用于檢查石墨烯板的設(shè)備和方法相關(guān)專利申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求于2012年4月9日提交到韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局的第10-2012-0036800號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)和于2012年8月8日提交到韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局的第10-2012-0086942號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，其全部公開(kāi)通過(guò)引用包含于此。技術(shù)領(lǐng)域與示例性實(shí)施例一致的設(shè)備和方法涉及儀器的測(cè)量，更具體地講，涉及檢查形成有石墨烯的石墨烯板。

背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，正在積極執(zhí)行關(guān)于新材料的開(kāi)發(fā)。具體地講，正在進(jìn)行對(duì)于包括碳的材料(例如，碳納米管、金剛石、石墨、石墨烯等)的研究。具體地講，作為包括碳的納米材料的石墨烯的導(dǎo)電率是銅的100倍或更高，并且可以以硅的100倍或者更高倍數(shù)的速度迅速轉(zhuǎn)移電子。因此，石墨烯已逐漸取代電子設(shè)備的導(dǎo)電材料，并且石墨烯板可以是一種導(dǎo)電材料。石墨烯板具有這樣的狀態(tài)：對(duì)由絕緣材料形成的基底上形成的石墨烯層進(jìn)行圖案化。在第2010-175433號(hào)日本開(kāi)放專利公布(laid-openPatentPublication)中公開(kāi)了一種檢查石墨烯板的方法。詳細(xì)地講，該日本開(kāi)放專利公布公開(kāi)了一種通過(guò)在透明導(dǎo)電膜上照射紫外(UV)線來(lái)確定是否存在透明導(dǎo)電膜的方法。然而，需要更具體的方法來(lái)檢查石墨烯板。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
一個(gè)或多個(gè)示例性實(shí)施例提供一種用于檢查石墨烯板的狀態(tài)的設(shè)備和方法。根據(jù)示例性實(shí)施例的一方面，提供一種用于檢查形成有至少一個(gè)石墨烯層的石墨烯板的石墨烯板檢查設(shè)備，所述石墨烯板檢查設(shè)備包括：光處理單元，將至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并將所接收的至少一束光轉(zhuǎn)換成輸出信號(hào)；透射率檢測(cè)單元，接收來(lái)自光處理單元的輸出信號(hào)以檢查穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；和確定單元，連接到透射率檢測(cè)單元，并接收檢測(cè)的透射率以通過(guò)分析檢測(cè)的透射率來(lái)確定石墨烯板的狀態(tài)。所述至少一束光中的每束光可具有380nm到780nm的波長(zhǎng)。可在外部光被阻擋的地方檢查石墨烯板。光處理單元可包括：室，具有密封的內(nèi)部空間以阻擋外部光；基底支撐構(gòu)件，布置在室中并具有安裝在它上面的石墨烯板；發(fā)光裝置，布置在基底支撐構(gòu)件的上方，并將所述至少一束光照射到石墨烯板上；和光接收裝置，布置在基底支撐構(gòu)件的下方，并接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。發(fā)光裝置可布置在室的頂部。光接收裝置可布置在室的底部。從發(fā)光裝置發(fā)射的所述至少一束光可沿垂直方向穿透石墨烯板?；字螛?gòu)件可沿水平方向移動(dòng)石墨烯板。確定單元可包括：數(shù)據(jù)計(jì)算單元，通過(guò)分析檢測(cè)的透射率來(lái)計(jì)算所述至少一個(gè)石墨烯層的寬度和所述至少一個(gè)石墨烯層之間的間距；分類單元，通過(guò)分析檢測(cè)的透射率來(lái)將石墨烯板分類為好的石墨烯板和有缺陷的石墨烯板。