031]請(qǐng)參照?qǐng)D1至圖5，本實(shí)用新型的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)，包括預(yù)處理機(jī)構(gòu)1、風(fēng)淋機(jī)構(gòu)2和充裝機(jī)構(gòu)3，所述預(yù)處理機(jī)構(gòu)I包括預(yù)處理室11和吹掃裝置12，所述吹掃裝置12設(shè)置于預(yù)處理室11內(nèi)，所述風(fēng)淋機(jī)構(gòu)2包括風(fēng)淋室21、干燥空氣加熱裝置22和第一風(fēng)機(jī)23，所述第一風(fēng)機(jī)23的入口朝向風(fēng)淋室21外設(shè)置，所述第一風(fēng)機(jī)23的出口與干燥空氣加熱裝置22的入口連接，所述風(fēng)淋室21的頂部和側(cè)面分別設(shè)有風(fēng)淋口 25，所述干燥空氣加熱裝置22的出口與所述風(fēng)淋口 25連通，所述風(fēng)淋室的底部設(shè)有排風(fēng)口 26，所述充裝機(jī)構(gòu)3包括充裝室31、進(jìn)風(fēng)裝置32、進(jìn)液裝置33和充裝裝置34，所述充裝室31的頂部設(shè)有進(jìn)風(fēng)管道311和充裝管道312，所述進(jìn)風(fēng)裝置32包括第二風(fēng)機(jī)321、初效過(guò)濾器322、中效過(guò)濾器323和高效過(guò)濾器324，所述初效過(guò)濾器322、第二風(fēng)機(jī)321、中效過(guò)濾器323和高效過(guò)濾器324依次連接，所述高效過(guò)濾器324的出口與進(jìn)風(fēng)管道311連通，所述充裝室31的底部設(shè)有出風(fēng)口 313，所述進(jìn)液裝置33包括充裝管路331、高純水管路332、導(dǎo)氣管路333和廢液抽排管路334，所述充裝裝置34包括機(jī)械夾具341和充裝接頭342，所述機(jī)械夾具341可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于充裝室31頂部且沿充裝室31頂部方向可升降設(shè)置，所述充裝接頭342上設(shè)有導(dǎo)氣口3421和充裝口 3422，充裝接頭342的一端與機(jī)械夾具341連接，充裝接頭342的另一端分別與導(dǎo)氣口 3421和充裝口 3422連通，所述導(dǎo)氣管路333通過(guò)充裝管道312與導(dǎo)氣口 3421連接，所述充裝管路331、高純水管路332和廢液抽排管路334分別通過(guò)充裝管道312與充裝口 3422連接，所述預(yù)處理室11、風(fēng)淋室21和充裝室31依次連通設(shè)置。
[0032]從上述描述可知，本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0033](I)本實(shí)用新型的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)，尤其適用于電子級(jí)氫氟酸的充裝；通過(guò)預(yù)處理機(jī)構(gòu)、風(fēng)淋機(jī)構(gòu)和充裝機(jī)構(gòu)的設(shè)置，整體結(jié)構(gòu)更合理有效；
[0034](2)通過(guò)預(yù)處理機(jī)構(gòu)和風(fēng)淋機(jī)構(gòu)中的吹掃裝置、干燥空氣加熱裝置和第一風(fēng)機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，對(duì)待充裝的空桶的外部進(jìn)行清潔，同時(shí)結(jié)合頂部和側(cè)面的風(fēng)淋口，可加強(qiáng)風(fēng)力作用，從而有效提高待充裝的空桶的外部潔凈程度；
