和樹脂滑動件811、813、812的卡合狀態(tài)與第I實施方式相同。
[0090]并且，單元主體621相對于兩條樹脂滑動件811進行安裝。該單元主體621具有旋轉軸2的外螺紋形成區(qū)域、即移動體3的移動行程的大約3/4左右的長度，在X方向上游端部和X方向下方端部的上表面分別固定有支撐件61U、61D。并且，通過樹脂滑動件811使單元62和支撐件6ID、6IU —體地沿X方向移動自如。另外，單元主體921相對于兩條樹脂滑動件813進行安裝。該單元主體921比單元主體621短，具有移動體3的移動行程的大約2/4 ( = 1/2)左右的長度，在單元主體921的上游保持部位(省略圖示)及下游保持部位(省略圖示)的上表面分別固定有支撐件91U、91D。該單元主體921的中間部位(省略圖示)由樹脂滑動件813保持，通過該樹脂滑動件813使單元92和支撐件91D、91U —體地沿X方向移動自如。而且，單元主體721相對于兩條樹脂滑動件812進行安裝。該單元主體721比單元主體921更短，具有移動體3的移動行程的大約1/4左右的長度，在X方向上游端部和X方向下方端部的上表面分別固定有支撐件71U、71D。并且，通過樹脂滑動件812使單元72和支撐件7ID、7IU —體地沿X方向移動自如。
[0091]如此，單元62、72和單元92能夠分別獨立地在X方向上移動，但是為了有效地通過支撐件61D、91D、71D、71U、91U、61U防止旋轉軸2共振，移動體3、單元62、單元92、單元72及促動器主體10如下所示進行連接。以下，參照圖10說明連接關系。
[0092]在該第2實施方式中，在沿Y方向排列的三個單元62、92、72中的位于最上游側、即(一 Y)方向側的單元62中，與第I實施方式同樣地，相對于一對帶輪622、623在排列方向Y的上游側、即(一 Y)方向側鋼絲索624的一部分由固定配件11固定于促動器主體10。另外，在位于最下游側、即(+Y)方向側的單元72中，與第I實施方式同樣地，相對于一對帶輪722、723在排列方向Y的下游側、即(+Y)方向側鋼絲索724的一部分通過連接配件12與移動體3的滑動件32連接。
[0093]并且，在排列方向Y上彼此相鄰的兩組、即單元62與單元92的組合和單元92與單元72的組合中，如圖10所示進行連接。即，單元62和單元92彼此相鄰，在排列方向Y上位于上游側的單元62中，相對于一對帶輪622、623在排列方向Y的下游側、S卩(+Y)方向側鋼絲索624的一部分通過連接配件15與單元92的單元主體921連接，并且在單元92中，相對于一對帶輪922、923在排列方向Y的上游側、即(一 Y)方向側鋼絲索924的一部分通過連接配件16與單元62的單元主體621連接。
[0094]另外，單元92、72彼此相鄰，在排列方向Y上位于上游側的單元92中，相對于一對帶輪922、923在排列方向Y的下游側、S卩(+Y)方向側鋼絲索924的一部分通過連接配件17與單元72的單元主體721連接，并且在單元72中，相對于一對帶輪722、723在排列方向Y的上游側、即(一 Y)方向側鋼絲索724的一部分通過連接配件18與單元92的單元主體921連接。
