差修正部)50向照射光脈沖輸出器14施加偏壓電壓。偏壓電壓賦予部50使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓變化波形顯示器40的修正量導(dǎo)出部418的導(dǎo)出結(jié)果(偏壓電壓修正量AVb)，由此修正被測(cè)定信號(hào)的振幅。被測(cè)定信號(hào)的振幅根據(jù)被測(cè)定光脈沖的振幅進(jìn)行變化，被測(cè)定光脈沖的振幅根據(jù)照射光脈沖的振幅進(jìn)行變化，照射光脈沖的振幅根據(jù)向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓進(jìn)行變化。由此，通過使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓變化，而能夠修正被測(cè)定信號(hào)的振幅。
[0208]波形顯示器40顯示被測(cè)定信號(hào)的波形。
[0209]圖18是表示第五實(shí)施方式的波形顯示器40的結(jié)構(gòu)的功能框圖。第五實(shí)施方式的波形顯示器40具備信號(hào)測(cè)定部42、信號(hào)顯示部43、監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412、振幅測(cè)定部414、基準(zhǔn)振幅記錄部415、測(cè)定振幅記錄部416、修正量導(dǎo)出部418。
[0210]信號(hào)測(cè)定部42接受被測(cè)定信號(hào)和觸發(fā)信號(hào)，測(cè)定以觸發(fā)信號(hào)為基準(zhǔn)的被測(cè)定信號(hào)的輸出時(shí)刻(例如是輸出開始時(shí)刻，只要是從輸出的開始到結(jié)束之間的時(shí)刻即可)。并且，信號(hào)測(cè)定部42與以觸發(fā)信號(hào)為基準(zhǔn)的時(shí)間對(duì)應(yīng)地測(cè)定被測(cè)定信號(hào)的振幅。
[0211]信號(hào)顯示部43顯示信號(hào)測(cè)定部42的測(cè)定結(jié)果。該顯示結(jié)果是被測(cè)定信號(hào)的波形。
[0212]監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412記錄監(jiān)視信號(hào)的振幅與向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。例如即使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓固定，由于光測(cè)定裝置I的周圍的溫度(環(huán)境溫度)等的變化，監(jiān)視信號(hào)的振幅也有時(shí)會(huì)變化。由此，通過將環(huán)境溫度等設(shè)為固定，一邊使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓變化，一邊測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅，能夠取得上述對(duì)應(yīng)關(guān)系。此外，所記錄的對(duì)應(yīng)關(guān)系既可以是向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓和監(jiān)視信號(hào)的振幅的數(shù)據(jù)，也可以是表示向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓和監(jiān)視信號(hào)的振幅之間的關(guān)系的公式。
[0213]圖20是表示監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容的一個(gè)例子的圖。隨著向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓變高，監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm變化(例如單遞增)。此夕卜，在圖20中，用曲線圖示出監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm，但也可以考慮為直線的情況。以下，有時(shí)將向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓簡(jiǎn)單地記載為“偏壓電壓”。
[0214]振幅測(cè)定部414多次測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅。
[0215]測(cè)定振幅記錄部416記錄振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(例如監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm (2)、Vm (3))(參照?qǐng)D 21)。
[0216]基準(zhǔn)振幅記錄部415記錄得到振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(記錄在測(cè)定振幅記錄部416中)的時(shí)刻之前的振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(例如監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm(I) ,Vm(2) ’)(參照?qǐng)D21)。