[0035](3)通過(guò)充裝機(jī)構(gòu)中的進(jìn)風(fēng)裝置、進(jìn)液裝置和充裝裝置的設(shè)計(jì)，一方面，初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器和高效過(guò)濾器可以保證第二風(fēng)機(jī)引進(jìn)的空氣可以有效過(guò)濾掉空氣中粉塵、微小顆粒等，達(dá)到充裝室無(wú)塵的要求；一方面，充裝管路、高純水管路、導(dǎo)氣管路和廢液抽排管路使得溶液、高純水、氣體和廢液可以由充裝室進(jìn)入或排出，可通過(guò)對(duì)進(jìn)液裝置的操作實(shí)現(xiàn)對(duì)待充裝的空桶的內(nèi)部進(jìn)行清潔，同時(shí)根據(jù)排出的液體測(cè)量其潔凈度，使得待充裝的空桶的內(nèi)部達(dá)到高潔凈的要求，當(dāng)待充裝的空桶的內(nèi)部完成潔凈操作，可通過(guò)充裝管路將待充裝的溶液(例如氫氟酸)充裝進(jìn)空桶內(nèi)，具有待充裝的空桶的內(nèi)部潔凈度高且充裝方便的優(yōu)點(diǎn)；另一方面，機(jī)械夾具和充裝接頭使得充裝操作可以根據(jù)空桶的具體位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或升降，從而方便溶液、高純水、氣體和廢液的進(jìn)入或排出操作；
[0036](4)充裝機(jī)構(gòu)的具體設(shè)置可保證充裝室為無(wú)塵，且進(jìn)液裝置和進(jìn)風(fēng)裝置不會(huì)在充裝過(guò)程中引入任何空氣雜質(zhì)，使其避免空氣雜質(zhì)對(duì)于溶液(氫氟酸)的污染，同時(shí)可保護(hù)充裝人員免于氫氟酸以及有毒氣體的傷害；充裝裝置可適應(yīng)充裝桶的不同規(guī)格，不同高度的要求，可清除充裝過(guò)程中的污染源以及人員流動(dòng)影響的不確定性，具有有效避免溶液污染的有益效果。
[0037]進(jìn)一步的，還包括傳送機(jī)構(gòu)4，所述傳送機(jī)構(gòu)4設(shè)置于預(yù)處理室11的出口處并依次通過(guò)風(fēng)淋室21和充裝室31。
[0038]由上述描述可知，傳送機(jī)構(gòu)的設(shè)置可以將待充裝的空桶由預(yù)處理室可控制的運(yùn)輸至風(fēng)淋室和充裝室，具有操作方便的優(yōu)點(diǎn)，所述傳送機(jī)構(gòu)可以選擇簡(jiǎn)單的機(jī)械傳送裝置，如傳送帶等等。
[0039]進(jìn)一步的，所述吹掃裝置12為高壓氣槍，所述干燥空氣加熱裝置22為空氣加熱器。
[0040]由上述描述可知，吹掃裝置優(yōu)選為高壓氣槍，高壓氣槍的具體壓力參數(shù)可根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整，亦可根據(jù)空桶表面污染情況，選擇開(kāi)啟高壓氣槍對(duì)空桶進(jìn)行360°全方位吹掃；干燥空氣加熱裝置優(yōu)選為空氣加熱器，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
[0041]進(jìn)一步的，所述預(yù)處理機(jī)構(gòu)I還包括粘塵裝置13，所述粘塵裝置13靠近預(yù)處理機(jī)構(gòu)的出口設(shè)置；所述粘塵裝置13為粘塵紙或粘塵布。
[0042]由上述描述可知，粘塵裝置可以對(duì)待充裝的空桶的外表面進(jìn)行再次清潔，進(jìn)一步提高待充裝的空桶的外表面的潔凈度。
[0043]進(jìn)一步的，所述風(fēng)淋機(jī)構(gòu)2還包括空氣過(guò)濾裝置24，所述空氣過(guò)濾裝置24的一端與第一風(fēng)機(jī)23的入口連接，所述空氣過(guò)濾裝置24的另一端設(shè)置于風(fēng)淋室21夕卜。
[0044]由上述描述可知，空氣過(guò)濾裝置可以達(dá)到除去空氣粉塵顆粒等目的，除塵后，空氣經(jīng)過(guò)第一風(fēng)機(jī)抵達(dá)干燥空氣加熱裝置，使得空氣除濕干燥?？杀ＷC空氣達(dá)到無(wú)塵狀態(tài)。
[0045]進(jìn)一步的，所述風(fēng)淋室21和充裝室31的入口和出口處分別設(shè)置有防塵裝置5，所述防塵裝置5為防塵簾。
[0046]由上述描述可知，防塵裝置的設(shè)置可以阻隔風(fēng)淋室和充裝室的空氣串通帶來(lái)的影響。
[0047]進(jìn)一步的，所述充裝機(jī)構(gòu)3還包括計(jì)量裝置35，所述計(jì)量裝置35包括容液槽351、液位計(jì)量件352和稱重件353，所述容液槽351與充裝管路331連通，所述液位計(jì)量件352設(shè)置于容液槽351內(nèi)，所述稱重件353設(shè)置于容液槽351底部。
