本發(fā)明涉及矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具及方法。

背景技術(shù)：

目前，干蝕刻機(jī)臺(Dry Etcher)被廣泛地應(yīng)用于玻璃基板的加工制作過程中，玻璃基板是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶體管液晶顯示器)面板的一個(gè)重要組成部分。

首先，玻璃基板經(jīng)過傳送腔體并被傳送到干蝕刻機(jī)臺的工藝腔室中，玻璃基板在干蝕刻機(jī)臺的工藝腔室(Process Chamber)中進(jìn)行蝕刻加工；玻璃基板在工藝腔室中制程完畢之后，再被運(yùn)行載體傳回至干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體中，一般在干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的頂面的兩側(cè)各設(shè)置一個(gè)掃描傳感器，當(dāng)玻璃基板經(jīng)過掃描傳感器的掃描區(qū)域時(shí)，通過掃描傳感器檢測制程完畢之后的該玻璃基板是否有破損，比如檢測玻璃基板是否存在缺角。掃描傳感器有時(shí)會出現(xiàn)檢測不準(zhǔn)的現(xiàn)象，所以需要經(jīng)常檢查掃描傳感器的檢測結(jié)果是否準(zhǔn)確，以及進(jìn)行矯正。

傳統(tǒng)的矯正方法是利用玻璃基板對掃描傳感器進(jìn)行調(diào)整，這種方法存在以下兩個(gè)缺點(diǎn)：一是易于造成玻璃基板的損壞，從而造成材料的嚴(yán)重浪費(fèi)；二是采用玻璃基板進(jìn)行調(diào)整時(shí)，手動(dòng)取放玻璃基板耗時(shí)長，影響干蝕刻機(jī)臺的正常作業(yè)時(shí)間。

基于上述原因，有必要提供一種用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具及方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具及方法，該檢測治具的透明檢測板采用強(qiáng)度較大的亞克力板制作，不會發(fā)生破損，且尺寸較小，便于搬運(yùn)和安裝，對干蝕刻機(jī)臺的矯正不會占用太多干蝕刻機(jī)臺的工作時(shí)間。解決現(xiàn)有技術(shù)中采用玻璃基板對干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器進(jìn)行矯正容易造成玻璃基板的破損以及影響作業(yè)時(shí)間的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的一方面是，提供一種用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的治具，該檢測治具包括進(jìn)出干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的檢測載體，以及安裝在該檢測載體上的透明檢測板，該透明檢測板的材質(zhì)是亞克力板，且該透明檢測板的結(jié)構(gòu)尺寸和在該檢測載體上的安裝位置與干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體上方的掃描傳感器的掃描區(qū)域相適配。

在本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具的另一個(gè)實(shí)施例中，該檢測載體是安裝在干蝕刻機(jī)臺的驅(qū)動(dòng)裝置上的用于作為承載玻璃基板在干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體中移動(dòng)的運(yùn)行載體。

在本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具的另一個(gè)實(shí)施例中，該運(yùn)行載體包括均勻分布的多個(gè)分支臂，該透明檢測板卡接在該運(yùn)行載體的外側(cè)的分支臂上，該透明檢測板的外邊緣到該外側(cè)的分支臂的距離與玻璃基板放置在該運(yùn)行載體的外邊緣到該外側(cè)的分支臂的距離相同。

在本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具的另一個(gè)實(shí)施例中，該透明檢測板的一側(cè)邊緣設(shè)置用于將該透明檢測板卡接在該運(yùn)行載體上的卡接結(jié)構(gòu)。

在本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具的另一個(gè)實(shí)施例中，該卡接結(jié)構(gòu)是與該運(yùn)行載體的外側(cè)的分支臂相匹配的卡槽，該卡槽由兩個(gè)間隔垂直于該透明檢測板的表面設(shè)置的側(cè)板構(gòu)成，兩個(gè)該側(cè)板與該透明檢測板一體成型設(shè)置。

在本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具的另一個(gè)實(shí)施例中，該檢測治具的兩個(gè)該側(cè)板的遠(yuǎn)離該透明檢測板的那一邊設(shè)置有倒鉤。

在本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具的另一個(gè)實(shí)施例中，該透明檢測板的長度小于干蝕刻機(jī)臺所檢測的玻璃基板的長度。

