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      一種光纖刻蝕光柵傳感器及其制作方法與流程

      文檔序號:11130741閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種光纖刻蝕光柵傳感器,包括,在光纖端面刻上周期性凹槽,形成光纖光柵傳感器。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖刻蝕光柵傳感器,其特征在于光纖刻蝕周期性凹槽,周期為20um,凹槽縫寬為10um,深度為62.5um,柵區(qū)為2mm。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖刻蝕光柵傳感器,所述光纖是采用石英,聚合物,寶石或光子晶體材料制成的單?;蚨嗄9饫w。

      4.一種上述光纖光柵傳感器的制作方法,可以制成各種靈敏度的光纖光柵傳感器,由以下步驟完成:

      A:探測設(shè)備的搭建,把寬帶光源3接環(huán)形器4一端口,光纖接環(huán)形器4二端口,光譜儀5接環(huán)形器4三端口,

      B:把光纖8放在移動平臺9上,放上掩模板7,

      C:用157nm激光6器通過掩模板7,在光纖8上方,刻蝕出周期性的凹槽2,周期為周期為20um,凹槽縫寬為10um,深度為62.5um,柵區(qū)為2mm,

      D:通過光譜儀5檢測峰值的變化,當(dāng)光譜儀5出現(xiàn)尖峰的時(shí)候,停止刻蝕,就構(gòu)成了一個(gè)光纖光柵傳感器。

      5.進(jìn)一步的,步驟A中所述刻蝕是采用激光加工,飛秒激光加工,粒子束刻蝕或電子束刻蝕,液體腐蝕。

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