體”的組合不限于此。例如也包含托架與鏈輪的組合、帶輪與傳送帶的組合等。
[0110]另外，在上述第I實(shí)施方式中，沿導(dǎo)軌82所形成的引導(dǎo)槽821、822使樹脂滑動(dòng)件811、812分別在X方向上滑動(dòng)自如地構(gòu)成，但是關(guān)于導(dǎo)軌82的結(jié)構(gòu)不限于此，例如如圖13A和圖13B所示也可以使用具有大致I字形狀的YZ截面的導(dǎo)軌83 (第3實(shí)施方式)。在該第3實(shí)施方式中，在樹脂滑動(dòng)件812的底面中央部沿X方向延伸設(shè)置有與導(dǎo)軌83的上部831嵌合自如的形狀的槽812a，樹脂滑動(dòng)件812從導(dǎo)軌83的X方向端面?zhèn)认鄬τ趯?dǎo)軌83的上部831滑動(dòng)自如地外嵌。由此，能夠有效地防止滑動(dòng)部分中混入異物，能夠使單元72穩(wěn)定地在X方向上移動(dòng)。另外，在該圖中僅圖示了單元72側(cè)的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，但是在第3實(shí)施方式中，關(guān)于單元62側(cè)也設(shè)置具有同樣結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，能夠使單元62穩(wěn)定地在X方向上移動(dòng)。另外，關(guān)于這樣的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，可以適用于第2實(shí)施方式和其他實(shí)施方式，這是不言而喻的。
[0111]另外，在上述實(shí)施方式中，由兩個(gè)樹脂滑動(dòng)件保持各單元主體621、721、921，但是樹脂滑動(dòng)件的個(gè)數(shù)不限于“2”，可以是I以上的任意自然數(shù)。另外，樹脂滑動(dòng)件的形狀也不限于上述實(shí)施方式中的形狀，只要沿導(dǎo)軌滑動(dòng)自如，則其形狀任意。
[0112]另外，在第一實(shí)施方式中，如圖3A和圖3B所示，在單元62中僅將兩個(gè)樹脂滑動(dòng)件811中的一方安裝在單元主體621的張力作用部位621T，相對于此，在單元72中將兩個(gè)樹脂滑動(dòng)件812全部安裝在單元主體721的張力作用部位721T，但是樹脂滑動(dòng)件向張力作用部位的安裝個(gè)數(shù)只要是一個(gè)以上即可。
[0113]另外，在上述實(shí)施方式中，在任一共振抑制機(jī)構(gòu)中都由單元主體保持兩個(gè)支撐件，但是各共振抑制機(jī)構(gòu)的支撐件的個(gè)數(shù)不限于此，可以是任意的。另外，可以對應(yīng)各共振抑制機(jī)構(gòu)使支撐件的個(gè)數(shù)不同。
[0114]另外，在上述第I實(shí)施方式中本發(fā)明適用于具有兩個(gè)共振抑制機(jī)構(gòu)的促動(dòng)器，在上述第2實(shí)施方式中本發(fā)明適用于具有三個(gè)共振抑制機(jī)構(gòu)的促動(dòng)器，但是本發(fā)明的適用對象不限于此。即，本發(fā)明也可以適用于具有一個(gè)或四個(gè)以上的共振抑制機(jī)構(gòu)的促動(dòng)器。
[0115]另外，在由支撐件支撐滾珠絲桿那樣的旋轉(zhuǎn)軸的結(jié)構(gòu)中，由于支撐件與旋轉(zhuǎn)軸相接，所以摩擦力作用于旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸與支撐件之間。而從抑制使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)源的負(fù)荷的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選旋轉(zhuǎn)軸與支撐件之間的摩擦力較小。因此，可考慮通過使支撐件在旋轉(zhuǎn)軸的軸向上小型化而縮小旋轉(zhuǎn)軸與支撐件接觸的部分來降低它們之間的摩擦力。但是，當(dāng)支撐件在旋轉(zhuǎn)軸的軸向上小型化時(shí)，支撐件與軌道那樣的引導(dǎo)部件卡合的部分變窄，支撐件的支撐變得不穩(wěn)定，其結(jié)果為，有可能無法有效地抑制旋轉(zhuǎn)軸的共振。
