技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種Co摻雜的TiO2納米管陣列薄膜的H2S氣敏傳感器及其制備方法，屬于電子氣敏器件技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以陽極氧化法制備二氧化鈦納米管陣列，并對其進(jìn)行過渡金屬摻雜，無需對其進(jìn)行二次處理，即可獲得完整透明的二氧化鈦納米管陣列薄膜，并利用該薄膜制備納米氣敏傳感器，該傳感器對硫化氫氣體有良好的靈敏性及選擇性。該制備工藝簡單，所制得的傳感器對硫化氫氣體的選擇性高、響應(yīng)/恢復(fù)時間短，并實現(xiàn)了氣敏傳感器的器件化，具有市場發(fā)展前景。

技術(shù)研發(fā)人員：沈文浩;童欣;陳小泉
受保護的技術(shù)使用者：華南理工大學(xué)
文檔號碼：201611102493
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.05
技術(shù)公布日：2017.05.10