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      編碼器、編碼器的制造方法、伺服系統(tǒng)的制作方法_5

      文檔序號:8303299閱讀:來源:國知局
      編碼器100是作為固定側(cè)的磁檢測部120不經(jīng)由軸承而相對于作為旋轉(zhuǎn)側(cè)的被檢測體170、盤110和輪轂160固定的所謂的“內(nèi)部式”編碼器。在該類型的編碼器中,盤110經(jīng)由輪轂160直接與軸SH連結(jié),因此,與固定側(cè)經(jīng)由軸承相對于旋轉(zhuǎn)側(cè)固定的所謂的“整體式”編碼器相比,能夠?qū)崿F(xiàn)小型化,但是,存在被檢測體170的磁化部172容易受到軸SH中產(chǎn)生的熱的影響的課題。因此,在本實施方式中,在“內(nèi)部式”編碼器中,通過在輪轂160與被檢測體170的磁化部172之間插裝導熱率較小的玻璃制的盤110,在被檢測體170和軸SH接近的“內(nèi)部式”編碼器中,也能夠抑制從輪轂160向被檢測體170的磁化部172傳熱。因此,能夠?qū)崿F(xiàn)能夠高精度地檢測多旋轉(zhuǎn)量的“內(nèi)部式”編碼器。
      [0127]并且,在本實施方式中,特別是能夠得到如下效果。S卩,在磁化裝置200中,配置在下方的磁軛220與配置在上方的背軛110之間配置作為磁鐵原料的未磁化的被檢測體170進行磁化。通常,具有這樣制造出的磁化部172的被檢測體170在保持上下方向的朝向的狀態(tài)下固定在盤110的上表面IlOA上。保持上下方向的朝向是因為,假設在變更上下方向的朝向的情況下,新需要顛倒被檢測體170的步驟,制造步驟和制造裝置復雜化,并且,需要作業(yè)者判別被檢測體170的正反,作業(yè)順序也復雜化。其結(jié)果是,與磁軛210側(cè)的表面相比,磁通密度較小的背軛210側(cè)的表面位于上側(cè),因此,在磁化部172退磁的情況下,磁檢測部120在多旋轉(zhuǎn)的檢測中無法得到充分的磁通,檢測精度可能降低。
      [0128]這里,在本實施方式中,編碼器100是具有對盤110照射光的光源131以及接收來自盤110上形成的反射縫的反射光的受光元件的所謂的“反射式”編碼器。與所謂的“透射式”編碼器相比,“反射式”編碼器能夠增大光源131和受光元件與盤110之間的間隙。由此,具有能夠減少由于制造誤差等引起的伴隨盤110旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的間隙變動的影響的優(yōu)點。但是,由于設置在與光源131和受光元件相同的基板16上的磁檢測部120與被檢測體170的磁化部172之間的間隙也增大,因此,需要增大被檢測體170的高度方向(軸向)尺寸,以準確檢測磁場。其結(jié)果是,被檢測體170的上表面170A與下表面170B的磁通密度之差擴大,因此,特別是在“反射式”編碼器的情況下,在磁化部172退磁的情況下,磁檢測部120無法得到充分的磁場的可能性較高,存在檢測精度的降低變得顯著的問題。因此,在本實施方式中,在“反射式”編碼器中,變更被磁化后的被檢測體170的上下方向的朝向,在使磁軛220側(cè)的表面成為上側(cè)、背軛210側(cè)的表面成為下側(cè)后,將被檢測體170固定在盤110上。由此,在被檢測體170的高度方向(軸向)尺寸比較大的“反射式”編碼器中,也能夠抑制由于磁化部172的退磁而導致的檢測精度的降低。因此,能夠?qū)崿F(xiàn)能夠高精度地檢測多旋轉(zhuǎn)量的“反射式”編碼器。
      [0129]另外,為了得到例如該(3-2)中說明的基于磁化部172的上表面170A的磁通密度大于下表面170B的磁通密度等的效果,不限于本實施方式中說明的形成為盤110的貫通孔111的內(nèi)徑尺寸L3大于被檢測體170的貫通孔171的內(nèi)徑尺寸L4的情況。例如,也可以形成為盤110的貫通孔111的內(nèi)徑尺寸L3和被檢測體170的貫通孔171的內(nèi)徑尺寸L4相等。或者,也可以形成為盤110的貫通孔111的內(nèi)徑尺寸L3小于被檢測體170的貫通孔171的內(nèi)徑尺寸L4。
      [0130]并且,為了得到例如該(3-2)中說明的基于磁化部172的上表面170A的磁通密度大于下表面170B的磁通密度等的效果,旋轉(zhuǎn)體R不限于本實施方式中說明的具有分開的輪轂160和盤110的情況。例如,旋轉(zhuǎn)體R也可以由一個部件構(gòu)成。
      [0131]并且,為了得到例如該(3-2)中說明的基于磁化部172的上表面170A的磁通密度大于下表面170B的磁通密度等的效果,不限于本實施方式中說明的階梯差部164的高度尺寸LI構(gòu)成為盤110的厚度尺寸L2的大致一半的情況。例如,階梯差部164的高度尺寸LI也可以構(gòu)成為小于盤110的厚度尺寸L2的一半,還可以構(gòu)成為大于盤110的厚度尺寸L2
      的一半。
      [0132]并且,為了得到例如該(3-2)中說明的基于磁化部172的上表面170A的磁通密度大于下表面170B的磁通密度等的效果,被檢測體170不限于本實施方式中說明的在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場的情況。
