1.一種用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述檢測治具包括進出干蝕刻機臺的傳送腔體的檢測載體，以及安裝在所述檢測載體上的透明檢測板，所述透明檢測板的材質(zhì)是亞克力板，所述透明檢測板的結(jié)構(gòu)尺寸和在所述檢測載體上的安裝位置與所述干蝕刻機臺的傳送腔體上方的掃描傳感器的掃描區(qū)域相適配。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述檢測載體是安裝在干蝕刻機臺的驅(qū)動裝置上的用于作為承載玻璃基板在干蝕刻機臺的傳送腔體中移動的運行載體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述運行載體包括均勻分布的多個分支臂，所述透明檢測板卡接在所述運行載體的外側(cè)的分支臂上，所述透明檢測板的外邊緣到所述外側(cè)的分支臂的距離與玻璃基板放置在所述運行載體的外邊緣到所述外側(cè)的分支臂的距離相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述透明檢測板的一側(cè)邊緣設(shè)置用于將所述透明檢測板卡接在所述運行載體上的卡接結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述卡接結(jié)構(gòu)是與所述運行載體的外側(cè)的分支臂相匹配的卡槽，所述卡槽由垂直于所述透明檢測板的表面間隔設(shè)置的兩個側(cè)板構(gòu)成，所述側(cè)板與所述透明檢測板一體成型。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述檢測治具的兩個所述側(cè)板的底邊設(shè)置有倒鉤。
7.根據(jù)權(quán)利要求2至6任一項所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述透明檢測板的長度小于干蝕刻機臺所檢測的玻璃基板的長度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的檢測治具，其特征在于，所述透明檢測板的厚度為1mm，寬度范圍是100mm～300mm，長度范圍是300mm～500mm。
9.一種用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的方法，其特征在于，所述方法利用權(quán)利要求8所述的檢測治具對干蝕刻機臺的掃描傳感器進行矯正，具體包括以下步驟：
將所述透明檢測板卡接在所述干蝕刻機臺的所述運行載體上，操作干蝕刻機臺的驅(qū)動裝置帶動所述運行載體移動，使所述透明檢測板通過所述干蝕刻機臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域；
在所述透明檢測板通過干蝕刻機臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域之前，干蝕刻機臺的掃描傳感器產(chǎn)生第一信號值A(chǔ)，并且通過干蝕刻機臺的控制器記錄所述第一信號值A(chǔ)；在所述透明檢測板通過干蝕刻機臺的掃描傳感器的掃描區(qū)域時，干蝕刻機臺的掃描傳感器產(chǎn)生第二信號值B，并且通過干蝕刻機臺的控制器記錄所述第二信號值B；
將所述第一信號值A(chǔ)以及所述第二信號值B與干蝕刻機臺的控制器設(shè)定的參考值C進行比對，如果A>C>B，則所述掃描傳感器正常，否則，若A小于等于C，和/或C小于等于B，則所述掃描傳感器異常。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于矯正干蝕刻機臺的掃描傳感器的方法，其特征在于，若所述掃描傳感器異常，則至少采取以下措施中的一種對干蝕刻機臺的掃描傳感器進行矯正：
檢查所述干蝕刻機臺的傳送腔體頂面的透明板、干蝕刻機臺的傳送腔體內(nèi)部的反光板，以及干蝕刻機臺的傳送腔體上方的發(fā)光源的表面是否有臟污，如果有臟污，則清理干凈；
更換干蝕刻機臺的掃描傳感器；
調(diào)整所述發(fā)光源與所述反光板之間的角度；
對所述參考值C進行重新設(shè)定。