用于對(duì)形成在石墨烯板中的所述至少一個(gè)石墨烯層進(jìn)行圖案化的圖案化單元可布置在石墨烯板檢查設(shè)備的前端。石墨烯板可包括透明材料，從光處理單元發(fā)射的所述至少一束光穿透該透明材料。光處理單元可包括：發(fā)光裝置，發(fā)射光；光分割單元，將從發(fā)光裝置發(fā)射的光分割成包括多束光的所述至少一束光，并將分割的所述至少一束光照射到石墨烯板；和光接收裝置，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。根據(jù)另一示例性實(shí)施例的一方面，提供一種檢查石墨烯板的方法，所述方法包括：制備在基底上形成有至少一個(gè)石墨烯層的石墨烯板；將至少一束光照射到石墨烯板；檢測(cè)穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；以及通過(guò)分析檢測(cè)的透射率來(lái)確定石墨烯板的狀態(tài)。所述至少一束光可具有380nm到780nm的波長(zhǎng)。所述方法可還包括：通過(guò)分析所述至少一束光的透射率來(lái)測(cè)量形成在石墨烯板上的所述至少一個(gè)石墨烯層的寬度和所述至少一個(gè)石墨烯層之間的間距。附圖說(shuō)明通過(guò)參照附圖詳細(xì)描述示例性實(shí)施例，以上和其它方面將會(huì)變得更加明顯，其中：圖1是根據(jù)示例性實(shí)施例的安裝有石墨烯板的石墨烯板檢查設(shè)備的示意性框圖；圖2是根據(jù)示例性實(shí)施例的圖1中示出的確定單元的框圖；圖3是根據(jù)示例性實(shí)施例的由圖1的石墨烯板檢查設(shè)備檢查的石墨烯板的剖視圖；圖4是示出根據(jù)示例性實(shí)施例的穿透石墨烯板的光的透射率的曲線圖；圖5示出根據(jù)示例性實(shí)施例的圖1中示出的發(fā)光裝置的結(jié)構(gòu)；圖6示出根據(jù)示例性實(shí)施例的圖1中示出的光接收裝置的結(jié)構(gòu)；圖7A是根據(jù)示例性實(shí)施例的石墨烯層的一部分形成得相對(duì)較低的石墨烯板的剖視圖；圖7B是示出根據(jù)示例性實(shí)施例的穿透圖7A的石墨烯板的光的透射率的曲線圖；圖8A是根據(jù)示例性實(shí)施例的在未形成有石墨烯層的區(qū)域中包括石墨烯的廢料的石墨烯板的剖視圖；圖8B是示出根據(jù)示例性實(shí)施例的穿透圖8A的石墨烯板的光的透射率的曲線圖；圖9A是根據(jù)示例性實(shí)施例的石墨烯層未形成在應(yīng)該形成有石墨烯層的區(qū)域中的石墨烯板的剖視圖；圖9B是示出根據(jù)示例性實(shí)施例的穿透圖9A的石墨烯板的光的透射率的曲線圖；圖10A是根據(jù)示例性實(shí)施例的石墨烯層形成在不應(yīng)該形成有石墨烯層的區(qū)域中的石墨烯板的剖視圖；圖10B是示出根據(jù)示例性實(shí)施例的穿透圖10A的石墨烯板的光的透射率的曲線圖；圖11是根據(jù)另一示例性實(shí)施例的安裝有石墨烯板的石墨烯板檢查設(shè)備的框圖；圖12是根據(jù)另一示例性實(shí)施例的石墨烯板檢查設(shè)備的框圖；和圖13是顯示根據(jù)示例性實(shí)施例的檢查石墨烯板的方法的流程圖。具體實(shí)施方式現(xiàn)在將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)發(fā)明構(gòu)思的示例性實(shí)施例。附圖中的相同標(biāo)號(hào)可表示相同的元件。圖1是根據(jù)示例性實(shí)施例的安裝有石墨烯板301的石墨烯板檢查設(shè)備101的示意性框圖。參照?qǐng)D1，石墨烯板檢查設(shè)備101包括：光處理單元110、透射率檢測(cè)單元121、確定單元131、存儲(chǔ)單元141和顯示單元151。石墨烯板檢查設(shè)備101檢查石墨烯板301的狀態(tài)。