      [0133]并且,為了得到例如該(3-2)中說明的基于磁化部172的上表面170A的磁通密度大于下表面170B的磁通密度等的效果,磁阻元件121和磁場檢測元件122不限于本實施方式中說明的在被檢測體170的旋轉(zhuǎn)方向上相互隔開大致90度進行配置的情況。
      [0134]并且,為了得到例如該(3-2)中說明的基于磁化部172的上表面170A的磁通密度大于下表面170B的磁通密度等的效果,磁檢測部120不限于本實施方式中說明的磁阻元件121和磁場檢測元件122各具有一個的情況。
      [0135](3-3.基于在180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部產(chǎn)生磁場等的效果例)
      [0136]并且,在本實施方式的編碼器100中,在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場,在其余的大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)不產(chǎn)生磁場。磁檢測部120在磁化部172產(chǎn)生磁場的大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)檢測該磁場,在其余的大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)不檢測磁場,因此,輸出每當盤110的單次旋轉(zhuǎn)時成為I個周期的信號。計數(shù)器143通過對由磁阻元件121和磁場檢測元件122得到的具有大致90度的相位差的2相信號進行計數(shù),檢測盤110的多旋轉(zhuǎn)量。通過對設置在360度的旋轉(zhuǎn)角度范圍整個區(qū)域內(nèi)的作為磁鐵原料的未磁化的被檢測體170的大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)進行磁化,能夠?qū)崿F(xiàn)這種結(jié)構(gòu)。由此,不需要在未磁化的被檢測體170的整個區(qū)域內(nèi)進行磁化,僅在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)進行磁化即可,因此,能夠簡化磁化步驟,能夠提高生產(chǎn)性。并且,特別是在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)產(chǎn)生磁場的情況下,有無產(chǎn)生磁場的分界線即邊界成為360度的旋轉(zhuǎn)角度中對稱的2個位置B1、B2。由此,根據(jù)O度位置和180度位置的2次的檢測結(jié)果,能夠判定向上向下計數(shù),能夠計算更加準確的旋轉(zhuǎn)次數(shù)(例如,使一方進行向上向下計數(shù),在另一方中進行檢查等)。并且,即使在由于構(gòu)成為在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)產(chǎn)生磁場、在其余的大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)不產(chǎn)生磁場而產(chǎn)生從被檢測體170產(chǎn)生的磁通減少的情況下,特別是在本實施方式中,通過使被檢測體170的磁化部172構(gòu)成為其上表面170A的磁通密度大于其下表面170B的磁通密度,也能夠?qū)ι鲜龃磐p少進行補
      \-ZX O
      [0137]并且,在本實施方式中,特別是磁化部172是在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)被磁化的磁鐵原料。由此,例如將作為磁鐵原料的未磁化的被檢測體172形成為圓環(huán)狀,在360度的旋轉(zhuǎn)角度范圍整個區(qū)域內(nèi)設置被檢測體172,通過僅在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)進行磁化,能夠得到本實施方式的磁化部170。另外,其余的180度的范圍成為未磁化的磁鐵原料。由此,由于僅在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)進行磁化即可,因此,與在被檢測體172的整個區(qū)域內(nèi)進行磁化的情況相比,能夠簡化磁化步驟,能夠提高生產(chǎn)性。并且,由于磁化范圍較窄,因此能夠使磁化裝置200小型化。
      [0138]并且,在本實施方式中,特別是針對檢測磁化部172產(chǎn)生的磁場的一個磁檢測部120使用磁阻元件121。與磁場檢測元件122相比,磁阻元件121的消耗電力較小,因此,能夠延長備用電源的壽命,并且,由于檢測水平方向的磁場,因此,具有不容易受到通過軸SH傳遞的來自制動器等的泄漏磁通的影響的優(yōu)點。
      [0139]這里,一般情況下,在使用磁阻元件檢測在與旋轉(zhuǎn)軸心AX垂直的方向上形成有NS的一對磁極的通常的磁化部產(chǎn)生的磁場的情況下,需要設置偏置磁鐵以檢測磁場的方向。該偏置磁鐵安裝在磁阻元件上形成的磁鐵安裝用凹部中,但是,由于偏置磁鐵和凹部非常小,因此作業(yè)性較差,并且,由于偏置磁鐵價格昂貴,因此存在部件成本升高的問題。因此,當不使用偏置磁鐵而要使用磁阻元件時,由于磁阻元件無法檢測磁場的方向,因此輸出每當盤110的單次旋轉(zhuǎn)時成為2個周期的檢測信號,計數(shù)器143需要2倍的信號處理能力。