在本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具的另一個(gè)實(shí)施例中，該透明檢測板的厚度為1mm，該透明檢測板的寬度范圍是100mm～300mm，其長度范圍是300mm～500mm。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的另一方面是，提供一種該的檢測治具對干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器進(jìn)行矯正，具體包括以下步驟：

將該運(yùn)行載體安裝在干蝕刻機(jī)臺的驅(qū)動(dòng)裝置上，并將該透明檢測板卡接在該運(yùn)行載體上，操作干蝕刻機(jī)臺的驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)該運(yùn)行載體移動(dòng)，使該透明檢測板逐漸移動(dòng)并通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域；

在該透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域之前，干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器產(chǎn)生第一信號值A(chǔ)，并且通過干蝕刻機(jī)臺的控制器記錄該第一信號值A(chǔ)；在該透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域時(shí)，干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器產(chǎn)生第二信號值B，并且通過干蝕刻機(jī)臺的控制器記錄該第二信號值B；

將該第一信號值A(chǔ)以及該第二信號值B與通過干蝕刻機(jī)臺的控制器設(shè)定的參考值C進(jìn)行比對，

如果該第一信號值A(chǔ)大于該參考值C且該參考值C大于該第二信號值B，則該掃描傳感器正常，

如果不滿足該第一信號值A(chǔ)大于該參考值C且該參考值C大于該第二信號值B，則至少采取以下措施中的一種對干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器進(jìn)行矯正至正常：檢查干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體頂面的透明板、干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體內(nèi)部的反光板，以及干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體上方的發(fā)光源的表面是否有臟污，如果有臟污，則清理干凈；更換干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器；調(diào)整該發(fā)光源與該反光板之間的角度；對該參考值C進(jìn)行重新設(shè)定。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明提供的用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具包括進(jìn)出干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的檢測載體，以及安裝在檢測載體上的透明檢測板，該透明檢測板采用亞克力板制作，且透明檢測板的結(jié)構(gòu)尺寸和在檢測載體上的安裝位置與干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體上方的掃描傳感器的掃描區(qū)域相適配。通過用透明檢測板代替?zhèn)鹘y(tǒng)的玻璃基板矯正掃描傳感器，有效避免了玻璃基板的損壞，同時(shí)也縮短矯正時(shí)間，避免耽誤干蝕刻機(jī)臺的正常作業(yè)。通過比對透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域之前掃描傳感器產(chǎn)生的第一信號值A(chǔ)、透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域時(shí)掃描傳感器產(chǎn)生的第二信號值B，以及干蝕刻機(jī)臺的控制器設(shè)定的參考值C，能夠有效判別掃描傳感器是否需要矯正，并能夠簡化矯正過程，縮短矯正時(shí)間。

附圖說明

圖1是玻璃基板放置在干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體上的示意圖；

圖2是干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體帶動(dòng)玻璃基板進(jìn)入干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的示意圖；

圖3是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1的示意圖；

圖4是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1中的檢測治具進(jìn)入干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的示意圖；

圖5是圖4中的A部放大圖；

圖6是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1中的透明檢測板的立體圖；

圖7是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1中透明檢測板在運(yùn)行載體上的另一種布置方式的示意圖；

圖8是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例2中透明檢測板的立體圖；

圖9是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例3的示意圖；

圖10是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測方法的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

為了便于理解本發(fā)明，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的說明。附圖中給出了本發(fā)明的較佳的實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本說明書所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對本發(fā)明的公開內(nèi)容的理解更加透徹全面。

需要說明的是，除非另有定義，本說明書所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是用于限制本發(fā)明。

請參閱圖1和圖2所示，目前的方法是：選取1片玻璃基板放于干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體上，手動(dòng)操作運(yùn)行載體進(jìn)入以及退出干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體，由此來判斷掃描傳感器的檢測結(jié)果是否準(zhǔn)確，以及進(jìn)行矯正。如圖1所示，干蝕刻機(jī)臺的驅(qū)動(dòng)裝置1前端設(shè)置運(yùn)行載體2，運(yùn)行載體2由四根長條狀的分支臂201組成，分支臂201的長度L21為2396mm，分支臂201的寬度W22為60mm，選取一塊玻璃基板3對掃描傳感器進(jìn)行調(diào)整，其中，玻璃基板3的長度L31為1850mm，玻璃基板3的寬度W32為1500mm，玻璃基板3的邊緣距離最近的分支臂201的距離M33為170mm，分支臂201上設(shè)置O型圈203，O型圈203是軟性的橡膠材質(zhì)，在O型圈203的作用下，玻璃基板3與分支臂201軟接觸，運(yùn)行載體2的動(dòng)作帶動(dòng)玻璃基板3進(jìn)入干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體中，并通過掃描傳感器的掃描區(qū)域，掃描傳感器對玻璃基板3的邊緣進(jìn)行檢測，根據(jù)檢測結(jié)果，判斷是否需要矯正。

