技術特征:
1.一種用于檢查形成有多個石墨烯層的石墨烯板的石墨烯板檢查設備,所述石墨烯板檢查設備包括:光處理單元,將至少一束光照射到石墨烯板上,接收穿透石墨烯板的所述至少一束光,并將所接收到的至少一束光轉換成輸出信號;透射率檢測單元,接收來自光處理單元的輸出信號以檢查穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率;和確定單元,連接到透射率檢測單元,并接收檢測到的透射率,以通過分析檢測到的透射率來確定石墨烯板的狀態(tài),其中,確定單元包括:數(shù)據計算單元,利用石墨烯板的移動距離來計算所述多個石墨烯層中的每個石墨烯層的寬度和所述多個石墨烯層之間的間距,其中,通過在移動石墨烯板的同時將所述至少一束光發(fā)射到所述多個石墨烯層并分析檢測到的透射率來測量所述寬度和所述間距;分類單元,通過分析檢測的透射率來將石墨烯板分類為好的石墨烯板或有缺陷的石墨烯板。2.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述至少一束光具有380nm到780nm的波長。3.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述光處理單元被從外面密封,從而在光處理單元處不接收外部光。4.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述光處理單元包括:室,具有密封的內部空間以阻擋外部光;基底支撐構件,布置在室中,在基底支撐構件上安裝石墨烯板;發(fā)光裝置,布置在基底支撐構件的上方,并將所述至少一束光照射到石墨烯板上;和光接收裝置,布置在基底支撐構件的下方,并接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。5.如權利要求4所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述發(fā)光裝置布置在室的頂部。6.如權利要求4所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述光接收裝置布置在室的底部。7.如權利要求4所述的石墨烯板檢查設備,其中,從發(fā)光裝置發(fā)射的所述至少一束光沿豎直方向穿透石墨烯板。8.如權利要求4所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述基底支撐構件沿水平方向移動石墨烯板。9.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,對形成在石墨烯板中的所述多個石墨烯層進行圖案化的圖案化單元布置在石墨烯板檢查設備的前端。10.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述石墨烯板包括透明材料,由光處理單元發(fā)射的所述至少一束光穿透該透明材料。11.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述至少一束光為多束光,所述光處理單元包括:發(fā)光裝置,發(fā)射光;光分割單元,將從發(fā)光裝置發(fā)射的光分割成所述多束光,并將分割的所述多束光照射到石墨烯板;和光接收裝置,接收穿透石墨烯板的所述多束光。12.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述光處理單元包括發(fā)射所述至少一束光的至少一個發(fā)光裝置和接收穿透石墨烯板的所述至少一束光的光接收裝置,以及其中,發(fā)光裝置包括所述至少一束光的光源和選擇濾光器,選擇濾光器被均具有給定波長的所述至少一束光透射,且選擇濾光器阻擋具有與所述給定波長不同的波長的光。13.如權利要求12所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述發(fā)光裝置還包括下面的至少一種:至少一個聚光透鏡,使來自光源的所述至少一束光相對于光接收單元垂直;和至少一個平整透鏡,使所述至少一束光均勻。14.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述光處理單元包括分別發(fā)射所述至少一束光的至少一個發(fā)光裝置以及接收穿透石墨烯板的所述至少一束光的光接收裝置,以及其中,光接收裝置包括至少一個濾光器,所述至少一個濾光器被從發(fā)光裝置發(fā)射并具有給定波長的所述至少一束光透射,且所述至少一個濾光器阻擋具有與該給定波長不同的波長的光。15.如權利要求1所述的石墨烯板檢查設備,其中,所述至少一束光中的每束光的寬度小于所述多個石墨烯層之間的所述間距和所述多個石墨烯層中的每個石墨烯層的所述寬度。16.一種檢查石墨烯板的方法,所述方法包括:制備在基底上形成有多個石墨烯層的石墨烯板;將至少一束光照射到石墨烯板;檢測穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率;利用石墨烯板的移動距離來測量所述多個石墨烯層中的每個石墨烯層的寬度和所述多個石墨烯層之間的間距,其中,通過在移動石墨烯板的同時將所述至少一束光發(fā)射到所述多個石墨烯層并分析檢測到的透射率來測量所述寬度和所述間距;以及通過分析檢測到的透射率來確定石墨烯板的狀態(tài)。17.如權利要求16所述的方法,其中,所述至少一束光具有380nm到780nm的波長。18.如權利要求16所述的方法,其中,所述至少一束光中的每束光的寬度小于所述多個石墨烯層之間的所述間距和所述多個石墨烯層中的每個石墨烯層的所述寬度。