換句話說(shuō)，石墨烯板檢查設(shè)備101通過(guò)利用光檢查石墨烯板301來(lái)確定石墨烯板301是處于好的狀態(tài)還是處于壞的狀態(tài)。圖3是石墨烯板301的剖視圖。參照?qǐng)D3，石墨烯板301包括：基底311；和石墨烯層321，具有特定圖案并形成在基底311上。換句話說(shuō)，基底311包括：區(qū)域331，石墨烯層321形成在區(qū)域331中；區(qū)域335，石墨烯層321不形成在區(qū)域335中。因此，如果光被發(fā)射到石墨烯板301上，則穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331的光的透射率和穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的光的透射率彼此不同。石墨烯板檢查設(shè)備101通過(guò)利用這個(gè)事實(shí)來(lái)檢查石墨烯板301?；?11可由這樣的材料形成：光可穿透該材料，但該材料不導(dǎo)電，例如，從由聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)、乙二醇改性聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(polyethyleneterephthalateglycol，PETG)和聚碳酸酯構(gòu)成的組選擇的至少一種材料。光處理單元110將光照射到石墨烯板301上，接收穿透石墨烯板301的光，將接收的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，并輸出電信號(hào)。照射到石墨烯板301的光可具有波長(zhǎng)為380nm到780nm的光線。具體地講，當(dāng)光線具有550nm的波長(zhǎng)時(shí)，穿透石墨烯板301的光相對(duì)于石墨烯板301(例如，石墨烯層321和/或基底311)具有最高的透射率。因此，可優(yōu)選地使用具有550nm的波長(zhǎng)的可見(jiàn)光線來(lái)檢查石墨烯板301。然而，發(fā)明構(gòu)思不限于此，可以使用能夠測(cè)量穿透石墨烯板301的光的透射率的光線(包括輻射線、UV光或激光)。圖4是示出穿透石墨烯板301的光的透射率的曲線圖。參照?qǐng)D4，穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331(參見(jiàn)圖3)的光的透射率421不同于穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335(參見(jiàn)圖3)的光的透射率411。換句話說(shuō)，穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331的光的透射率421低于穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的光的透射率411。此外，光的透射率根據(jù)光的波長(zhǎng)而變化。例如，如果光的波長(zhǎng)是550nm，則穿透石墨烯板301的光的透射率最高。詳細(xì)地講，當(dāng)光具有550nm的波長(zhǎng)時(shí)，穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331的光的透射率421是81％，并且穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的光的透射率411是89％。如此，可利用具有550nm的波長(zhǎng)的光檢查石墨烯板301的狀態(tài)。光處理單元110包括：室113、基底支撐構(gòu)件114、發(fā)光調(diào)節(jié)單元111、發(fā)光裝置112和光接收裝置115。室113具有密封的內(nèi)部空間，以使得光不能從外面進(jìn)入室113。待檢查的石墨烯板301被安裝在室113里面。通過(guò)防止光從外面進(jìn)入室113，當(dāng)將光照射到石墨烯板301時(shí)，可精確地測(cè)量光的透射率。