本發(fā)明涉及TFT檢測技術領域，具體涉及TFT平面度的檢測。

背景技術：

TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶體管的縮寫。TFT式顯示屏是各類筆記本電腦和臺式機上的主流顯示設備，該類顯示屏上的每個液晶像素點都是由集成在像素點后面的薄膜晶體管來驅動，因此TFT式顯示屏也是一類有源矩陣液晶顯示設備。

為解決TFT產(chǎn)品平面度自動高速測量的技術問題，必須解決震動對測量的影響。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所解決的技術問題：如何解決震動對測量的影響，以實現(xiàn)自動高速測量設備對TFT產(chǎn)品平面度的精確測量。

為解決上述技術問題，本發(fā)明提供如下技術方案：一種平面度檢測裝置，包括夾取機構、位于夾取機構上方的激光傳感器，所述激光傳感器安裝在X向運動模組和Y向運動模組上；所述夾取機構、X向運動模組和Y向運動模組安裝在大理石平臺上，大理石平臺底部設有空氣緩沖墊。

按上述技術方案，本發(fā)明使用150毫米厚度的大理石平臺增加底板重量，大理石平臺底部使用空氣緩沖墊，以及控制X向運動模組和Y向運動模組的伺服電機的加減速來降低測量系統(tǒng)的震動；待測TFT定位在夾取機構上，X向運動模組、Y向運動模組帶著高速、高精度激光傳感器到需要測量點位采集數(shù)據(jù)，X向運動模組、Y向運動模組設有光柵尺組件；使用高速、高精度激光傳感器采集N個點位高度數(shù)據(jù)，使用最小二乘法計算產(chǎn)品平面度。

所述夾取機構包括安裝在載具左側邊緣的第一初限位塊和第二初限位塊、安裝在載具后側邊緣的第三初限位塊、安裝在載具右側邊緣的第一定位柱和第二定位柱、安裝在載具前側邊緣的第三定位柱。產(chǎn)品每次放置都由第一初限位塊、第二初限位塊、第三初限位塊初定位，靠在第一定位柱、第二定位柱、第三定位柱上，保證放置位置具有重復性。

夾取機構的載具開設第一豁口和第二豁口，第一豁口和第二豁口對角設置；載具的下方設有第一CCD相機和第二CCD相機，第一CCD相機位于第一豁口處，第二CCD相機位于第二豁口處。使用第一CCD相機和第二CCD相機檢測產(chǎn)品位置，將TFT產(chǎn)品位置信息傳遞給X向運動模組、Y向運動模組的伺服控制系統(tǒng)，X向運動模組、Y向運動模組的伺服控制系統(tǒng)再帶著高速、高精度激光傳感器到需要測量點位采集數(shù)據(jù)。

測量產(chǎn)品材質較軟，易變形影響測量的真實值，本發(fā)明所述平面度檢測裝置的結構非常有效的解決了振動帶來的干擾，保證產(chǎn)品在自然狀態(tài)下高速精密測量。具體地，實現(xiàn)四種TFT產(chǎn)品平面度自動高速測量，可共用13-15寸TFT產(chǎn)品(產(chǎn)品材質為透明材料)，重復測量精度可達到5um，測量點位68個，C/T僅為25S。

附圖說明

下面結合附圖對本發(fā)明做進一步的說明：

圖1為本發(fā)明一種平面度檢測裝置的立體圖；

圖2為本發(fā)明一種平面度檢測裝置的主視圖；

圖3為圖2的俯視圖。

圖中符號說明：

10、夾取機構；11、載具；12、第一初限位塊；13、第二初限位塊；14、第三初限位塊；15、第一定位柱；16、第二定位柱；17、第三定位柱；

20、激光傳感器；

30、X向運動模組；

40、Y向運動模組；

50、大理石平臺；

71、第一CCD相機；72、第二CCD相機；73、條形光源。

具體實施方式

如圖1，一種平面度檢測裝置，包括夾取機構10、位于夾取機構上方的激光傳感器20。

如圖1，所述激光傳感器20優(yōu)選為鐳射頭，安裝在X向運動模組30上，X向運動模組30安裝在Y向運動模組40上，X向運動模組30和Y向運動模組40均采用伺服電機驅動的絲桿機構。

所述Y向運動模組40和夾取機構安裝在大理石平臺50上，大理石平臺底部設有空氣緩沖墊，空氣緩沖墊的數(shù)量優(yōu)選為四個，分布在大理石平臺的四角外，空氣緩沖墊安裝在底座上，底座的底部設有滾輪。

如圖3，所述夾取機構10包括安裝在載具11左側邊緣的第一初限位塊12和第二初限位塊13、安裝在載具后側邊緣的第三初限位塊14、安裝在載具右側邊緣的第一定位柱15和第二定位柱16、安裝在載具前側邊緣的第三定位柱17。

如圖1，夾取機構10的載具11開設第一豁口和第二豁口，第一豁口和第二豁口對角設置；載具的下方設有第一CCD相機71和第二CCD相機72，第一CCD相機位于第一豁口處，第二CCD相機位于第二豁口處。所述第一CCD相機71和第二CCD相機72的上方分別設有條形光源73。

整個平面度檢測裝置安裝在殼體內(nèi)，殼體上設有顯示器，殼體頂部設有三色燈，所述激光傳感器20、X向運動模組30和Y向運動模組40的伺服控制系統(tǒng)、第一CCD相機71和第二CCD相機72、顯示器、三色燈均與控制主機電連接。

實際操作中，本發(fā)明所述一種平面度檢測裝置的工作流程：

第一，產(chǎn)品每次放置都由第一初限位塊12、第二初限位塊13、第三初限位塊14初定位，靠在第一定位柱15、第二定位柱16、第三定位柱17上，保證放置位置具有重復性；

第二，使用第一CCD相機71和第二CCD相機72檢測產(chǎn)品位置，將TFT產(chǎn)品位置信息傳遞給X向運動模組30、Y向運動模組40的伺服控制系統(tǒng)，X向運動模組、Y向運動模組的伺服控制系統(tǒng)再帶著高速、高精度激光傳感器20到需要測量點位采集數(shù)據(jù)；

第三，使用高速、高精度激光傳感器20采集N個點位高度數(shù)據(jù)，使用最小二乘法計算產(chǎn)品平面度；

第四，測量結果由顯示器顯示PASS或NG，測量NG的產(chǎn)品，三色燈報警以及閃紅燈。

以上內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實施方式，對于本領域的普通技術人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，本說明書內(nèi)容不應理解為對本發(fā)明的限制。