[0116]因此，優(yōu)選在降低旋轉(zhuǎn)軸與支撐件之間的摩擦力而抑制驅(qū)動(dòng)源的負(fù)荷的同時(shí)還能夠穩(wěn)定地支撐支撐件而有效地抑制旋轉(zhuǎn)軸的共振。另一方面，雖然以上未詳細(xì)論述，但上述實(shí)施方式中所示的支撐件具備能夠兼顧驅(qū)動(dòng)源負(fù)荷的抑制和旋轉(zhuǎn)軸共振的抑制的結(jié)構(gòu)。因此，接下來關(guān)于這一點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)論述。另外，與支撐件有關(guān)的該技術(shù)不僅適用于使支撐件與移動(dòng)體的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)的上述促動(dòng)器，還能夠適用于具備與其不同的結(jié)構(gòu)的促動(dòng)器(圖14?圖21)。因此，以下的說明中所示的促動(dòng)器未必一定是使支撐件與移動(dòng)體的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
[0117]圖14是表示促動(dòng)器的變形例的立體圖。圖15是圖14中例示的促動(dòng)器的俯視圖。在兩圖和以下的圖中，適當(dāng)表示以促動(dòng)器的長度方向作為X方向、以促動(dòng)器的寬度方向作為Y方向(與X方向正交)且以促動(dòng)器的厚度方向作為Z方向(與X方向和Y方向正交)的XYZ正交坐標(biāo)軸。另外，將各坐標(biāo)軸的箭頭側(cè)適當(dāng)稱作正側(cè)，將各坐標(biāo)軸的箭頭的相反側(cè)適當(dāng)稱作負(fù)側(cè)。
[0118]該促動(dòng)器21是具備單一的旋轉(zhuǎn)軸22和伴隨旋轉(zhuǎn)軸22的旋轉(zhuǎn)而移動(dòng)的移動(dòng)體23的單軸機(jī)器人。促動(dòng)器21具有例如由不銹鋼等合金鋼或鋁等金屬(輕金屬)構(gòu)成的框體210。框體210具有在X方向上呈長條的形狀，在X方向的兩側(cè)開口。并且，框體210在Z方向正側(cè)也開口。由此，能夠?qū)⒋賱?dòng)器21的構(gòu)成部件從Z方向經(jīng)由開口安裝于框體210，實(shí)現(xiàn)促動(dòng)器21的組裝的容易化。
[0119]旋轉(zhuǎn)軸22是在與X方向平行的軸向上以直線狀延伸的螺栓，配置在框體210的Y方向的中央。促動(dòng)器21具有分別固定在框體210的X方向的兩端部的兩個(gè)軸承部件24，旋轉(zhuǎn)軸22的X方向的各端部由軸承部件24支撐為能夠旋轉(zhuǎn)。另外，促動(dòng)器21具有固定在X方向正側(cè)的框體210的端部的馬達(dá)M，X方向正側(cè)的軸承部件24將馬達(dá)M和旋轉(zhuǎn)軸22彼此結(jié)合。因此，通過由馬達(dá)M驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸22，能夠使旋轉(zhuǎn)軸22繞其中心線旋轉(zhuǎn)。
[0120]移動(dòng)體23通過螺母與旋轉(zhuǎn)軸22螺合，伴隨旋轉(zhuǎn)軸22的旋轉(zhuǎn)，沿旋轉(zhuǎn)軸22在X方向上移動(dòng)。該移動(dòng)體23的移動(dòng)由與旋轉(zhuǎn)軸22平行配置的導(dǎo)軌25引導(dǎo)。S卩，在框體210中，在旋轉(zhuǎn)軸22的Y方向的兩側(cè)分別固定有導(dǎo)軌25，移動(dòng)體23在Y方向的兩端部與導(dǎo)軌25卡合，并且沿導(dǎo)軌25在X方向上移動(dòng)。