[0095]如此構成的單元62、92、72中當移動體3通過旋轉軸2的旋轉例如向(一 X)方向移動時，在圖10的紙面中一對帶輪722、723繞逆時針方向旋轉，并且一對帶輪922、923以比帶輪722、723低的旋轉速度繞逆時針方向旋轉并且一對帶輪622、623以比帶輪922、923還低的旋轉速度繞逆時針方向旋轉，同時單元62、單元92、單元72都與移動體3聯(lián)動而向(一 X)方向移動。其中，由于構建了上述連接關系，所以單元62的移動速度為移動體3的移動速度的1/4，單元92的移動速度為移動體3的移動速度的2/4 ( = 1/2)，單元72的移動速度為移動體3的移動速度的3/4。伴隨于此，由單元62保持的支撐件6ID、6IU的移動速度也為移動體3的移動速度的3/4，由單元92保持的支撐件9ID、9IU的移動速度也為移動體3的移動速度的2/4 ( = 1/2)，由單元72保持的支撐件71D、71U的移動速度也為移動體3的移動速度的3/4。如此，在本實施方式中，單元62、92、72作為減速器發(fā)揮功能。因此，隨著移動體3例如向(一 X)方向移動，在移動體3的上游側，旋轉軸2的上游端部(軸承4U)、支撐件61U、91U、71U及移動體3的間隔逐漸變窄，而在移動體3的下游側，旋轉軸2的下游端部(軸承4D)、支撐件61D、92D、71D及移動體3的間隔逐漸變寬。通過這樣的六個支撐件61D、61U、92D、92U、71D、71U的移動有效地抑制旋轉軸2的共振。
[0096]如以上所示，根據(jù)第2實施方式，相比于第I實施方式，增設了支撐件對，所以能夠進一步提高共振抑制效果。另外，隨著增設支撐件對，也追加了單元92，而該單元92具有與第I實施方式中使用的單元62、72相同的基本結構，通過構建與第I實施方式相同的連接關系，能夠良好地驅動支撐件。另外，在共振抑制機構比第I實施方式增設兩個以上的情況下，也只要增設具有相同結構的單元并構建與第I實施方式相同的連接關系即可。
[0097]另外，單元主體921由樹脂滑動件813保持而沿導軌82移動自如。并且，單元92在由該單元主體921保持支撐件對(上游支撐件9IU和下游支撐件91D)的同時使單元主體921與移動體3的移動聯(lián)動而移動，由此使支撐件對在軸向Z上移動。因此，得到與第I實施方式相同的作用效果。
[0098]另外，雖然省略對附圖的圖示，但由于不僅保持單元主體921的上游保持部位和下游保持部位支撐件對，還將中間部位與樹脂滑動件813連接，所以能夠有效地防止單元主體921的彎曲、翹曲、自重下垂等弓形變形。其結果為，能夠使支撐件對與移動體3的移動聯(lián)動而穩(wěn)定地移動。
[0099]另外，樹脂滑動件813安裝在單元主體921的張力作用部位(省略圖示)，所以能夠抑制上述弓形變形，并能夠確保所希望的鋼絲索張力，并使促動器I順暢地動作。
[0100]另外，在上述實施方式中，單元62的一部分由固定配件11固定于促動器主體10，另外，單元72的一部分通過連接配件12與移動體3的滑動件32連接。因此，在單元移動開始或移動停止時向單元施加沖擊，有可能在促動器I中產生振動。另外，由連接配件13?18形成的在單元之間的連接也同樣。因此，為了緩和該沖擊，可以在固定部件、連接部分設置所謂的游隙。例如如圖11所示，可以將固定配件11由主體固定部件111、鋼絲索保持部件112和壓縮彈簧113構成。在該固定配件11中，主體固定部件111的基端部安裝于促動器主體10。另外，在從主體固定部件111的基端部向單元62側延伸的前端部與單元62的鋼絲索624平行地沿(+X)方向和(一 X)方向突出設置棒狀突起部。
[0101]另一方面，在鋼絲索保持部件112中從保持鋼絲索624的保持部朝向主體固定部件111延伸設置兩條卡合部。在各卡合部設置有貫通孔，棒狀突起貫通并間隙插入于各貫通孔。因此，鋼絲索保持部件112以兩條卡合部的分離間隔的一半左右的程度相對于主體固定部件111移動自如，但是超過該程度的X方向移動及Y方向和Z方向的移動受到限制。另外，在主體固定部件111的前端部與鋼絲索保持部件112的卡合部之間，壓縮彈簧外插于棒狀突起部，在X方向上施加作用力而實現(xiàn)沖擊力的緩和。