如圖2所示，掃描傳感器5設(shè)置在干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體4的上方，傳送腔體4的頂面401上還設(shè)置有發(fā)光源6，頂面401是透明的，發(fā)光源6發(fā)出的檢測光可以穿過頂面401，傳送腔體4中設(shè)置有反光板7，用于將發(fā)光源6發(fā)出的光反射到掃描傳感器5。

當(dāng)檢測玻璃基板3時(shí)，將玻璃基板3放置在干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體2的四根長條狀分支臂201上，玻璃基板3在干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體2的帶動(dòng)下進(jìn)入干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體4中，發(fā)光源6發(fā)出的檢測光依次透過傳送腔體4的頂面401和玻璃基板3照射到反光板7上，而后被反光板7反射，掃描傳感器5實(shí)際感應(yīng)的是反光板7反射回來的光線并得到對反射光線的檢測信號值。

目前，在商業(yè)上應(yīng)用的玻璃基板，其主要厚度為0.7mm及0.6mm，且即將邁入更薄(如0.4mm)厚度之制程。由于玻璃基板3非常薄，且其面積越做越大，玻璃基板3很容易損壞，采用玻璃基板對掃描傳感器進(jìn)行矯正調(diào)整需要將玻璃基板搬來搬去，并且傳送腔體的空間有限，而玻璃基板面積較大，取一整片玻璃基板放置在傳送腔體中容易造成磕碰，所以整個(gè)矯正調(diào)整過程很容易使玻璃基板損壞。

實(shí)施例1

請一并參閱圖3至圖7，圖3是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1的示意圖，圖4是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1中的檢測治具進(jìn)入干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的示意圖，圖5是圖4中的A部放大圖，圖6是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1中的透明檢測板的立體圖，圖7是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例1中透明檢測板在運(yùn)行載體上的另一種布置方式的示意圖。

該用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具包括進(jìn)出干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的檢測載體，以及安裝在檢測載體上的透明檢測板8，透明檢測板8采用亞克力板制作。

如圖3所示，本實(shí)施例中采用干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體2作為檢測治具的檢測載體，這樣，運(yùn)行載體2包括均勻分布的多個(gè)分支臂201，透明檢測板8卡接在運(yùn)行載體2的外側(cè)的分支臂上，運(yùn)行載體2帶動(dòng)透明檢測板8沿圖3中的X方向傳送。采用干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體2代替檢測載體，使該治具不需另外設(shè)置檢測載體。

透明檢測板8的材質(zhì)是亞克力板，亞克力板的透光度與玻璃基板接近，所以采用該檢測治具對掃描傳感器進(jìn)行矯正時(shí)，透明檢測板8的透光率接近玻璃基板的透光率，且亞克力板強(qiáng)度好，不易損壞。

如圖4所示，透明檢測板8的結(jié)構(gòu)尺寸和在運(yùn)行載體2上的安裝位置與干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體4上方的掃描傳感器5的掃描區(qū)域相適配，即透明檢測板8進(jìn)入干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體4中必須經(jīng)過掃描傳感器5的掃描區(qū)域。如圖5所示，透明檢測板8的外邊緣到運(yùn)行載體2外側(cè)的分支臂201的距離W2與圖1中玻璃基板3放置在運(yùn)行載體2的邊緣到外側(cè)的分支臂201的距離303相同，這樣，對掃描傳感器5進(jìn)行矯正時(shí)，透明檢測板8與掃描傳感器5之間的位置關(guān)系模擬玻璃基板3與掃描傳感器5的位置關(guān)系，而透明檢測板8的厚度和透明度與玻璃基板相近，所以，采用該治具矯正后，掃描傳感器能夠準(zhǔn)確檢測玻璃基板。

用干蝕刻機(jī)臺的運(yùn)行載體2替代檢測載體是優(yōu)選的方案，在其他實(shí)施例中，檢測載體可以設(shè)置為其他的形狀或者結(jié)構(gòu)，只要檢測載體能夠帶動(dòng)透明檢測板8進(jìn)出干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體即可。使用另外制作的其他類型的檢測載體也能夠滿足對掃描傳感器5進(jìn)行矯正的要求，比如僅僅設(shè)置一根與檢測載體的分支臂201結(jié)構(gòu)相同的構(gòu)件作為檢測載體。