[0217]例如，測(cè)定振幅記錄部416記錄監(jiān)視信號(hào)的振幅的第二次的測(cè)定結(jié)果Vm(2)，基準(zhǔn)振幅記錄部415記錄監(jiān)視信號(hào)的振幅的第一次的測(cè)定結(jié)果Vm⑴(參照?qǐng)D21 (a))。
[0218]例如，測(cè)定振幅記錄部416記錄監(jiān)視信號(hào)的振幅的第三次的測(cè)定結(jié)果Vm(3)，基準(zhǔn)振幅記錄部415記錄監(jiān)視信號(hào)的振幅的第二次的測(cè)定結(jié)果Vm(2) ’ (參照?qǐng)D21 (b))。
[0219]修正量導(dǎo)出部418根據(jù)監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出用于使振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(測(cè)定振幅記錄部416的記錄內(nèi)容)與得到該測(cè)定結(jié)果的時(shí)刻之前的振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(基準(zhǔn)振幅記錄部415的記錄內(nèi)容)一致的偏壓電壓的修正量AVb。
[0220]例如，修正量導(dǎo)出部418根據(jù)振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(測(cè)定振幅記錄部416的記錄內(nèi)容Vm⑵、Vm(3))、上次的振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(基準(zhǔn)振幅記錄部415的記錄內(nèi)容Vm(I)、Vm⑵’)，導(dǎo)出偏壓電壓的修正量AVb (2)、Λ Vb (3)(參照?qǐng)D21)。
[0221]圖21的實(shí)線的曲線是圖20所示的監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容。圖21的虛線的曲線是監(jiān)視信號(hào)的振幅與實(shí)際的偏壓電壓之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。圖21的虛線的曲線由于環(huán)境溫度等的變動(dòng)而從監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容偏離，但可以看作為形狀與圖21的實(shí)線的曲線相同。
[0222]參照?qǐng)D21(a)，為了使Vm(2)與Vm(I) —致，使偏壓電壓Vb (I)變化AVb (2) ?O)而為Vb (2)即可。
[0223]例如，修正量導(dǎo)出部418根據(jù)振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(測(cè)定振幅記錄部416的記錄內(nèi)容Vm(3))和上次的振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果即偏壓電壓賦予部(振幅誤差修正部)50的修正后的測(cè)定結(jié)果(基準(zhǔn)振幅記錄部415的記錄內(nèi)容Vm(2) ’)，導(dǎo)出偏壓電壓的修正量Δ Vb (3)(參照?qǐng)D21 (b))。
[0224]參照?qǐng)D21(b)，為了使Vm(3)與Vm(2) ’一致，使偏壓電壓Vb⑵變化Δ Vb (3) (>0)而為Vb (3)即可。
[0225]接著，說明第五實(shí)施方式的動(dòng)作。
[0226]圖19是表不第五實(shí)施方式的動(dòng)作的流程圖。圖21是表不修正量導(dǎo)出部418所導(dǎo)出的偏壓電壓的修正量的圖。
[0227]首先，從主激光器11輸出的主激光脈沖經(jīng)由半反射鏡Mll賦予照射光脈沖輸出器14。向照射光脈沖輸出器14施加偏壓電壓Vb (I)。從照射光脈沖輸出器14輸出照射光脈沖。照射光脈沖透過半反射鏡M21進(jìn)而透過被測(cè)定物2成為被測(cè)定光脈沖，賦予被測(cè)定信號(hào)輸出器16。另外，照射光脈沖被半反射鏡M21反射，進(jìn)而被反射鏡M22反射，賦予監(jiān)視信號(hào)輸出器18。
[0228]另外，從從激光器12輸出的從激光脈沖經(jīng)由半反射鏡M12、M23賦予被測(cè)定信號(hào)輸出器16。從激光脈沖透過半反射鏡M12被半反射鏡M23和反射鏡M24反射，賦予監(jiān)視信號(hào)輸出器18。
[0229]從被測(cè)定信號(hào)輸出器16輸出被測(cè)定信號(hào)(是電流信號(hào))，一邊通過第一 I/V放大器22放大，一邊變換為電壓信號(hào)，賦予波形顯不器40。從監(jiān)視信號(hào)輸出器18輸出監(jiān)視信號(hào)(是電流信號(hào))，一邊通過第二 Ι/v放大器24放大，一邊變換為電壓信號(hào)，賦予波形顯示器40。
[0230]此外，主激光脈沖和從激光脈沖被半反射鏡Mil、M12反射，賦予觸發(fā)信號(hào)輸出器32。觸發(fā)信號(hào)輸出器32在同時(shí)接受了主激光脈沖和從激光脈沖的時(shí)刻，輸出觸發(fā)信號(hào)。此夕卜，將觸發(fā)信號(hào)賦予波形顯示器40。
[0231]將被測(cè)定信號(hào)和觸發(fā)信號(hào)賦予信號(hào)測(cè)定部42，將監(jiān)視信號(hào)和觸發(fā)信號(hào)賦予振幅測(cè)定部414。