[0121]另外，促動(dòng)器21具有在與旋轉(zhuǎn)軸22卡合的同時(shí)支撐旋轉(zhuǎn)軸22的支撐件26。具體而言，在框體210內(nèi)，在X方向上在兩端的軸承部件24各自與移動(dòng)體23之間設(shè)置兩個(gè)支撐件26。這樣一來，在移動(dòng)體23的X方向正側(cè)和X方向負(fù)側(cè)的各側(cè)，兩個(gè)支撐件26沿旋轉(zhuǎn)軸22排列。各支撐件26在支撐旋轉(zhuǎn)軸22的同時(shí)能夠沿旋轉(zhuǎn)軸22移動(dòng)，例如如圖14和圖15的移動(dòng)體23的X方向正側(cè)所示以與移動(dòng)體23連接的狀態(tài)隨著移動(dòng)體23移動(dòng)。但是，支撐件26的可動(dòng)范圍對應(yīng)各支撐件26不同。關(guān)于這一點(diǎn)，對設(shè)于移動(dòng)體23的X方向正側(cè)的支撐件26和設(shè)于移動(dòng)體23的X方向負(fù)側(cè)的支撐件26分別進(jìn)行說明。
[0122]首先，對設(shè)于移動(dòng)體23的X方向正側(cè)的兩個(gè)支撐件26進(jìn)行說明。促動(dòng)器21在旋轉(zhuǎn)軸22的Y方向負(fù)側(cè)具有在X方向上排列的兩個(gè)止動(dòng)件27。這些止動(dòng)件27為了使各支撐件26停止在X方向上彼此不同的停止位置Ps (I)、Ps (2)，相對于停止位置Ps (I)、Ps (2)進(jìn)行配置。另外，停止位置Ps (I)位于X方向正側(cè)，停止位置Ps (2)位于X方向負(fù)側(cè)。
[0123]與停止位置Ps(I)對應(yīng)的止動(dòng)件27將兩個(gè)支撐件26中的X方向正側(cè)的支撐件26的可動(dòng)范圍限制在停止位置Ps (I)的X方向正側(cè)。因此，X方向正側(cè)的支撐件26能夠在停止位置Ps(I)的X方向正側(cè)的可動(dòng)范圍(包含停止位置Ps(I))內(nèi)伴隨移動(dòng)體23移動(dòng)，但是當(dāng)移動(dòng)體23從該可動(dòng)范圍向X方向負(fù)側(cè)離開時(shí)，從移動(dòng)體23脫離而停止在停止位置Ps(l)。另外，與停止位置Ps(2)對應(yīng)的止動(dòng)件27將兩個(gè)支撐件26中的X方向負(fù)側(cè)的支撐件26的可動(dòng)范圍限制在停止位置Ps (2)的X方向正側(cè)。因此，X方向負(fù)側(cè)的支撐件26能夠在停止位置Ps (2)的X方向正側(cè)的可動(dòng)范圍(包含停止位置Ps (2))內(nèi)伴隨移動(dòng)體23移動(dòng)，但是當(dāng)移動(dòng)體23從該可動(dòng)范圍向X方向負(fù)側(cè)離開時(shí)，從移動(dòng)體23脫離而停止在停止位置Ps⑵。
[0124]在該結(jié)構(gòu)中，各支撐件26能夠在停止位置Ps(I)、Ps (2)停止而支撐移動(dòng)體23，另一方面能夠在停止位置Ps (I)、Ps (2)的軸承部件24側(cè)的可動(dòng)范圍內(nèi)沿X方向移動(dòng)而不妨礙移動(dòng)體23的移動(dòng)。S卩，在移動(dòng)體23在相對于停止位置Ps(I)、Ps (2)的可動(dòng)范圍的相反側(cè)移動(dòng)的期間，支撐件26停止在停止位置Ps(l)、Ps(2)而支撐旋轉(zhuǎn)軸22。另一方面，在移動(dòng)體23進(jìn)入到可動(dòng)范圍的期間，支撐件26伴隨移動(dòng)體23移動(dòng)，不妨礙可動(dòng)范圍內(nèi)的移動(dòng)體23的移動(dòng)。這樣一來，能夠不妨礙移動(dòng)體23的移動(dòng)而由支撐件26支撐旋轉(zhuǎn)軸22來抑制旋轉(zhuǎn)軸22的振動(dòng)。
[0125]接著，對設(shè)于移動(dòng)體23的X方向負(fù)側(cè)的兩個(gè)支撐件26進(jìn)行說明。促動(dòng)器21在旋轉(zhuǎn)軸22的Y方向正側(cè)具有在X方向上排列的兩個(gè)止動(dòng)件27。這些止動(dòng)件27為了使各支撐件26停止在X方向上彼此不同的停止位置Ps (3)、Ps (4)，相對于停止位置Ps (3)、Ps (4)進(jìn)行配置。另外，停止位置Ps (3)位于X方向負(fù)側(cè)，停止位置Ps (4)位于X方向正側(cè)。