如圖6所示，透明檢測板8的一側(cè)邊緣設(shè)置用于將透明檢測板8卡接在運(yùn)行載體2上的卡接結(jié)構(gòu)，該卡接結(jié)構(gòu)是與運(yùn)行載體2的分支臂201相匹配的卡槽801，卡槽801由兩個(gè)間隔垂直于透明檢測板8的表面設(shè)置的側(cè)板10構(gòu)成，兩個(gè)側(cè)板10相互平行，卡槽801用于將透明檢測板8水平卡設(shè)在檢測治具的運(yùn)行載體2上。兩個(gè)側(cè)板10與透明檢測板8一體成型設(shè)置，這樣結(jié)構(gòu)上比較緊固，不會輕易發(fā)生透明檢測板8與側(cè)板10之間的破裂。

需要說明的是，卡槽801與透明檢測板8之間的關(guān)系不限于圖6所示的方式，只要卡槽801與透明檢測板8的連接關(guān)系和位置關(guān)系能夠?qū)⑼该鳈z測板8卡設(shè)在檢測治具的運(yùn)行載體上，并且使透明檢測板8保持水平即可滿足要求，比如，在其他實(shí)施例中，卡槽801的底面與透明檢測板8保持垂直，卡槽801卡設(shè)在運(yùn)行載體的高度方向上，這樣設(shè)置也可以使透明檢測板8保持水平。

使透明檢測板8保持水平的目的是模擬玻璃基板在運(yùn)行載體2上的放置方法，玻璃基板在檢測是否有破損之前是水平放置在運(yùn)行載體2上，所以在對傳感器進(jìn)行檢測時(shí)也要模擬這種放置狀態(tài)。

如圖5所示，透明檢測板8的長度D的范圍是300mm～500mm，如圖6所示，卡槽801的寬度W1與分支臂201的寬度均為60mm。

如圖7所示，為了能夠同時(shí)對傳送腔體4上方的兩個(gè)掃描傳感器5進(jìn)行矯正，可在運(yùn)行載體2的兩側(cè)的分支臂201上分別安裝一塊透明檢測板8。

該治具通過用透明檢測板代替?zhèn)鹘y(tǒng)的玻璃基板矯正掃描傳感器，有效避免了玻璃基板的損壞，同時(shí)也縮短矯正時(shí)間，避免耽誤干蝕刻機(jī)臺的正常作業(yè)。

實(shí)施例2

請參閱圖8，圖8是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例2中透明檢測板的立體圖。本實(shí)施例中，檢測治具的兩個(gè)側(cè)板10的遠(yuǎn)離透明檢測板8的那一邊設(shè)置有倒鉤11，設(shè)置倒鉤11的目的是使卡槽801卡設(shè)在檢測治具的運(yùn)行載體時(shí)更加緊固，保證透明檢測板8的水平設(shè)置，這種結(jié)構(gòu)類型的透明檢測板需要由運(yùn)行載體的分支臂的端部套設(shè)，并可以將透明檢測板8倒掛在檢測治具的運(yùn)行載體上。

實(shí)施例3

請參閱圖9，圖9是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測治具實(shí)施例3的示意圖。本實(shí)施例中，透明檢測板8的長度小于干蝕刻機(jī)臺所檢測的玻璃基板的長度，干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器對玻璃基板進(jìn)行檢測時(shí)，玻璃基板基本覆蓋整個(gè)運(yùn)行載體2，也就是4跟分支臂201都在玻璃基板的下方，但透明檢測板8僅為玻璃基板面積的1/50左右，透明檢測板8的寬度W3的范圍是100mm～300mm，其長度W4的范圍是300mm～500mm，透明檢測板8的厚度為1mm，透明檢測板的面積小，便于拿取，矯正十分方便。透明檢測板8優(yōu)選為長方體形，透明檢測板8模擬玻璃基板，其表面平整光滑，且厚度較小。

本發(fā)明還提供一種采用上述檢測治具對干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器進(jìn)行矯正的方法，請參閱圖10，圖10是本發(fā)明用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的檢測方法的流程示意圖，該方法的具體步驟如下：