石墨烯板301進(jìn)入的入口(未示出)和石墨烯板301離開(kāi)的出口(未示出)形成在室113中。室113可被形成為具有各種形狀中的任何形狀，例如四邊形的桶形狀或圓柱形形狀?；字螛?gòu)件114可布置在室113的里面的中間。石墨烯板301安裝在基底支撐構(gòu)件114上。石墨烯板301可在檢查期間保持在水平位置。因此，基底支撐構(gòu)件114被水平地支撐以使石墨烯板301保持在水平位置。石墨烯板檢查設(shè)備101可對(duì)石墨烯板301的各種區(qū)域執(zhí)行檢查。因此，基底支撐構(gòu)件114可具有這樣的結(jié)構(gòu)：石墨烯板301可容易地沿水平方向移動(dòng)?；字螛?gòu)件114可被構(gòu)造為輸送機(jī)或卷對(duì)卷類型構(gòu)件以容易地移動(dòng)石墨烯板301。如果基底支撐構(gòu)件114被構(gòu)造為卷對(duì)卷類型構(gòu)件，則基底支撐構(gòu)件114包括用于傳送的輥(未示出)、供應(yīng)卷筒(未示出)和接收卷筒(未示出)。用于傳送的輥從室113的入口朝著室113的出口傳送纏繞在供應(yīng)卷筒上的石墨烯板301?；字螛?gòu)件114可按照恒定速度傳送石墨烯板301，或者可臨時(shí)停止石墨烯板301。換句話說(shuō)，當(dāng)石墨烯板檢查設(shè)備101檢查許多石墨烯板301時(shí)，基底支撐構(gòu)件114按照恒定速度傳送安裝的石墨烯板301，但當(dāng)石墨烯板檢查設(shè)備101更準(zhǔn)確地檢查石墨烯板301時(shí)，需要將石墨烯板301停止預(yù)定時(shí)間段。為此，基底支撐構(gòu)件114可按照恒定速度移動(dòng)安裝的石墨烯板301，或者可臨時(shí)停止石墨烯板301。基底支撐構(gòu)件114可被構(gòu)造為不僅沿水平方向移動(dòng)，還沿垂直方向移動(dòng)，以檢查石墨烯板301的各個(gè)區(qū)域。此時(shí)，發(fā)光裝置112和光接收裝置115固定到一個(gè)地方。根據(jù)示例性實(shí)施例，光處理單元110可包括兩個(gè)或更多的發(fā)光裝置112和/或兩個(gè)或更多的光接收裝置115。除了石墨烯板301之外，將要測(cè)量透射率的各種其它構(gòu)件也可被安裝在基底支撐構(gòu)件114上。發(fā)光調(diào)節(jié)單元111控制發(fā)光裝置112的操作。發(fā)光調(diào)節(jié)單元111設(shè)置從發(fā)光裝置112發(fā)出的光的類型、強(qiáng)度、波長(zhǎng)等。在最初設(shè)置之后，可由用戶在使用發(fā)光裝置112期間改變光的類型、強(qiáng)度、波長(zhǎng)等。發(fā)光裝置112布置在基底支撐構(gòu)件114的上方，也就是說(shuō)，布置在室113的頂部。如果石墨烯板301安裝在基底支撐構(gòu)件114上，則發(fā)光裝置112將光照射到石墨烯板301。從發(fā)光裝置112發(fā)射的光需要穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331和未形成有石墨烯層321的區(qū)域335(即，石墨烯層321之間的區(qū)域)(參見(jiàn)圖3)。因此，從發(fā)光裝置112發(fā)射的光的寬度被形成為小于石墨烯層321之間的間距P1或者石墨烯層321的寬度。參照?qǐng)D5，發(fā)光裝置112可包括：光源511、聚光透鏡521、選擇濾光器531和平整透鏡(planarizinglens)541。光源511、聚光透鏡521、選擇濾光器531和平整透鏡541沿垂直方向排列。光源511產(chǎn)生光并將產(chǎn)生的光照射到聚光透鏡521。聚光透鏡521使入射光變?yōu)槠叫泄獠⑤敵銎叫泄?。選擇濾光器531僅透射穿透聚光透鏡521的不同波長(zhǎng)光之中的特定波長(zhǎng)光，例如具有550nm的波長(zhǎng)的可見(jiàn)光線。平整透鏡541接收穿透聚光透鏡521的光，使光平整，并將光傳遞到基底支撐構(gòu)件114。換句話說(shuō)，穿透平整透鏡541的光的強(qiáng)度在其光斑空間范圍內(nèi)變得均勻。