1.一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒,其特征在于它包含盒體(1)、盒蓋(2)、密封圈(3)、連接軸(4)、開(kāi)蓋扭簧(5)和單向抽氣閥(6),盒體(1)是導(dǎo)電金屬材質(zhì)的,在盒體(1)的開(kāi)口處設(shè)置有盒蓋(2),在盒體(1)與盒蓋(2)之間設(shè)置有密封圈(3),盒體(1)與盒蓋(2)通過(guò)連接軸(4)沿開(kāi)合方向轉(zhuǎn)動(dòng)連接,在連接軸(4)上設(shè)置有開(kāi)蓋扭簧(5),在盒體(1)上設(shè)置有單向抽氣閥(6)。
2.利用權(quán)利要求1所述掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒進(jìn)行測(cè)試的方法,其特征在于它包含如下步驟:
第一步,在盒體(1)內(nèi)部底面上粘導(dǎo)電膠,并在導(dǎo)電膠上粘測(cè)試樣品,粘測(cè)試樣品要在存儲(chǔ)樣品的空間內(nèi)進(jìn)行,粘測(cè)試樣品后合上盒蓋(2),用夾子將盒體(1)與盒蓋(2)夾緊;
第二步,利用抽真空裝置與單向抽氣閥(6)連接進(jìn)行抽真空,抽真空完成后,將夾子取下;
第三步,將樣品盒轉(zhuǎn)移至掃描電子顯微鏡的腔體中,對(duì)掃描電子顯微鏡的腔體進(jìn)行抽真空至盒蓋(2)自動(dòng)打開(kāi);
第四步,操作掃描電子顯微鏡將樣品盒升至合適的高度進(jìn)行測(cè)試。
3.如權(quán)利要求1所述一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒,其特征在于在盒體(1)的與密封圈(3)對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有深度小于密封圈(3)高度的凹槽(1-1)。
4.如權(quán)利要求1所述一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒,其特征在于本樣品盒包含夾子。
5.如權(quán)利要求1所述一種掃描電子顯微鏡測(cè)試用樣品盒,其特征在于盒蓋(2)采用透明材質(zhì)或在盒蓋(2)上設(shè)置有觀察窗。