1.一種IGBT及FRD芯片動態(tài)測試夾具,其特征是:在殼體(20)內(nèi)固定有隔板(19),在隔板(19)上開設(shè)有抽氣口,在隔板(19)上設(shè)有芯片吸腔(4),在芯片吸腔(4)的上腔板上開設(shè)有負(fù)壓吸口,隔板(19)上方的殼體(20)上安裝有惰性氣體輸入接口(11)、惰性氣體輸出接口(12)與負(fù)母排端口(15),在芯片吸腔(4)上方設(shè)有可插拔測試探針(5)與柵極測試探針(7),可插拔測試探針(5)的連接線從負(fù)母排端口(15)接出,在隔板(19)下方的殼體(20)上安裝有抽氣管(18)、正母排端口(14)與通訊控制保護(hù)接口(13),正母排端口(14)的連接線接在芯片吸腔(4)的上腔板上,抽氣管(18)通過抽氣口與芯片吸腔(4)相連,在隔板(19)下方的殼體(20)內(nèi)設(shè)有驅(qū)動板(3),驅(qū)動板(3)與柵極測試探針(7)相連,由驅(qū)動板(3)的平移帶動?xùn)艠O測試探針(7)的平移,在隔板(19)下方設(shè)有陪測功率器件(2),在陪測功率器件(2)上安裝有第一負(fù)載電感插孔(16.1)與第二負(fù)載電感插孔(16.2)。
2.如權(quán)利要求1所述的IGBT及FRD芯片動態(tài)測試夾具,其特征是:在所述芯片吸腔4上方設(shè)有第一可調(diào)刻度盤(9)、長度可調(diào)刻度桿(8)與連接桿(17),長度可調(diào)刻度桿(8)的上端部安裝在第一可調(diào)刻度盤(9)上,連接桿(17)轉(zhuǎn)動安裝在長度可調(diào)刻度桿(8)的下端部,可插拔測試探針(5)安裝在連接桿(17)的下端部。
3.如權(quán)利要求1所述的IGBT及FRD芯片動態(tài)測試夾具,其特征是:在所述隔板(19)上方的殼體(20)內(nèi)設(shè)有第二可調(diào)刻度盤(10),柵極測試探針(7)與第二可調(diào)刻度盤(10)相連,第二可調(diào)刻度盤(10)與驅(qū)動板(3)相連。