[0232]在此，振幅測(cè)定部414測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm(I) (S110:第一次的測(cè)定)(參照?qǐng)D21 (a))。此外，假設(shè)測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm(I)測(cè)定時(shí)的環(huán)境溫度等與取得監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容時(shí)的環(huán)境溫度等相等。在該情況下，參照?qǐng)D21 (a)，坐標(biāo)(Vb⑴、Vm(I))位于作為監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容的實(shí)線的曲線上。
[0233]進(jìn)而，信號(hào)測(cè)定部42測(cè)定以觸發(fā)信號(hào)為基準(zhǔn)的被測(cè)定信號(hào)的輸出時(shí)刻(例如輸出開始時(shí)刻)和被測(cè)定信號(hào)的振幅(SI 12:第一次的測(cè)定)。
[0234]將振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果Vm(I)記錄在基準(zhǔn)振幅記錄部415中。通過信號(hào)顯示部43顯示信號(hào)測(cè)定部42的測(cè)定結(jié)果。
[0235]在從被測(cè)定信號(hào)的測(cè)定(S112:第一次的測(cè)定)經(jīng)過了某種程度的時(shí)間后，振幅測(cè)定部414測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm(2) (S122:第二次的測(cè)定)(參照?qǐng)D21 (a))。其中，偏壓電壓Vb (I)保持原樣。
[0236]偏壓電壓Vb⑴保持原樣，但由于環(huán)境溫度等的變動(dòng)，監(jiān)視信號(hào)的振幅從Vm(I)變動(dòng)為Vm(2)。這可以認(rèn)為監(jiān)視信號(hào)的振幅與偏壓電壓之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系從實(shí)線的曲線平行移動(dòng)到虛線的曲線。
[0237]將振幅測(cè)定部414的第二次的測(cè)定結(jié)果Vm⑵記錄在測(cè)定振幅記錄部416中。
[0238]修正量導(dǎo)出部418根據(jù)監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出用于使振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(測(cè)定振幅記錄部416的記錄內(nèi)容Vm(2))與得到該測(cè)定結(jié)果的時(shí)刻之前的振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(基準(zhǔn)振幅記錄部415的記錄內(nèi)容Vm(I)) —致的偏壓電壓的修正量AVb (2) (S124:第二次的測(cè)定)。
[0239]參照?qǐng)D21(a)，如果監(jiān)視信號(hào)的振幅與偏壓電壓之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為虛線的曲線，則如果將偏壓電壓從Vb (I)設(shè)為Vb (2)，則能夠使監(jiān)視信號(hào)的振幅與Vm(I) —致。在此，可以將圖21的虛線的曲線和實(shí)線的曲線看作其形狀相同，因此Vb(2)-Vb(l)與AVb(2)(在實(shí)線的曲線中，為了使監(jiān)視信號(hào)的振幅從Vm(2)變動(dòng)為Vm(I)所需要的偏壓電壓的變動(dòng)量)相等。
[0240]由此，修正量導(dǎo)出部418根據(jù)監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容(圖21(a)的實(shí)線的曲線)、Vm(2)和Vm⑴導(dǎo)出AVb(2)，將導(dǎo)出的AVb⑵作為偏壓電壓的修正量。
[0241]從波形顯示器40的修正量導(dǎo)出部418向偏壓電壓賦予部(振幅誤差修正部)50賦予偏壓電壓的修正量AVb(2)。偏壓電壓賦予部50使偏壓電壓變化偏壓電壓的修正量Δ Vb (2) ο即，偏壓電壓賦予部50將偏壓電壓Vb (I)加上偏壓電壓的修正量AVb (2)，將偏壓電壓設(shè)為Vb⑵(=Vb⑴+ AVb⑵)(S126:第二次的測(cè)定)。
[0242]然后，振幅測(cè)定部414測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm(2) ’ (S127:第二次的測(cè)定)⑵’實(shí)質(zhì)上與Vm(I)相等。將振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果Vm(2) ’記錄在基準(zhǔn)振幅記錄部415中。
[0243]并且，信號(hào)測(cè)定部42測(cè)定以觸發(fā)信號(hào)為基準(zhǔn)的被測(cè)定信號(hào)的輸出時(shí)刻(例如輸出開始時(shí)刻)和被測(cè)定信號(hào)的振幅(S128:第二次的測(cè)定)。針對(duì)通過偏壓電壓賦予部50修正了被測(cè)定信號(hào)的振幅所得的被測(cè)定信號(hào)而得到該被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)定結(jié)果。
[0244]進(jìn)而，在從被測(cè)定信號(hào)的測(cè)定(S128:第二次的測(cè)定)經(jīng)過了某種程度的時(shí)間后，振幅測(cè)定部414測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm(3) (S122:第三次的測(cè)定)(參照?qǐng)D21 (b))。其中，偏壓電壓Vb⑵保持原樣。
