空吸盤固定工件。
[0057]除振裝置的浮起或者落座的控制與圖2A、圖2B的說明相同，分開考慮測定中和工件更換中，在測定中除振裝置:浮起，機(jī)器人:停止或者低速動作；在工件更換中除振裝置:落座，機(jī)器人:高速動作。
[0058]圖3表示定位裝置是精密三維測定裝置2的例子。圖3是使用了接觸式探測器(探測器25)的精密三維測定裝置的實施方式，但也能夠應(yīng)用于CCD照相機(jī)、靜電電容位移儀、激光測量器、白色干涉測定器之類的非接觸的測定裝置等各種精密測定裝置。并且，機(jī)器人21不僅能夠進(jìn)行工件更換，還能夠應(yīng)用于探測器更換、送氣等可在測定裝置機(jī)上進(jìn)行的各種自動化用途。根據(jù)本實施方式的結(jié)構(gòu)，在使用了機(jī)器人21的精密測定裝置的自動化中，能夠?qū)C(jī)器人21所導(dǎo)致的設(shè)置面積增加抑制為最小，機(jī)器人21的尺寸也能夠小型，除此之外，能夠?qū)崿F(xiàn)除振裝置10所進(jìn)行的高精度的測量和機(jī)器人21所進(jìn)行的高速的處理的兼得。
[0059]圖4A、圖4B是表示通過外部信號而能夠進(jìn)行浮起和落座的控制的空氣減振器的構(gòu)造的圖。圖4A、圖4B中，作為方案2所包括的實施方式，表示了通過外部信號而能夠控制浮起/落座的空氣減振器的構(gòu)造(剖視圖)。
[0060]圖4A表示浮起狀態(tài)，從壓縮機(jī)等高壓空氣源50供給的高壓空氣經(jīng)由通過外部信號而能夠開閉的電磁閥49 (打開狀態(tài))、等級調(diào)整裝置52，而被導(dǎo)入空氣減振器主體42內(nèi)的第一室45。第一室45的高壓空氣通過節(jié)流孔(細(xì)管)44而進(jìn)入第二室43。由于第二室43由活塞40和波紋管41密閉，所以活塞40因空氣壓力而被抬起，從而浮起。此時，活塞40與地板30成為非接觸的狀態(tài)，從而能夠消除地板振動。節(jié)流孔44具有對相對于第二室43出入的空氣的流量進(jìn)行限制的作用，由于限制活塞40升降的速度，所以活塞40不會由簡單的空氣彈貪抬起，從而節(jié)流孔44實現(xiàn)作為空氣減振器的;S減機(jī)構(gòu)的功能。
[0061]活塞40的上下方向的位置經(jīng)由基準(zhǔn)板53而向等級調(diào)整裝置52傳遞，若活塞位置比基準(zhǔn)低，則等級調(diào)整裝置52增加朝第一室45進(jìn)行的空氣供氣量，若活塞位置比基準(zhǔn)高，則減少空氣流入量，而增加來自等級調(diào)整排氣配管51的排氣量，從而以使活塞位置成為基準(zhǔn)位置的方式進(jìn)行自動調(diào)整。
[0062]但是，若以使活塞位置嚴(yán)格地維持基準(zhǔn)位置的方式利用等級調(diào)整裝置52進(jìn)行控制，則朝第一室進(jìn)行的空氣的供氣或者排氣量頻繁地變動，而活塞40小幅度地上下移動，從而其本身振動。
[0063]因此，一般而言，相對于從活塞40的基準(zhǔn)位置開始的錯位，設(shè)置某程度的靜區(qū)，而等級調(diào)整裝置52進(jìn)行動作。這樣，在不存在向朝活塞40的較大的負(fù)荷變動的狀態(tài)下，以等級調(diào)整裝置52供給了與從第一室45經(jīng)由節(jié)流閥47排出的流量相互平衡的流量的狀態(tài)穩(wěn)定地浮起。等級調(diào)整裝置52的作用即使在基座11 (參照圖1)上的搭載重量變化時也維持相同的浮起量，四個除振裝置10分別獨立地調(diào)節(jié)浮起量，從而相對于基座11上的偏負(fù)載也維持某程度的水平等級。
[0064]上述的等級調(diào)整裝置52的靜區(qū)成為圖1中說明了的浮起的除振裝置沒有位置再現(xiàn)性的原因。并且，等級調(diào)整裝置52僅與搭載重量的變動對應(yīng)，沒有控制住機(jī)器人21的高速動作的反作用(使之減振)那樣的高速的響應(yīng)性。圖4A、圖4B中，由于不積極地控制活塞40的位置，所以被分類為被動式減振器，但也存在另外搭載促動器而積極地控制活塞40的位置的類型的除振裝置10。但是，由于促動器的響應(yīng)性、產(chǎn)生力存在極限，所以不能控制住機(jī)器人21的反作用。
[0065]由于在一般的空氣減振器的用途中不切換浮起和落座來使用，所以不需要通過電信號來切換浮起和落座的裝置，但在本實施方式的用途中，通過安裝電磁閥49，來進(jìn)行基于外部信號的浮起或者落座的控制。
