一種電子級溶液的充裝系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及溶液充裝技術，特別涉及一種電子級溶液的充裝系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]電子級溶液的充裝系統(tǒng)對潔凈程度和防污染的要求較高，例如電子級氫氟酸。電子級氫氟酸主要用于電子、光伏行業(yè)中生產集成電路，要求金屬含量一般低于lOppb，非金屬含量如 Cl ^ 5000ppb、N03 ^ 3000ppb、P0 43 ^ 100ppb^ SO 42 ^ 5000ppb。這不僅對于生產工藝，也是對充裝工作提出了更高的要求和精細掌控。目前對于電子級的氫氟酸生產主要是將工業(yè)氫氟酸進一步氧化和精餾除雜，然后進行充裝。為了提高生產效率，大多采用連續(xù)性充裝，而輸送管道、充裝環(huán)境又大多是半露天設置。為保證產品質量，充裝必需快捷、無風，避免空氣中的雜質對氫氟酸的影響。此外，根據(jù)不同的需求、充裝桶的規(guī)格不一、高度不同、甚至外表與內部潔凈程度以及內部壓力等的不同，上述情況都對充裝工作提出了更高要求和更嚴格把控。
[0003]專利號為200720187316.1的中國專利申請公開了一種充裝濃硫酸的裝置，該裝置的由下列結構組成:注酸管頭一該注酸管頭包括由注酸管、套裝在注酸管端頭外的套管、套管上端與注酸管外壁間固定聯(lián)接的一水平環(huán)形板形成的一下端開口的環(huán)形腔；受酸管頭一該受酸管頭包括一由受酸管擴口后的上端開口的直筒圓管、同軸內置于直筒圓管內的內置短管、內置短管下端與受酸管直筒圓管內壁間固定聯(lián)接的一水平環(huán)形板的形成的一上端開口的環(huán)形腔；受酸管頭排酸孔一該排酸孔開孔于受酸管頭的內置短管下端與受酸管直筒圓管內壁間固定聯(lián)接的平環(huán)形板上；注酸管頭和受酸管頭同軸扣合聯(lián)接。采用上述充裝濃硫酸的裝置進行硫酸充裝操作時，既能保證裝酸的順暢，同時可有效地將濺起的酸進行阻擋，并回流到裝酸裝置中，有效的防止酸濺出，操作簡單、安全可靠。
[0004]但是上述專利提供的充裝濃硫酸的裝置并不能滿足內外潔凈度的要求，同時其充裝過程中仍存在外界環(huán)境對溶液發(fā)生污染的問題。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型所要解決的技術問題是:提供一種內外潔凈程度高且能有效避免溶液污染的電子級溶液的充裝系統(tǒng)。
[0006]為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為:
[0007]一種電子級溶液的充裝系統(tǒng)，包括預處理機構、風淋機構和充裝機構，所述預處理機構包括預處理室和吹掃裝置，所述吹掃裝置設置于預處理室內，所述風淋機構包括風淋室、干燥空氣加熱裝置和第一風機，所述第一風機的入口朝向風淋室外設置，所述第一風機的出口與干燥空氣加熱裝置的入口連接，所述風淋室的頂部和側面分別設有風淋口，所述干燥空氣加熱裝置的出口與所述風淋口連通，所述風淋室的底部設有排風口，所述充裝機構包括充裝室、進風裝置、進液裝置和充裝裝置，所述充裝室的頂部設有進風管道和充裝管道，所述進風裝置包括第二風機、初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器，所述初效過濾器、第二風機、中效過濾器和高效過濾器依次連接，所述高效過濾器的出口與進風管道連通，所述充裝室的底部設有出風口，所述進液裝置包括充裝管路、高純水管路、導氣管路和廢液抽排管路，所述充裝裝置包括機械夾具和充裝接頭，所述機械夾具可旋轉地設置于充裝室頂部且沿充裝室頂部方向可升降設置，所述充裝接頭上設有導氣口和充裝口，充裝接頭的一端與機械夾具連接，充裝接頭的另一端分別與導氣口和充裝口連通，所述導氣管路通過充裝管道與導氣口連接，所述充裝管路、高純水管路和廢液抽排管路分別通過充裝管道與充裝口連接，所述預處理室、風淋室和充裝室依次連通設置。
[0008]進一步的，還包括傳送機構，所述傳送機構設置于預處理室的出口處并依次通過風淋室和充裝室。
[0009]進一步的，所述吹掃裝置為高壓氣槍，所述干燥空氣加熱裝置為空氣加熱器。
[0010]進一步的，所述預處理機構還包括粘塵裝置，所述粘塵裝置靠近預處理機構的出口設置。
[0011 ] 進一步的，所述粘塵裝置為粘塵紙或粘塵布。
