技術特征：

技術總結
本發(fā)明適用于薄膜應力測試技術領域，公開了一種薄膜應力測試儀及其測試方法，所述測試儀包括臺架、設置在臺架上的激光器、可內置薄膜樣品的真空腔室、用于控制真空腔室進行X軸和Y軸運動的XY軸運動平臺、安裝在真空腔室的底板上且用于實現(xiàn)樣品快速升降溫功能的快速升降溫裝置、設置在真空腔室上方的反射鏡和半透鏡，以及設置在臺架遠離所述反射鏡和半透鏡的一端的位敏探測器，所述激光器發(fā)出的激光經反射鏡和半透鏡進入真空腔室并照射所述薄膜樣品，所述薄膜樣品反射的激光經半透鏡反射至所述位敏探測器。本發(fā)明通過快速升降溫裝置測量薄膜在高溫下和交變熱載荷作用下的應力，并根據(jù)薄膜在不同溫度下的熱應力數(shù)值計算薄膜的熱膨脹系數(shù)。

技術研發(fā)人員：唐永炳;蔣春磊;焦國華;魯遠甫
受保護的技術使用者：中國科學院深圳先進技術研究院
技術研發(fā)日：2016.03.21
技術公布日：2017.09.29