[0126]與停止位置Ps(3)對應(yīng)的止動(dòng)件27將兩個(gè)支撐件26中的X方向負(fù)側(cè)的支撐件26的可動(dòng)范圍限制在停止位置Ps (3)的X方向負(fù)側(cè)。因此，X方向負(fù)側(cè)的支撐件26能夠在停止位置Ps(3)的X方向負(fù)側(cè)的可動(dòng)范圍(包含停止位置Ps(3))內(nèi)伴隨移動(dòng)體23移動(dòng)，但是當(dāng)移動(dòng)體23從該可動(dòng)范圍向X方向正側(cè)離開時(shí)，從移動(dòng)體23脫離而停止在停止位置Ps(3)。另外，與停止位置Ps(4)對應(yīng)的止動(dòng)件27將兩個(gè)支撐件26中的X方向正側(cè)的支撐件26的可動(dòng)范圍限制在停止位置Ps (4)的X方向負(fù)側(cè)。因此，X方向正側(cè)的支撐件26能夠在停止位置Ps (4)的X方向負(fù)側(cè)的可動(dòng)范圍(包含停止位置Ps (4))內(nèi)伴隨移動(dòng)體23移動(dòng)，但是當(dāng)移動(dòng)體23從該可動(dòng)范圍向X方向正側(cè)離開時(shí)，從移動(dòng)體23脫離而停止在停止位置 Ps (4) ο
[0127]在該結(jié)構(gòu)中，各支撐件26能夠在停止位置Ps (3)、Ps (4)停止而支撐移動(dòng)體23，另一方面能夠在停止位置Ps (3)、Ps (4)的軸承部件24側(cè)的可動(dòng)范圍內(nèi)沿X方向移動(dòng)而不妨礙移動(dòng)體23的移動(dòng)。這樣一來，能夠不妨礙移動(dòng)體23的移動(dòng)而由支撐件26支撐旋轉(zhuǎn)軸22來抑制旋轉(zhuǎn)軸22的振動(dòng)。
[0128]如此，移動(dòng)體23在適當(dāng)伴隨支撐件26的同時(shí)能夠沿旋轉(zhuǎn)軸22移動(dòng)。促動(dòng)器21為了限制這樣的移動(dòng)體23的移動(dòng)范圍而具備止動(dòng)件28。該止動(dòng)件28分別設(shè)置在框體210的X方向的兩端部，在軸承部件24的內(nèi)側(cè)固定于框體210。因此，移動(dòng)至X方向的端部的移動(dòng)體23與止動(dòng)件28抵接而停止。
[0129]以上是促動(dòng)器21的概要。接著，對支撐件26的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，四個(gè)支撐件26由于具有大致相同的結(jié)構(gòu)，在此，以設(shè)于移動(dòng)體23的X方向負(fù)側(cè)的兩個(gè)支撐件26中的、設(shè)于X方向負(fù)側(cè)的支撐件26為代表進(jìn)行說明。
[0130]圖16是例示支撐件及其周邊的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖17是例示支撐件及其周邊的結(jié)構(gòu)的俯視圖。另外，在圖17中，隱藏在部件60而看不見的部分64由單點(diǎn)劃線表示。圖18是例示支撐件及其周邊的結(jié)構(gòu)的局部剖視圖，例示通過旋轉(zhuǎn)軸22的中心線的ZX截面。
[0131]支撐件26具有相對于框架260安裝軸接觸部262和引導(dǎo)卡合部264的概略結(jié)構(gòu)?？蚣?60例如由不銹鋼等合金鋼或鋁等金屬(輕金屬)構(gòu)成，具有從Z方向正側(cè)和Y方向的兩側(cè)包圍旋轉(zhuǎn)軸22的軸相向部2601和從Z方向正側(cè)與導(dǎo)軌25相向的引導(dǎo)相向部2602。并且，軸接觸部262固定在框架260的軸相向部2601的Z方向負(fù)側(cè)，引導(dǎo)卡合部264固定在框架260的引導(dǎo)相向部2602的負(fù)側(cè)。
[0132]軸接觸部262由從X方向兩側(cè)與軸相向部2601螺紋緊固的兩個(gè)分割襯套2622構(gòu)成。各分割襯套2622由一對半圓部件2624構(gòu)成，各半圓部件2624由樹脂構(gòu)成，具有切成半圓狀的接觸部分2624a。如此成對的兩個(gè)半圓部件2624在以接觸部分2624a與旋轉(zhuǎn)軸22接觸的同時(shí)從Z方向的兩側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸22卡合。如此，軸接觸部262在以兩個(gè)分割襯套2622各自的接觸部分2624a與旋轉(zhuǎn)軸22接觸的同時(shí)能夠沿旋轉(zhuǎn)軸22在X方向上移動(dòng)。順便提及，在分割襯套2622與旋轉(zhuǎn)軸22之間設(shè)置有若干空隙(游隙)。