      [0140]在本實施方式中,在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場,在其余的大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)不產(chǎn)生磁場。而且,磁阻元件121僅在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)檢測磁場,在其余的大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)不檢測磁場,由此,輸出每當盤110的單次旋轉(zhuǎn)時成為I個周期的信號。由此,即使不使用偏置磁鐵,也能夠得到每當盤110的單次旋轉(zhuǎn)時成為I個周期的信號。因此,可以不需要作業(yè)性較差的偏置磁鐵安裝作業(yè),并且,能夠削減與不需要偏置磁鐵相應的部件成本。
      [0141]并且,在本實施方式中,特別是能夠得到如下效果。即,與磁場檢測元件122相比,磁阻元件121具有消耗電力較小、不容易受到來自制動器等的泄漏磁通的影響的優(yōu)點,但是,具有所需要的設置空間較大、成本較高的缺點。另一方面,與磁阻元件121相比,磁場檢測元件122具有所需要的設置空間較小、成本較低的優(yōu)點,但是,具有消耗電力較大、容易受到泄漏磁通的影響的缺點。因此,在本實施方式中,通過利用磁阻元件121和磁場檢測元件122雙方構(gòu)成磁檢測部120,能夠?qū)崿F(xiàn)使彼此的缺點抵消的磁檢測部120。
      [0142]并且,在本實施方式中,特別是在備用電源供給時對磁阻元件121和A相脈沖生成部141供給電源。由此,A相脈沖生成部141根據(jù)磁阻元件121的輸出而生成A相脈沖信號a。然后,脈沖產(chǎn)生電路144在檢測到A相脈沖信號a的電平變化的情況下,以此為起點在規(guī)定時間寬度內(nèi)對磁場檢測元件122和B相脈沖生成部142供給電源。由此,B相脈沖生成部142生成與A相脈沖信號a具有90度的相位差的B相脈沖信號b。然后,計數(shù)器143根據(jù)A相脈沖信號a和B相脈沖信號b,檢測盤110的多旋轉(zhuǎn)量。通過這樣控制電源供給,能夠大幅縮短針對消耗電力較大的磁場檢測元件122的電力供給時間,能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)電化。因此,能夠延長備用電源的壽命。
      [0143]另外,為了得到例如該(3-3)中說明的基于在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場等的效果,磁化部172不限于本實施方式中說明的上表面170A的磁通密度大于下表面170B的磁通密度的情況。
      [0144]并且,為了得到例如該(3-3)中說明的基于在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場等的效果,不限于本實施方式中說明的被檢測體170以磁化部172的磁軛220側(cè)的表面成為上側(cè)、背軛210側(cè)的表面成為下側(cè)的方式固定在盤110上的情況。
      [0145]并且,為了得到例如該(3-3)中說明的基于在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場等的效果,盤110不限于本實施方式中說明的由玻璃形成的情況。
      [0146]并且,為了得到例如該(3-3)中說明的基于在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場等的效果,不限于本實施方式中說明的形成為盤110的貫通孔111的內(nèi)徑尺寸L3大于被檢測體170的貫通孔171的內(nèi)徑尺寸L4的情況。
      [0147]并且,為了得到例如該(3-3)中說明的基于在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場等的效果,旋轉(zhuǎn)體R不限于本實施方式中說明的具有分開的輪轂160和盤110的情況。
      [0148]并且,為了得到例如該(3-3)中說明的基于在大致180度的旋轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)使磁化部172產(chǎn)生磁場等的效果,不限于本實施方式中說明的階梯差部164的高度尺寸LI構(gòu)成為盤110的厚度尺寸L2的大致一半的情況。
      [0149]另外,以上說明的編碼器100等的效果等只不過是一例,編碼器100等當然能夠發(fā)揮更多效果等。
      [0150]〈4.變形例等〉
      [0151]以上參照附圖對一個實施方式進行了詳細說明。但是,技術(shù)思想范圍當然不限于這里說明的實施方式。顯而
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