技術(shù)總結(jié)
一種平面度檢測(cè)裝置，包括夾取機(jī)構(gòu)、位于夾取機(jī)構(gòu)上方的激光傳感器，所述激光傳感器安裝在X向運(yùn)動(dòng)模組和Y向運(yùn)動(dòng)模組上；所述夾取機(jī)構(gòu)、X向運(yùn)動(dòng)模組和Y向運(yùn)動(dòng)模組安裝在大理石平臺(tái)上，大理石平臺(tái)底部設(shè)有空氣緩沖墊，配合伺服電機(jī)的加減速來(lái)降低測(cè)量系統(tǒng)的震動(dòng)；待測(cè)TFT定位在夾取機(jī)構(gòu)上，X向運(yùn)動(dòng)模組、Y向運(yùn)動(dòng)模組帶著高速、高精度激光傳感器到需要測(cè)量點(diǎn)位采集數(shù)據(jù)，使用激光傳感器采集N個(gè)點(diǎn)位高度數(shù)據(jù)，使用最小二乘法計(jì)算產(chǎn)品平面度。

技術(shù)研發(fā)人員：呂紹林;馬金勇;孫衛(wèi)東;劉歡;陳天瑞;林建東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州博眾精工科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610767220
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.30
技術(shù)公布日：2016.11.23