平整透鏡541可由復(fù)眼透鏡的柱狀透鏡形成。發(fā)光裝置112可發(fā)射激光。此時(shí)，發(fā)光裝置112可在光源511和基底支撐構(gòu)件114之間順序地包括：掃描光學(xué)系統(tǒng)(未示出)、傳播光學(xué)系統(tǒng)(未示出)和物鏡(未示出)。掃描光學(xué)系統(tǒng)通過(guò)包括聲光裝置、電流鏡和多面鏡之一來(lái)使從光源511照射的激光變?yōu)榧す馐⒄丈浼す馐?。傳播光學(xué)系統(tǒng)通過(guò)包括合成石英透鏡來(lái)傳播激光束。物鏡將從傳播光學(xué)系統(tǒng)照射的激光束轉(zhuǎn)換成更小的激光束。光接收裝置115布置在基底支撐構(gòu)件114的下方，也就是說(shuō)，布置在室113的底部。光接收裝置115和發(fā)光裝置112布置在同一垂直線上，以使得光接收裝置115可接收從發(fā)光裝置112發(fā)射并穿透石墨烯板301的光。光接收裝置115將接收的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并輸出電信號(hào)。參照?qǐng)D6，光接收裝置115可包括：聚光透鏡611、濾光器621和光電轉(zhuǎn)換裝置631。聚光透鏡611、濾光器621和光電轉(zhuǎn)換裝置631沿豎直方向布置在基底支撐構(gòu)件114的下方。聚光透鏡611聚集穿透石墨烯板301的光，并將聚集的光傳輸?shù)綖V光器621。濾光器621僅透射具有與從發(fā)光裝置112發(fā)射的光的波長(zhǎng)相同的波長(zhǎng)的光，并阻擋具有與從發(fā)光裝置112發(fā)射的光的波長(zhǎng)不同的波長(zhǎng)的其它光。光電轉(zhuǎn)換裝置631將穿透濾光器621的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并輸出所述電信號(hào)。光電轉(zhuǎn)換裝置631可包括光電二極管。光電轉(zhuǎn)換裝置631可具有檢測(cè)微弱的光的能力和快的響應(yīng)速度。發(fā)光裝置112和光接收裝置115可被形成為沿水平方向移動(dòng)以檢查石墨烯板301的各個(gè)區(qū)域。此時(shí)，基底支撐構(gòu)件114被固定到一個(gè)位置。透射率檢測(cè)單元121接收從光接收裝置115輸出的信號(hào)，并檢測(cè)穿透石墨烯板301的光的透射率。確定單元131接收從透射率檢測(cè)單元121輸出的透射率檢測(cè)信號(hào)，并確定石墨烯板301的狀態(tài)。換句話說(shuō)，確定單元131確定石墨烯層321(參見(jiàn)圖3)的狀態(tài)和石墨烯層321之間的基底的狀態(tài)是好的還是壞的。參照?qǐng)D2，確定單元131包括數(shù)據(jù)計(jì)算單元133和分類單元135。數(shù)據(jù)計(jì)算單元133接收由透射率檢測(cè)單元121檢測(cè)的光，并計(jì)算石墨烯層321(參見(jiàn)圖3)的寬度和石墨烯層321之間的間距P1(參見(jiàn)圖3)。在本實(shí)施例中使用的間距指的是圖3的間距P1，還指的是未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的一個(gè)線寬度和石墨烯層321的一個(gè)線寬度之和。當(dāng)在移動(dòng)石墨烯板301的同時(shí)檢查石墨烯板301時(shí)，光照射到石墨烯層321的一端和另一端，以測(cè)量石墨烯板301的移動(dòng)距離，并且通過(guò)使用測(cè)量的石墨烯板301的移動(dòng)距離可計(jì)算石墨烯層321的寬度。通過(guò)使用相同的方法可測(cè)量石墨烯層321之間的間距P1。此外，分類單元135接收由透射率檢測(cè)單元121檢測(cè)的光的透射率，并確定石墨烯板301的狀態(tài)。換句話說(shuō)，如果石墨烯板301的狀態(tài)是好的，則穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331的光的透射率是81％，并且穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的光的透射率是89％。