[0245]偏壓電壓Vb(2)保持原樣，但由于環(huán)境溫度等的變動(dòng)，監(jiān)視信號(hào)的振幅從Vm(2)’變動(dòng)為Vm(3)?？梢哉J(rèn)為監(jiān)視信號(hào)的振幅與偏壓電壓之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系從虛線的曲線(左側(cè)的)平行移動(dòng)到虛線的曲線(右側(cè)的)。
[0246]將振幅測(cè)定部414的第三次的測(cè)定結(jié)果Vm(3)記錄在測(cè)定振幅記錄部416中。
[0247]修正量導(dǎo)出部418根據(jù)監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出用于使振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(測(cè)定振幅記錄部416的記錄內(nèi)容Vm(3))與得到該測(cè)定結(jié)果的時(shí)刻之前的振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果(基準(zhǔn)振幅記錄部415的記錄內(nèi)容Vm(2)’)一致的偏壓電壓的修正量AVb (3) (S124:第三次的測(cè)定)。
[0248]參照?qǐng)D21(b)，如果監(jiān)視信號(hào)的振幅與偏壓電壓之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為虛線的曲線(右側(cè)的)，則如果將偏壓電壓從Vb (2)設(shè)為Vb (3)，則能夠使監(jiān)視信號(hào)的振幅與Vm(2) ’ 一致。在此，可以將圖21的虛線的曲線和實(shí)線的曲線看作其形狀相同，因此Vb(3)-Vb⑵與AVb (3)(在實(shí)線的曲線中，為了使監(jiān)視信號(hào)的振幅從Vm(3)變動(dòng)為Vm(2)’所需要的偏壓電壓的變動(dòng)量)相等。
[0249]由此，修正量導(dǎo)出部418根據(jù)監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部412的記錄內(nèi)容(圖21(b)的實(shí)線的曲線)、Vm(3)和Vm(2)’導(dǎo)出AVb (3)，將導(dǎo)出的AVb (3)作為偏壓電壓的修正量。
[0250]從波形顯示器40的修正量導(dǎo)出部418向偏壓電壓賦予部(振幅誤差修正部)50賦予偏壓電壓的修正量AVb(3)。偏壓電壓賦予部50使偏壓電壓變化偏壓電壓的修正量Δ Vb (3) ο即，偏壓電壓賦予部50將偏壓電壓Vb (2)加上偏壓電壓的修正量AVb (3)，將偏壓電壓設(shè)為Vb (3) ( = Vb (2)+ AVb (3)) (SI26:第三次的測(cè)定)。
[0251]然后，振幅測(cè)定部414測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅Vm(3) ’ (S127:第三次的測(cè)定)Jm(3) ’實(shí)質(zhì)上與Vm(2) ’相等。Vm(2) ’實(shí)質(zhì)上與Vm(I)相等，因此，Vm(3) ’實(shí)質(zhì)上與Vm(I)相等。將振幅測(cè)定部414的測(cè)定結(jié)果Vm(3) ’記錄在基準(zhǔn)振幅記錄部415中。
[0252]并且，信號(hào)測(cè)定部42測(cè)定以觸發(fā)信號(hào)為基準(zhǔn)的被測(cè)定信號(hào)的輸出時(shí)刻(例如輸出開始時(shí)刻)和被測(cè)定信號(hào)的振幅(S128:第三次的測(cè)定)。針對(duì)通過偏壓電壓賦予部50修正了被測(cè)定信號(hào)的振幅所得的被測(cè)定信號(hào)而得到該被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)定結(jié)果。
[0253]根據(jù)第五實(shí)施方式，通過使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓變化Ab來消除基于太赫茲光(照射光脈沖)等光的被測(cè)定物2的測(cè)定結(jié)果(被測(cè)定信號(hào)的振幅)的由于光測(cè)定裝置I的周圍的溫度(環(huán)境溫度)等的變化造成的誤差，能夠正確地得到被測(cè)定信號(hào)的振幅。
[0254]此外，在第五實(shí)施方式中，通過使偏壓電壓變化AVb來修正被測(cè)定信號(hào)的振幅誤差，但也可以不使偏壓電壓變化而修正振幅誤差。圖26是表示第五實(shí)施方式的的變形例子(不使偏壓電壓變化而進(jìn)行振幅誤差的修正)的波形顯示器40的結(jié)構(gòu)的功能框圖。
[0255]第五實(shí)施方式的變形例子的波形顯示器40具有向第五實(shí)施方式的波形顯示器40進(jìn)一步附加了振幅誤差修正部419、設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420的結(jié)構(gòu)。
