本發(fā)明屬于材料化學(xué)研究工具領(lǐng)域，具體涉及一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒及利用其進(jìn)行測(cè)試的方法。

背景技術(shù)：

掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope），簡(jiǎn)稱SEM，是1965年發(fā)明的細(xì)胞生物學(xué)研究工具，主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射，二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來(lái)的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。

發(fā)展至今，描電子顯微鏡已廣泛應(yīng)用于材料化學(xué)研究等多個(gè)領(lǐng)域，對(duì)很多常規(guī)樣品表面形貌的測(cè)試分析非常有效，但是，隨著科學(xué)研究的不斷深入，出現(xiàn)了一些對(duì)空氣和水敏感的研究樣品，使用現(xiàn)有描電子顯微鏡所配備的樣品盒無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)這些樣品的測(cè)試，因此，需要設(shè)計(jì)一種新的樣品盒，保證樣品在轉(zhuǎn)移和測(cè)試的過(guò)程中避免與水分和空氣接觸。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有描電子顯微鏡所配備的樣品盒存在的上述問(wèn)題，提供了一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒及利用其進(jìn)行測(cè)試的方法，其技術(shù)方案如下：

一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒，它包含盒體、盒蓋、密封圈、連接軸、開蓋扭簧和單向抽氣閥，盒體是導(dǎo)電金屬材質(zhì)的，如不銹鋼，鋁合金等，在盒體的開口處設(shè)置有盒蓋，在盒體與盒蓋之間設(shè)置有密封圈，盒體與盒蓋通過(guò)連接軸沿開合方向轉(zhuǎn)動(dòng)連接，在連接軸上設(shè)置有開蓋扭簧，使盒蓋在自然條件下處于打開狀態(tài)，在盒體上設(shè)置有單向抽氣閥，可以抽掉盒內(nèi)氣體。

利用上述掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒進(jìn)行測(cè)試的方法，它包含如下步驟：

第一步，在盒體內(nèi)部底面上粘導(dǎo)電膠，并在導(dǎo)電膠上粘測(cè)試樣品，粘測(cè)試樣品要在存儲(chǔ)樣品的空間內(nèi)進(jìn)行，由于測(cè)試樣品對(duì)空氣和水敏感，所以要存儲(chǔ)在充滿氬氣等惰性氣體的空間內(nèi)，粘測(cè)試樣品后合上盒蓋，用夾子將盒體與盒蓋夾緊；

第二步，利用抽真空裝置與單向抽氣閥連接進(jìn)行抽真空，抽真空完成后，將夾子取下，在氣壓作用下開蓋扭簧不會(huì)驅(qū)動(dòng)盒蓋打開；

第三步，將樣品盒轉(zhuǎn)移至掃描電子顯微鏡的腔體中，對(duì)掃描電子顯微鏡的腔體進(jìn)行抽真空至盒蓋自動(dòng)打開，當(dāng)掃描電子顯微鏡腔體中的真空度與樣品盒中的真空度接近時(shí)，開蓋扭簧便會(huì)驅(qū)動(dòng)盒蓋打開；

第四步，操作掃描電子顯微鏡將樣品盒升至合適的高度進(jìn)行測(cè)試。

本發(fā)明的有益效果為：可以用于測(cè)試對(duì)空氣和水分敏感的樣品，整個(gè)過(guò)程中樣品處于真空或氬氣環(huán)境中，有效的防止該類樣品發(fā)生變質(zhì)，能準(zhǔn)確測(cè)試樣品表面形貌和表面元素分布等特征。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的分解示意圖；

圖3是本發(fā)明合上盒蓋的狀態(tài)示意圖。

具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1至圖3，一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒，它包含盒體1、盒蓋2、密封圈3、連接軸4、開蓋扭簧5和單向抽氣閥6，盒體1是導(dǎo)電金屬材質(zhì)的，如不銹鋼，鋁合金等，在盒體1的開口處設(shè)置有盒蓋2，在盒體1與盒蓋2之間設(shè)置有密封圈3，盒體1與盒蓋2通過(guò)連接軸4沿開合方向轉(zhuǎn)動(dòng)連接，在連接軸4上設(shè)置有開蓋扭簧5，使盒蓋2在自然條件下處于打開狀態(tài)，在盒體1上設(shè)置有單向抽氣閥6，可以抽掉盒內(nèi)氣體。

利用上述掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒進(jìn)行測(cè)試的方法，它包含如下步驟：

第一步，在盒體1內(nèi)部底面上粘導(dǎo)電膠，并在導(dǎo)電膠上粘測(cè)試樣品，粘測(cè)試樣品要在存儲(chǔ)樣品的空間內(nèi)進(jìn)行，由于測(cè)試樣品對(duì)空氣和水敏感，所以要存儲(chǔ)在充滿氬氣等惰性氣體的空間內(nèi)，粘測(cè)試樣品后合上盒蓋2，用夾子將盒體1與盒蓋2夾緊；

第二步，利用抽真空裝置與單向抽氣閥6連接進(jìn)行抽真空，抽真空完成后，將夾子取下，在氣壓作用下開蓋扭簧5不會(huì)驅(qū)動(dòng)盒蓋2打開；

第三步，將樣品盒轉(zhuǎn)移至掃描電子顯微鏡的腔體中，對(duì)掃描電子顯微鏡的腔體進(jìn)行抽真空至盒蓋2自動(dòng)打開，當(dāng)掃描電子顯微鏡腔體中的真空度與樣品盒中的真空度接近時(shí)，開蓋扭簧5便會(huì)驅(qū)動(dòng)盒蓋2打開；

第四步，操作掃描電子顯微鏡將樣品盒升至合適的高度進(jìn)行測(cè)試。

優(yōu)選的是，在盒體1的與密封圈3對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有深度小于密封圈3高度的凹槽1-1，用于放置密封圈3。

優(yōu)選的是，本樣品盒包含夾子，便于將盒體1與盒蓋2夾緊。

優(yōu)選的是，盒蓋2采用透明材質(zhì)或在盒蓋2上設(shè)置有觀察窗，便于觀察樣品在樣品盒中的位置分布情況。