然而，如果石墨烯板301包括異常部分，則穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331的光的透射率可高于81％，穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的光的透射率可低于89％。參照?qǐng)D7A和7B，當(dāng)石墨烯板301包括低于規(guī)范而形成的石墨烯層321a時(shí)，穿透石墨烯層321a的光721的透射率721a可高于穿透處于正常狀態(tài)的石墨烯層321的光711的透射率711a，例如大約84％的透射率。參照?qǐng)D8A和8B，如果未形成有石墨烯層321的區(qū)域包括石墨烯的廢料341，則穿透廢料341的光821的透射率821a可低于穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域的光811的透射率811a，例如大約86％的透射率。如果石墨烯的廢料341是外來(lái)雜質(zhì)而非石墨烯，則光的透射率可低于84％。參照?qǐng)D9A和9B，當(dāng)石墨烯層321未形成在應(yīng)該形成有石墨烯層的區(qū)域331中時(shí)，穿透石墨烯層321的光921的透射率921a進(jìn)一步高于穿透石墨烯層321的光911的透射率911a，例如大約89％的透射率。參照?qǐng)D10A和10B，當(dāng)石墨烯層332部分地形成在不應(yīng)該形成有石墨烯層321的區(qū)域335中時(shí)，穿透部分石墨烯層332的光1021的透射率1021a可進(jìn)一步低于穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的光1011的透射率1011a，例如，大約81％的透射率。如此，當(dāng)由透射率檢測(cè)單元121檢測(cè)的光的透射率為82％到88％時(shí)，分類單元135可將石墨烯板301歸類為有缺陷的石墨烯板。在這個(gè)方面，考慮到透射率的偏差，分類單元135可將缺陷的范圍設(shè)置為83％到87％。發(fā)光調(diào)節(jié)單元111、透射率檢測(cè)單元121和確定單元131可被單獨(dú)地包括，或者可被包括在一個(gè)設(shè)備(即，控制器120)中。存儲(chǔ)單元141可存儲(chǔ)由確定單元131處理的數(shù)據(jù)。存儲(chǔ)單元141可被包括在確定單元131或控制器120中。顯示單元151可在屏幕上顯示由確定單元131處理的數(shù)據(jù)。顯示單元151可被構(gòu)造為發(fā)光二極管(LED)顯示器或液晶顯示器(LCD)。圖11是根據(jù)另一示例性實(shí)施例的安裝有石墨烯板301的石墨烯板檢查設(shè)備1101的框圖。參照?qǐng)D11，石墨烯板檢查設(shè)備1101包括：光處理單元110a、透射率檢測(cè)單元121、確定單元131、存儲(chǔ)單元141和顯示單元151。除了光處理單元110a之外，圖11中示出的石墨烯板檢查設(shè)備1101具有與圖1的石墨烯板檢查設(shè)備101相同的結(jié)構(gòu)，因此，將會(huì)僅描述光處理單元110a，以避免重復(fù)的描述。光處理單元110a將多條光線照射到石墨烯板301的前表面，接收穿透石墨烯板301的光，將光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，并輸出電信號(hào)。照射到石墨烯板301的光可以是具有380到780nm(例如，550nm)的波長(zhǎng)的光線。然而，本實(shí)施例不限于此，并且可使用輻射線、UV光或激光。已參照?qǐng)D4描述了光的波長(zhǎng)，因此，在這里省略重復(fù)的描述。光處理單元110a包括：室113、基底支撐構(gòu)件114、發(fā)光調(diào)節(jié)單元111、發(fā)光裝置112、光分割單元161和光接收裝置115a。