[0066]圖4B表示關(guān)閉電磁閥49而空氣減振器落座后的狀態(tài)。若關(guān)閉電磁閥49，則與等級調(diào)整裝置52的動作無關(guān)，朝第一室45進(jìn)行的空氣的流入停止，空氣經(jīng)由節(jié)流閥47而從排氣配管46流出，從而經(jīng)由節(jié)流孔44而連接的第二室43的空氣壓力也下降，進(jìn)而活塞40落座。在該狀態(tài)下，由于活塞40因基座11上的搭載物的重量而被按壓于第二室43的底面，所以活塞40不容易移動。尤其是，在本實施方式的結(jié)構(gòu)中，如圖1的說明那樣能夠搭載小型的機(jī)器人21，從而具有幾百kg的重量的基座11不會因小型的機(jī)器人21的反作用而移動。
[0067]圖5A、圖5B中，作為方案2所包括的實施方式，表示了通過外部信號而能夠控制浮起或者落座的磁鐵減振器的構(gòu)造(剖視圖)。磁鐵減振器利用當(dāng)向線圈63流動電流時產(chǎn)生的磁力與永久磁鐵62之間的排斥力來使活塞60浮起。圖5A中，在產(chǎn)生N極彼此的排斥力的朝向上流動電流。由于若距離分開則磁力急劇地減少，所以活塞60的上下位置被確定在活塞60的負(fù)載和排斥力變得相同的位置，如空氣減振器那樣即使沒有等級傳感器也保持位置。但是，與空氣減振器相同，并不是嚴(yán)格地控制活塞60的位置，從而浮起時的位置沒有再現(xiàn)性，例如因基座11上的積載物的重量、重心的變化而容易地變化。
[0068]磁鐵減振器原理上利用永久磁鐵彼此的排斥力也能夠進(jìn)行，但在本實施方式的任意地接通/斷開磁力目的中，利用圖5A、圖5B的線圈(電磁鐵)63的話比較容易。若通過外部信號而向線圈63流動需要的電流則如圖5A所示地活塞60浮起，若切斷電流則如圖5B所示地活塞60落座。
[0069]圖6中，作為方案3所包括的實施方式，在圖1的結(jié)構(gòu)中，以流程圖表示了機(jī)器人21、定位裝置(精密車床加工機(jī))、除振裝置(空氣減振器)10的動作。選擇機(jī)器人21的動作程序，在執(zhí)行該動作程序前的時機(jī)，將選擇的程序內(nèi)的最大速度與預(yù)先設(shè)定的速度的閾值進(jìn)行比較，若超過閾值則使空氣減振器落座，若為閾值以下則在使空氣減振器浮起后的狀態(tài)下執(zhí)行機(jī)器人21的動作程序。
[0070]由于機(jī)器人21的動作中的速度不恒定，所以若僅判斷機(jī)器人21的速度的大小，而實時地切換空氣減振器的浮起/落座，則變得頻繁地切換浮起/落座。如圖4的說明那樣，由于空氣減振器的活塞40的動作速度有限制，所以不能瞬間地進(jìn)行浮起/落座的切換。因此，在這期間若使機(jī)器人21待機(jī)則帶來周期時間的降低。
[0071]因此，著眼于一個程序中的指令速度的最大值，而在執(zhí)行程序前比較指令速度的最大值和閾值。這樣，在執(zhí)行程序前自動地決定使除振裝置浮起/落座，并在程序的執(zhí)行中維持該狀態(tài)，從而不會引起頻繁的浮起/落座的切換。
[0072]嚴(yán)格而言，當(dāng)機(jī)器人21的指令速度變得最大時，施加于基座11的反作用并不變得最大，也與機(jī)器人21的姿勢、加減速的設(shè)定有關(guān)。但是，機(jī)器人21的程序上，相對于各動作指定速度的情況較多，從而從程序中自動檢測最大速度是容易的。此外，機(jī)器人的速度指定也會按照每個軸而指定，但優(yōu)選為手部22的位置(工具坐標(biāo)系)的速度指定。
[0073]以下，根據(jù)各步驟對圖6的流程圖進(jìn)行說明。
[0074][步驟saOl]選擇機(jī)器人將工件安裝于真空吸盤的程序A。
[0075][步驟sa02]判斷程序A的最大速度是否超過閾值，在超過的情況(是)下移至步驟sa03，在未超過的情況(否)下移至步驟sa04。
[0076][步驟sa03]輸出空氣減振器落座的控制信號。
[0077][步驟sa04]輸出空氣減振器浮起的控制信號。
[0078][步驟sa05]執(zhí)行程序A。
[0079][步驟sa06]判斷程序A的執(zhí)行是否已完成，在已完成的情況(是)下移至步驟sa07，在未完成的情況(否)下等待完成。
[0080][步驟sa07]輸出空氣減振器浮起的控制信號。
[0081][步驟sa08]執(zhí)行精密車床加工機(jī)的加工程序a。
[0082][步驟sa09]判斷程序a的執(zhí)行是否已完成，在已完成的情況(是)下移至步驟salO，在未完成的情況(否)下等待完成。
[0083][步驟salO]選擇機(jī)器人從真空吸盤拆下工件的程序B。
[0084][步驟sa