[0256]設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420記錄被測(cè)定信號(hào)輸出器16的輸出振幅與向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。例如即使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓固定，由于光測(cè)定裝置I的周圍的溫度(環(huán)境溫度)等的變化，被測(cè)定信號(hào)輸出器16的輸出的振幅也有時(shí)會(huì)變化。由此，通過將環(huán)境溫度等設(shè)為固定，一邊使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓變化，一邊將被測(cè)定物2從光測(cè)定裝置I卸下而測(cè)定被測(cè)定信號(hào)輸出器16的輸出的振幅，從而能夠取得上述對(duì)應(yīng)關(guān)系。此外，所記錄的對(duì)應(yīng)關(guān)系既可以是向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓和被測(cè)定信號(hào)輸出器16的輸出的振幅的數(shù)據(jù)，也可以是表不向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓和被測(cè)定信號(hào)輸出器16的輸出的振幅之間的關(guān)系的公式。
[0257]圖27是表不設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420的記錄內(nèi)容的一個(gè)例子的圖。隨著向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓變高，被測(cè)定信號(hào)輸出器16的輸出的振幅Vd(其中，將被測(cè)定物2從光測(cè)定裝置I卸下)變化(例如單遞增)。此外，在圖27中，用曲線圖示出被測(cè)定信號(hào)輸出器16的輸出的振幅Vd，但也可以考慮成為直線的情況。
[0258]振幅誤差修正部419從修正量導(dǎo)出部418接收偏壓電壓的修正量Δ Vb。進(jìn)而，振幅誤差修正部419根據(jù)設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420的記錄內(nèi)容，將信號(hào)測(cè)定部42的測(cè)定結(jié)果修正與偏壓電壓的修正量AVb對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅的變動(dòng)量AVd。
[0259]圖28是表示振幅誤差修正部419導(dǎo)出的被測(cè)定信號(hào)的振幅的變動(dòng)量AVd的圖。此外，圖28的實(shí)線的曲線是設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420的記錄內(nèi)容(參照?qǐng)D27)。
[0260]圖28 (a)是表示與偏壓電壓的修正量△ Vb⑵對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅的變動(dòng)量AVd(2)的圖。
[0261]振幅誤差修正部419從修正量導(dǎo)出部418接收與使偏壓電壓從Vb (I)變化為Vb⑵的情況對(duì)應(yīng)的偏壓電壓的修正量AVb(2)。這樣，振幅誤差修正部419導(dǎo)出與Vb (2)對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅和與Vb(I)對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅之間的差分AVdO) (〈O)。振幅誤差修正部419進(jìn)而將信號(hào)測(cè)定部42的被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)定結(jié)果加上AVd(2)，修正被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)定結(jié)果。由此，不變更偏壓電壓就能夠進(jìn)行與使偏壓電壓從Vb(I)變化為Vb (2)的情況對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)定結(jié)果的修正。
[0262]此外，在修正被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)定結(jié)果之前，振幅測(cè)定部414測(cè)定監(jiān)視信號(hào)的振幅。振幅誤差修正部419將該測(cè)定結(jié)果加上Vm (I)-Vm (2)作為Vm(2)’。振幅誤差修正部419從修正量導(dǎo)出部418接受Vm(I)和Vm⑵即可。
[0263]圖28(b)表示與偏壓電壓的修正量AVb (3)對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅的變動(dòng)量AVd(3)的圖。
[0264]振幅誤差修正部419從修正量導(dǎo)出部418接收與使偏壓電壓從Vb (2)變化為Vb(3)的情況對(duì)應(yīng)的偏壓電壓的修正量AVb(3)。這樣，振幅誤差修正部419導(dǎo)出與Vb (3)對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅和與Vb (2)對(duì)應(yīng)的被測(cè)定信號(hào)的振幅之間的差分Δν(1(3) (>0)。振幅誤差修正部419進(jìn)而將信號(hào)測(cè)定部42的被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)定結(jié)果(已經(jīng)進(jìn)行加上了 AVd(2)的修正)加上ΛVd(3)，修正被測(cè)定信號(hào)的振幅的測(cè)