已參照?qǐng)D1詳細(xì)地描述了室113、基底支撐構(gòu)件114、發(fā)光調(diào)節(jié)單元111和發(fā)光裝置112，因此，在這里省略重復(fù)的描述。光分割單元可由分束器實(shí)現(xiàn)，分束器將從發(fā)光裝置112發(fā)射的光分割成多條光線并將所述多條光線照射到石墨烯板301。換句話說(shuō)，分束器將光照射到石墨烯板301的前表面。所述多條光線中的每條光線的寬度小于所述至少一個(gè)石墨烯層之間的間距和所述至少一個(gè)石墨烯層中的每個(gè)石墨烯層的寬度。如此，通過(guò)經(jīng)由包括分束器將所述多條光線照射到石墨烯板301的前表面，可一次檢查石墨烯板301。因此，減少用于檢查石墨烯板301的時(shí)間。具體地講，顯著減少用于檢查具有大面積石墨烯的石墨烯板301的時(shí)間。光接收裝置115a布置在基底支撐構(gòu)件114的下方，也就是說(shuō)，布置在室113的底部。光接收裝置115a和發(fā)光裝置112布置在同一豎直線上，以使得光接收裝置115a可接收從發(fā)光裝置112發(fā)射并穿透石墨烯板301的光。光接收裝置115a同時(shí)接收穿透石墨烯板301的多條光線。光接收裝置115a將接收的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并輸出所述電信號(hào)。參照?qǐng)D6，光接收裝置115a可包括：聚光透鏡611、濾光器621和光電轉(zhuǎn)換裝置631。在這個(gè)方面，聚光透鏡611、濾光器621和光電轉(zhuǎn)換裝置631的數(shù)量可對(duì)應(yīng)于穿透石墨烯板301的光線的數(shù)量。例如，如果二十條光線穿透石墨烯板301，則可包括二十個(gè)聚光透鏡611、二十個(gè)濾光器621和二十個(gè)光電轉(zhuǎn)換裝置631。聚光透鏡611聚集穿透石墨烯板301的光，并使聚集的光透射到濾光器621。濾光器621僅透射具有與從發(fā)光裝置112發(fā)射的光的波長(zhǎng)相同的波長(zhǎng)的光，并阻擋具有與從發(fā)光裝置112發(fā)射的光的波長(zhǎng)不同的波長(zhǎng)的其它光。光電轉(zhuǎn)換裝置631將穿透濾光器621的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并輸出電信號(hào)。光電轉(zhuǎn)換裝置631可包括光電二極管。光電轉(zhuǎn)換裝置631可具有檢測(cè)微量的光的能力和快的響應(yīng)速度。光分割單元161(即，分束器)和光接收裝置115a可被形成為沿水平方向移動(dòng)，以檢查石墨烯板301的各個(gè)區(qū)域。此時(shí)，基底支撐構(gòu)件114固定到一個(gè)位置。圖12是根據(jù)另一示例性實(shí)施例的石墨烯板檢查設(shè)備1201的框圖。參照?qǐng)D12，石墨烯板檢查設(shè)備1201包括圖案化單元1211、多個(gè)檢查單元101和1101。圖案化單元1211對(duì)形成在基底311(參見(jiàn)圖3)上的石墨烯層321(參見(jiàn)圖3)進(jìn)行圖案化?；瘜W(xué)氣相沉積(CVD)方法可用于在基底311上形成石墨烯層321。換句話說(shuō)，形成有金屬催化劑層(諸如，銅)的基底構(gòu)件被放入到室(未示出)中，并且包括碳和熱量的氣體被應(yīng)用于該室，因此，金屬催化劑層吸收碳。然后，通過(guò)迅速冷卻基底構(gòu)件，從金屬催化劑層分離碳，然后，使碳結(jié)晶。然后，結(jié)晶的碳被轉(zhuǎn)移到基底，并且金屬催化劑層被去除，以由此完成石墨烯板301的制造。圖案化單元1211將光致抗蝕劑涂覆在石墨烯層321(參見(jiàn)圖3)上，對(duì)光致抗蝕劑執(zhí)行掩蔽、曝光和顯影處理，石墨烯板301被蝕刻，并且石墨烯板301中剩余的光致抗蝕劑被去除，由此完成石墨烯層321的圖案化。然而，發(fā)明構(gòu)思不限于此，并且圖案化單元1211可通過(guò)使用等離子體的干蝕刻或拋光來(lái)對(duì)石墨烯層321進(jìn)行圖案化。