步驟S1，將運(yùn)行載體安裝在干蝕刻機(jī)臺的驅(qū)動(dòng)裝置上，并將透明檢測板卡接在運(yùn)行載體上，操作干蝕刻機(jī)臺的驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)運(yùn)行載體移動(dòng)，使透明檢測板逐漸移動(dòng)并通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域。

步驟S2，在透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域之前，干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器產(chǎn)生第一信號值A(chǔ)，在透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域時(shí)，干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器產(chǎn)生第二信號值B。詳細(xì)而言，在透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域之前，干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器產(chǎn)生第一信號值A(chǔ)，此時(shí)，發(fā)光源的光線僅通過反光板反射到達(dá)掃描傳感器，所以掃描傳感器的光感值較大，即第一信號值A(chǔ)較大，然后通過干蝕刻機(jī)臺的控制器記錄第一信號值A(chǔ)；在透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域時(shí)，干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器產(chǎn)生第二信號值B，此時(shí)，發(fā)光源的光線需要通過透明檢測版，然后再由反光板反射光線到達(dá)掃描傳感器，所以掃描傳感器的光感值較小，即第二信號值B較小，通過干蝕刻機(jī)臺的控制器記錄第二信號值B。

步驟S3，將第一信號值A(chǔ)以及第二信號值B與干蝕刻機(jī)臺的控制器預(yù)設(shè)的參考值C進(jìn)行比對，并判斷是否滿足A>C>B。如果A>C>B，則掃描傳感器正常，否則，若A小于等于C，和/或C小于等于B，則掃描傳感器異常。

請參閱表1，表1是使用上述檢測治具對不同掃描傳感器進(jìn)行矯正所記錄的參數(shù)值。

第一信號值A(chǔ)和第二信號值B代表的是掃描傳感器的感光值，在透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域之前，干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體上方的發(fā)光源發(fā)出的光傳送到掃描傳感器會少一道阻礙，所以此時(shí)掃描傳感器的感光值第一信號值A(chǔ)最大，而在透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域時(shí)，干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體上方的發(fā)光源發(fā)出的光傳送到掃描傳感器就會多一道阻礙，所以此時(shí)掃描傳感器的感光值第而信號值B最小。但是掃描傳感器的感光值不能太大或者太小，否則不能正常檢測玻璃基板是否存在缺角等缺陷，所以要設(shè)定一個(gè)參考值C作為參考。第一信號值A(chǔ)即在沒有玻璃基板時(shí)掃描傳感器的感應(yīng)值的大小，A值的范圍一般在2500-3500之間，參考值C比第一信號值A(chǔ)小300-400，所以參考值C的范圍是2100-3200。

表1

由表1可以看出，在對不同掃描傳感器進(jìn)行矯正時(shí)，6組數(shù)據(jù)都滿足第一信號值A(chǔ)大于參考值C且參考值C大于第二信號值B，說明這些掃描傳感器正常。

如果掃描傳感器異常，則至少采取以下措施中的一種對干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器進(jìn)行矯正至正常：檢查干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體頂面的透明板、干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體內(nèi)部的反光板，以及干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體上方的發(fā)光源的表面是否有臟污，如果有臟污，則清理干凈；更換干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器；調(diào)整發(fā)光源與反光板之間的角度；對參考值C進(jìn)行重新設(shè)定。

基于以上實(shí)施例，本發(fā)明提供的用于矯正干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的治具包括進(jìn)出干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體的運(yùn)行載體，以及安裝在運(yùn)行載體上的透明檢測板，該透明檢測板采用亞克力板制作，透明檢測板的結(jié)構(gòu)尺寸和在運(yùn)行載體上的安裝位置與干蝕刻機(jī)臺的傳送腔體上方的掃描傳感器的掃描區(qū)域相適配。通過用透明檢測板代替?zhèn)鹘y(tǒng)的玻璃基板矯正掃描傳感器，有效避免了玻璃基板的損壞，同時(shí)也縮短矯正時(shí)間，避免耽誤干蝕刻機(jī)臺的正常作業(yè)。通過比對透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域之前掃描傳感器產(chǎn)生的第一信號值A(chǔ)、透明檢測板通過干蝕刻機(jī)臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域時(shí)掃描傳感器產(chǎn)生的第二信號值B，以及干蝕刻機(jī)臺的控制器設(shè)定的參考值C，能夠有效判別掃描傳感器是否需要矯正，并能夠簡化矯正過程，縮短矯正時(shí)間。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。