[0012]進一步的，所述風淋機構還包括空氣過濾裝置，所述空氣過濾裝置的一端與第一風機的入口連接，所述空氣過濾裝置的另一端設置于風淋室外。
[0013]進一步的，所述風淋室和充裝室的入口和出口處分別設置有防塵裝置，所述防塵裝置為防塵簾。
[0014]進一步的，所述充裝機構還包括計量裝置，所述計量裝置包括容液槽、液位計量件和稱重件，所述容液槽與充裝管路連通，所述液位計量件設置于容液槽內，所述稱重件設置于容液槽底部。
[0015]進一步的，所述充裝室的側面設置有透明板，所述透明板上設有防酸手套，所述防酸手套穿過透明板并伸入充裝室內。
[0016]進一步的，所述機械夾具和充裝接頭分別為兩個或兩個以上。
[0017]本實用新型的有益效果在于:
[0018](I)本實用新型的電子級溶液的充裝系統(tǒng)，尤其適用于電子級氫氟酸的充裝；通過預處理機構、風淋機構和充裝機構的設置，整體結構更合理有效；
[0019](2)通過預處理機構和風淋機構中的吹掃裝置、干燥空氣加熱裝置和第一風機的結構設計，對待充裝的空桶的外部進行清潔，同時結合頂部和側面的風淋口，可加強風力作用，從而有效提高待充裝的空桶的外部潔凈程度；
[0020](3)通過充裝機構中的進風裝置、進液裝置和充裝裝置的設計，一方面，初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器可以保證第二風機引進的空氣可以有效過濾掉空氣中粉塵、微小顆粒等，達到充裝室無塵的要求；一方面，充裝管路、高純水管路、導氣管路和廢液抽排管路使得溶液、高純水、氣體和廢液可以由充裝室進入或排出，可通過對進液裝置的操作實現(xiàn)對待充裝的空桶的內部進行清潔，同時根據(jù)排出的液體測量其潔凈度，使得待充裝的空桶的內部達到高潔凈的要求，當待充裝的空桶的內部完成潔凈操作，可通過充裝管路將待充裝的溶液(例如氫氟酸)充裝進空桶內，具有待充裝的空桶的內部潔凈度高且充裝方便的優(yōu)點；另一方面，機械夾具和充裝接頭使得充裝操作可以根據(jù)空桶的具體位置進行旋轉或升降，從而方便溶液、高純水、氣體和廢液的進入或排出操作；
[0021](4)充裝機構的具體設置可保證充裝室為無塵，且進液裝置和進風裝置不會在充裝過程中引入任何空氣雜質，使其避免空氣雜質對于溶液(氫氟酸)的污染，同時可保護充裝人員免于氫氟酸以及有毒氣體的傷害；充裝裝置可適應充裝桶的不同規(guī)格，不同高度的要求，可清除充裝過程中的污染源以及人員流動影響的不確定性，具有有效避免溶液污染的有益效果。
【附圖說明】
[0022]圖1為本實用新型實施例的電子級溶液的充裝系統(tǒng)的整體結構示意圖；
[0023]圖2為本實用新型實施例的電子級溶液的充裝系統(tǒng)的預處理機構的結構圖；
[0024]圖3為本實用新型實施例的電子級溶液的充裝系統(tǒng)的風淋機構的結構圖；
[0025]圖4為本實用新型實施例的電子級溶液的充裝系統(tǒng)的風淋機構內的風淋口與排風口的結構圖；
[0026]圖5為本實用新型實施例的電子級溶液的充裝機構的結構圖。
[0027]標號說明:
[0028]1、預處理機構；11、預處理室；12、吹掃裝置；13、粘塵裝置；2、風淋機構；21、風淋室；22、干燥空氣加熱裝置；23、第一風機；24、空氣過濾裝置；25、風淋口 ；26、排風口 ；3、充裝機構；31、充裝室；311、進風管道；312、充裝管道；313、出風口 ；32、進風裝置；321、第二風機；322、初效過濾器；323、中效過濾器；324、高效過濾器；33、進液裝置；331、充裝管路；332、高純水管路；333、導氣管路；334、廢液抽排管路；335、循環(huán)管路；34、充裝裝置；341、機械夾具；342、充裝接頭；3421、導氣口 ；3422、充裝口 ；343、透明板；344、防酸手套；35、計量裝置；351、容液槽；352、液位計量件；353、稱重件；4、傳送機構；5、防塵裝置。
【具體實施方式】
[0029]為詳細說明本實用新型的技術內容、所實現(xiàn)目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖予以說明。
[0030]本實用新型最關鍵的構思在于:通過預處理機構、風淋機構和充裝機構的設置，從而保證待充裝的空桶的內外潔凈程度，且能有效避免溶液污染。
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