[0133]如此構(gòu)成的軸接觸部262沿旋轉(zhuǎn)軸22在X方向上具有長度LI。在此，長度LI能夠作為設(shè)置有軸接觸部262與旋轉(zhuǎn)軸22接觸的接觸部分2624a的范圍內(nèi)的X方向上的兩端間的距離而求得。因此，在此例中，長度LI能夠作為X方向正側(cè)的分割襯套2622與旋轉(zhuǎn)軸22接觸的接觸部分2624a的X方向正側(cè)的端與X方向負(fù)側(cè)的分割襯套2622與旋轉(zhuǎn)軸22接觸的接觸部分2624a的X方向負(fù)側(cè)的端在X方向上的距離而求得。
[0134]引導(dǎo)卡合部264具有切成與X方向平行延伸的槽狀的卡合部分264a，通過卡合部分264a與導(dǎo)軌25卡合。這樣一來，引導(dǎo)卡合部264在通過卡合部分264a與導(dǎo)軌25卡合的同時(shí)能夠沿導(dǎo)軌25在X方向上移動(dòng)。如此構(gòu)成的引導(dǎo)卡合部264沿旋轉(zhuǎn)軸22在X方向上具有比長度LI長的長度L2 (L2 > LI)。在此，長度L2作為設(shè)置有引導(dǎo)卡合部264與導(dǎo)軌25卡合的卡合部分264a的范圍內(nèi)的X方向上的兩端間的距離而求得。因此，在此例中長度L2作為X方向上的卡合部分264a的兩端間的距離而求得。
[0135]即，引導(dǎo)卡合部264在旋轉(zhuǎn)軸22的軸向(X方向)上比軸接觸部262長，具有相對于軸接觸部262向X方向的正側(cè)突出的突出部分264b。與此對應(yīng)地，安裝有引導(dǎo)卡合部264的引導(dǎo)相向部2602在X方向上比安裝有軸接觸部262的軸相向部2601長，具有相對于軸相向部2601向X方向的正側(cè)突出的突出部分2602b。另外，在此例中，引導(dǎo)相向部2602在X方向上比引導(dǎo)卡合部264長一些。
[0136]如此，在支撐件26通過引導(dǎo)卡合部264與導(dǎo)軌25卡合的同時(shí)由軸接觸部262支撐旋轉(zhuǎn)軸22。這時(shí)，引導(dǎo)卡合部264能夠沿導(dǎo)軌25在X方向上移動(dòng)，軸接觸部262能夠沿旋轉(zhuǎn)軸22在X方向上移動(dòng)。因此，支撐件26作為整體能夠在X方向上移動(dòng)。
[0137]另外，支撐件26在軸相向部2601的Z方向正側(cè)的端部具有能夠繞與Y方向平行的旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)的輥266。該輥266由彈簧等彈性部件向Z方向正側(cè)施力，用于將支撐件26與移動(dòng)體23卡合。另外，支撐件26具有相對于軸相向部2601向Z方向負(fù)側(cè)突出的抵接部2603。該抵接部2603與止動(dòng)件27抵接，從而用于將支撐件26從移動(dòng)體23分離。
[0138]接著，與移動(dòng)體23的詳細(xì)結(jié)構(gòu)一起來說明支撐件26。圖19是例示移動(dòng)體及其周邊的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖20是例示移動(dòng)體及其周邊的結(jié)構(gòu)的局部剖視圖，例示通過旋轉(zhuǎn)軸22的中心線的ZX截面。在圖19和圖20中，例示移動(dòng)體23與X方向正側(cè)的兩個(gè)支撐件26卡合的狀態(tài)。
[0139]移動(dòng)體23具有:具有與X方向和Y方向平行的平面的矩形形狀的工作臺230 ;及固定在工作臺230的Z方向下側(cè)而與旋轉(zhuǎn)軸22螺合的螺母231。順便提及，由旋轉(zhuǎn)軸22和螺母231構(gòu)成滾珠絲桿。另外，移動(dòng)體23具有裝卸自如地與支撐件26的輥266卡合的鉤件232。鉤件232相對于工作臺