[0048]由上述描述可知，液位計(jì)量件可以對(duì)容液槽中液體的液位進(jìn)行測(cè)定，稱重件可以對(duì)容液槽中液體的重量進(jìn)行稱量，可通過(guò)液位計(jì)量件和稱重件單獨(dú)或者一起對(duì)容液槽中液體的含量進(jìn)行測(cè)量，從而控制進(jìn)液量。
[0049]進(jìn)一步的，所述充裝室31的側(cè)面設(shè)置有透明板343，所述透明板343上設(shè)有防酸手套344，所述防酸手套344穿過(guò)透明板343并伸入充裝室31內(nèi)。
[0050]由上述描述可知，透明板的設(shè)置使得充裝室內(nèi)的充裝操作的進(jìn)行實(shí)現(xiàn)可視化，便于觀察；防酸手套的設(shè)置使得操作人員的手可以由此伸入充裝室內(nèi)，便于操作的進(jìn)行，優(yōu)選的，防酸手套可為長(zhǎng)條狀，防酸手套亦可以是卡槽式的防酸手套。
[0051]進(jìn)一步的，所述機(jī)械夾具341和充裝接頭342分別為兩個(gè)或兩個(gè)以上。
[0052]由上述描述可知，機(jī)械夾具和充裝接頭分別為兩個(gè)或兩個(gè)以上，從而可以同時(shí)對(duì)兩個(gè)以上的待充裝空桶進(jìn)行充裝，可以有效提高充裝效率。
[0053]請(qǐng)參照?qǐng)D1至圖5，本實(shí)用新型的實(shí)施例一為:
[0054]本實(shí)施例的電子級(jí)溶液的充裝系統(tǒng)，包括預(yù)處理機(jī)構(gòu)1、風(fēng)淋機(jī)構(gòu)2和充裝機(jī)構(gòu)3，所述預(yù)處理機(jī)構(gòu)I包括預(yù)處理室11和吹掃裝置12，所述吹掃裝置12設(shè)置于預(yù)處理室11內(nèi)，所述風(fēng)淋機(jī)構(gòu)2包括風(fēng)淋室21、干燥空氣加熱裝置22和第一風(fēng)機(jī)23，所述第一風(fēng)機(jī)23的入口朝向風(fēng)淋室21外設(shè)置，所述第一風(fēng)機(jī)23的出口與干燥空氣加熱裝置22的入口連接，所述風(fēng)淋室21的頂部和側(cè)面分別設(shè)有風(fēng)淋口 25，所述干燥空氣加熱裝置22的出口與所述風(fēng)淋口 25連通，所述風(fēng)淋室的底部設(shè)有排風(fēng)口 26，所述充裝機(jī)構(gòu)3包括充裝室31、進(jìn)風(fēng)裝置32、進(jìn)液裝置33和充裝裝置34，所述充裝室31的頂部設(shè)有進(jìn)風(fēng)管道311和充裝管道312，所述進(jìn)風(fēng)裝置32包括第二風(fēng)機(jī)321、初效過(guò)濾器322、中效過(guò)濾器323和高效過(guò)濾器324，所述初效過(guò)濾器322、第二風(fēng)機(jī)321、中效過(guò)濾器323和高效過(guò)濾器324依次連接，所述高效過(guò)濾器324的出口與進(jìn)風(fēng)管道311連通，所述充裝室31的底部設(shè)有出風(fēng)口 313，所述進(jìn)液裝置33包括充裝管路331、高純水管路332、導(dǎo)氣管路333和廢液抽排管路334，所述充裝裝置34包括機(jī)械夾具341和充裝接頭342，所述機(jī)械夾具341可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于充裝室31頂部且沿充裝室31頂部方向可升降設(shè)置，所述充裝接頭342上設(shè)有導(dǎo)氣口 3421和充裝口 3422，充裝接頭342的一端與機(jī)械夾具341連接，充裝接頭342的另一端分別與導(dǎo)氣口 3421和充裝口3422連通，所述導(dǎo)氣管路333通過(guò)充裝管道312與導(dǎo)氣口 3421連接，所述充裝管路331、高純水管路332和廢液抽排管路334分別通過(guò)充裝管道312與充裝口 3422連接，所述預(yù)處理室11、風(fēng)淋室21和充裝室31依次連通設(shè)置。還包括傳送機(jī)