[0102]在這些實施方式中，樹脂滑動件811、812、813相當于“滑動部件”的一例，通過使用樹脂材料而實現(xiàn)滑動部件的輕量化，實現(xiàn)馬達M的負荷減輕，但是由樹脂材料以外的材料例如金屬材料形成的滑動件也可以作為“滑動部件”使用。
[0103]另外，本發(fā)明不限于上述實施方式，在不脫離其發(fā)明構思的范圍內能夠對上述內容施加各種變更。例如，在上述實施方式中，從單元主體621、721、921的輕量化和剛性確保的觀點出發(fā)，將單元主體的YZ截面精加工成大致倒U字形狀，但是單元主體的截面形狀不限于此。例如如圖12a所示可以精加工成大致倒H字形狀。另外例如如圖12B?圖12D所示，可以在單元主體的內部設置中空部。
[0104]另外，在上述實施方式中，如圖2和圖9所示，多個帶輪以旋轉軸與Z方向平行的姿勢沿Y方向排列，但是關于帶輪的配置姿勢、排列方向能夠適當變更。例如多個帶輪可以以旋轉軸與Y方向平行的姿勢沿Y方向排列。另外，多個帶輪也可以以旋轉軸與Z方向平行的姿勢沿高度方向Z排列，在這種情況下成為多個單元在高度方向Z上層疊配置而成的結構。
[0105]另外，在上述實施方式中，例如在第I實施方式中，由單元62、72構成一個單元組，使四個支撐件61U、61D、71U、71D與移動體3聯(lián)動而移動。在此，也可以在移動體3的(+Y)方向側配置上述一個單元組，并且在(一 Y)方向側配置另一個單元組，在這種情況下，作為整體通過四個單元使多個支撐件與移動體3聯(lián)動而移動，能夠使大量支撐件更穩(wěn)定地移動。當然，各單元組的單元數(shù)不限于“2”，也可以是3以上。
[0106]另外，在上述第I實施方式中，在移動體3的(+Y)方向側和(一 Y)方向側的各側設置兩個支撐件并設置兩個單元，本發(fā)明的“M”是“2”。并且，支撐件71U、71D相當于本發(fā)明的“第I個支撐件”，而支撐件91U、91D相當于本發(fā)明的“第2個支撐件”。另外，單元72、62分別相當于本發(fā)明的“第I個減速器”、“第2個減速器”的一例。并且，共振抑制機構7、6分別相當于本發(fā)明的“第I個裝置”和“第2個裝置”。
[0107]另外，在上述第2實施方式中，在移動體3的(+Y)方向側和(一 Y)方向側的各側設置三個支撐件并設置三個單元，本發(fā)明的“M”是“3”。并且，支撐件71U、71D相當于本發(fā)明的“第I個支撐件”，支撐件91U、91D相當于本發(fā)明的“第2個支撐件”，支撐件61U、61D相當于本發(fā)明的“第3個支撐件”。另外，單元72、92、62分別相當于本發(fā)明的“第I個減速器”、“第2個減速器”和“第3個減速器”的一例。并且，共振抑制機構7、9、6分別相當于本發(fā)明的“第I個裝置”、“第2個裝置”和“第3個裝置”。
[0108]在此，關于值M的值不限于上述的“2”、“3”，也可以是4以上，總之本發(fā)明的“M”可以是2以上的整數(shù)，通過連續(xù)地連接M個單元，得到N/(N+1)、(N— 1)/(N+1)、……、1/(N+1)的減速比。
[0109]另外，在本實施方式中，在各單元中，使用帶輪作為本發(fā)明的“旋轉部件”，并且使用鋼絲索作為本發(fā)明的“環(huán)狀索體”，但是“旋轉部件”和“環(huán)狀索