檢查單元101和檢查單元1101分別具有與圖1中示出的石墨烯板檢查設(shè)備101和圖11中示出的石墨烯板檢查設(shè)備1101相同的結(jié)構(gòu)，因此，在這里省略重復(fù)的描述。如此，由于圖案化單元1211可位于檢查單元101和1101的前端以立即檢查圖案化的石墨烯板301。因此，當(dāng)檢查單元101和1101檢測(cè)到對(duì)石墨烯板301進(jìn)行圖案化的錯(cuò)誤時(shí)，錯(cuò)誤可被立即校正。因此，石墨烯板301的制造時(shí)間和制造成本可顯著降低。圖13是示出根據(jù)示例性實(shí)施例的檢查石墨烯板的方法的流程圖。參照?qǐng)D13，該方法可包括操作1311至1341。將參照?qǐng)D1至3描述檢查石墨烯板的方法。在操作1311中，制備在基底311上對(duì)石墨烯層321進(jìn)行了圖案化的石墨烯板301(參見(jiàn)圖3)。為了制備石墨烯板301，在基底311上形成石墨烯層321并對(duì)石墨烯層321進(jìn)行圖案化的處理是必需的。在操作1321中，光117被照射到石墨烯板301。照射到石墨烯板301的光117(參見(jiàn)圖1)可被沿垂直方向或者水平方向照射。光117具有特定波長(zhǎng)，并且具有不同波長(zhǎng)的光可被阻擋。為此，待檢查的石墨烯板301可被布置在阻擋外部光的密封空間中。然而，當(dāng)光具有高直進(jìn)性質(zhì)時(shí)，可在開(kāi)放空間中檢查石墨烯板301。在操作1331中，檢查穿透石墨烯板301的光117(參見(jiàn)圖1)的透射率。在穿透石墨烯板301的光117之中，穿透形成有石墨烯層321的區(qū)域331(參見(jiàn)圖3)的光的透射率不同于穿透未形成有石墨烯層321的區(qū)域335的光的透射率，因此，需要檢查精確的透射率。在操作1341中，通過(guò)分析檢測(cè)到的光的透射率來(lái)確定石墨烯板301的狀態(tài)。換句話說(shuō)，計(jì)算石墨烯層321(參見(jiàn)圖3)的寬度和石墨烯層321之間的間距P1(參見(jiàn)圖3)，并且確定石墨烯層321的形狀和基底311的形狀。通過(guò)使用確定的數(shù)據(jù)來(lái)確定石墨烯板301是否具有缺陷。詳細(xì)地講，通過(guò)計(jì)算石墨烯層321的寬度和石墨烯層321之間的間距P1或者通過(guò)確定石墨烯層321的形狀和基底311的形狀，可確定石墨烯板301是否具有缺陷。如上所述，通過(guò)在石墨烯板301上使用能夠測(cè)量穿透石墨烯板301的光的透射率的可見(jiàn)光線和波長(zhǎng)以及檢測(cè)穿透石墨烯板301的光117的透射率，可檢查石墨烯板301的狀態(tài)。具體地講，通過(guò)允許光穿透石墨烯板301，可測(cè)量石墨烯層321的寬度和石墨烯層321之間的間距P1。如此，通過(guò)使用能夠測(cè)量穿透石墨烯板301的光的透射率的可見(jiàn)光線和波長(zhǎng)檢查石墨烯板301，可顯著減少用于檢查石墨烯板301的時(shí)間。具體地講，可大大減少用于檢查形成有大面積石墨烯層321的石墨烯板301的時(shí)間。通過(guò)將可見(jiàn)光線照射在石墨烯板上并檢測(cè)穿透石墨烯板的光的透射率，可檢查石墨烯板的狀態(tài)。具體地講，通過(guò)檢測(cè)穿透石墨烯板的光的透射率，可測(cè)量石墨烯層的寬度和石墨烯層之間的間距。如此，通過(guò)使用能夠測(cè)量穿透石墨烯板301的光的透射率的可見(jiàn)光線和波長(zhǎng)檢查石墨烯板，可顯著減少用于檢查石墨烯板的時(shí)間。具體地講，可大大減少用于檢查形成有大面積石墨烯層的石墨烯板的時(shí)間。盡管已參照發(fā)明構(gòu)思的示例性實(shí)施例具體地示出和描述了發(fā)明構(gòu)思，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將會(huì)理解，在不脫離由權(quán)利要求限定的發(fā)明構(gòu)思的精神和范圍的情況下，可對(duì)其做出各種形式和細(xì)節(jié)上的修改。