主激光脈沖和從激光脈沖的時刻，輸出觸發(fā)信號。此夕卜，將觸發(fā)信號賦予波形顯示器40。
[0326]在此，溫度計41測定環(huán)境溫度Tl (S130:第一次的測定)。此外，還進行環(huán)境溫度以外的振幅變動因素的測定。將測定的環(huán)境溫度Tl賦予振幅誤差導(dǎo)出部417，與此同時，將光功率測定器52所測定的主激光脈沖的功率和從激光脈沖的功率MP1、SPl和偏壓電壓賦予部50所測定的偏壓電壓Vbl賦予振幅誤差導(dǎo)出部417。
[0327]進而，信號測定部42測定以觸發(fā)信號為基準的被測定信號的輸出時刻(例如輸出開始時刻)和被測定信號的振幅(S132:第一次的測定)。
[0328]在從被測定信號的測定(S132:第一次的測定)經(jīng)過了某種程度的時間后，溫度計41測定環(huán)境溫度T2(S142:第二次的測定)。此外，還進行環(huán)境溫度以外的振幅變動因素的測定。將測定的環(huán)境溫度T2賦予振幅誤差導(dǎo)出部417，與此同時，將光功率測定器52所測定的主激光脈沖的功率和從激光脈沖的功率MP2、SP2、偏壓電壓賦予部50所測定的偏壓電壓Vb2賦予振幅誤差導(dǎo)出部417。
[0329]在此，振幅誤差導(dǎo)出部417根據(jù)設(shè)備振幅特性記錄部422的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出第一次測定了被測定信號的時刻的測定振幅變動因素(基準振幅變動因素:Vbl、MPl、SPUTl)和第二次測定了被測定信號的時刻的測定振幅變動因素(Vb2、MP2、SP2、T2)之間的被測定信號的振幅的誤差A(yù)Vdl (S144:第二次的測定)。此外，參照圖33，AVdl是ΔVdlb+ΔVdlm+ΔVdls+ΔVdlT0
[0330]修正量導(dǎo)出部426根據(jù)設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420的記錄內(nèi)容(參照圖27)，導(dǎo)出為了使被測定信號的振幅變動用于抵消通過振幅誤差導(dǎo)出部417導(dǎo)出的被測定信號的振幅的誤差Δ Vdl所需要的偏壓電壓的修正量AVbl (參照圖34)。將偏壓電壓的修正量AVbl賦予偏壓電壓賦予部50。偏壓電壓賦予部50通過使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓Vb2變化偏壓電壓的修正量AVbl，而設(shè)為Vb2’( = Vb2+AVbl)，將被測定信號的振幅減少振幅誤差A(yù)Vdl的量，修正被測定信號的振幅誤差(S146:第二次的測定)。
[0331]然后，信號測定部42測定以觸發(fā)信號為基準的被測定信號的輸出時刻(例如輸出開始時刻)和被測定信號的振幅(S148:第二次的測定)。
[0332]在從被測定信號的測定(S148:第二次的測定)經(jīng)過了某種程度的時間后，溫度計41測定環(huán)境溫度T3(S142:第三次的測定)。此外，還進行環(huán)境溫度以外的振幅變動因素的測定。將測定的環(huán)境溫度T3賦予振幅誤差導(dǎo)出部417，與此同時，將光功率測定器52所測定的主激光脈沖的功率和從激光脈沖的功率MP3、SP3、偏壓電壓賦予部50所測定的偏壓電壓Vb3賦予振幅誤差導(dǎo)出部417。
[0333]在此，振幅誤差導(dǎo)出部417根據(jù)設(shè)備振幅特性記錄部422的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出第二次測定了被測定信號的時刻的測定振幅變動因素(基準振幅變動因素:Vb2’、MP2、SP2、T2)和第三次測定了被測定信號的時刻的測定振幅變動因素(Vb3、MP3、SP3、T3)之間的被測定信號的振幅的誤差A(yù)Vd2(S144:第三次的測定)。此外，參照圖33，AVd2是ΔVd2b+ΔVd2m+ΔVd2s+ΔVd2T。
[0334]修正量導(dǎo)出部426根據(jù)設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420的記錄內(nèi)容(參照圖27)，導(dǎo)出為了使被測定信號的振幅變動用于抵消通過振幅誤差導(dǎo)出部417導(dǎo)出的被測定信號的振幅的誤差A(yù)Vd2所需要的偏壓電壓的修正量AVb2。偏壓電壓的修正量AVb2的導(dǎo)出方法與AVbl的導(dǎo)出方法(參照圖34)相同。將偏壓電壓的修正量AVb2賦予偏壓電壓賦予部50。偏壓電壓賦予部50通過使向照射光脈沖輸出器14施加的偏壓電壓Vb3變化偏壓電壓的修正量AVb2，而設(shè)為Vb3’( = Vb3+AVb2)，將被測定信號的振幅減少振幅誤差A(yù)Vd2的量，修正被測定信號的振幅誤差(S146:第三次的測定)。
[0335]然后，信號測定部42測定以觸發(fā)信號為基準的被測定信號的輸出時刻(例如輸出開始時刻)和被測定信號的振幅(S148:第三次的測定)。
[0336]根據(jù)第八實施方式，由振幅誤差導(dǎo)出部417根據(jù)振幅變動因素導(dǎo)出基于太赫茲光(照射光脈沖)等光的被測定物2的測定結(jié)果(輸出時刻)的由于光測定裝置I的周圍的溫度(環(huán)境溫度)振幅變動因素的變化造成的誤差，通過偏壓電壓賦予部50修正該誤差，因此能夠正確地得到被測定信號的振幅。
[0337]此外，在第八實施方式中，通過偏壓電壓賦予部50使偏壓電壓變化來修正振幅誤差，但也可以進行與偏壓電壓的變化無關(guān)的振幅誤差的修正。圖35是表示第八實施方式的變形例子(進行與偏壓電壓的變化無關(guān)的振幅誤差的修正)的波形顯示器40的結(jié)構(gòu)的功能框圖。
[0338]第八實施方式的變形例子的波形顯示器40具有從第八實施方式的波形顯示器40刪除設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部420和修正量導(dǎo)出部426并附加振幅誤差修正部419的結(jié)構(gòu)。
[0339]第八實施方式的變形例子的波形顯示器40的振幅誤差導(dǎo)出部417不將導(dǎo)出的振幅誤差A(yù)Vdl、AVd2,……賦予偏壓電壓賦予部50，而賦予振幅誤差修正部419。振幅誤差修正部419將振幅誤差A(yù)Vdl、AVd2,……賦予信號測定部42，在信號測定部42中，使被測定信號的振幅偏離-Δ Vdl、-A Vd2、......。抵消振幅誤差A(yù)Vdl、AVd2、......。此外，
信號測定部42如果在將該測定結(jié)果設(shè)為數(shù)字數(shù)據(jù)后而輸出，則在將該數(shù)字數(shù)據(jù)的振幅的數(shù)據(jù)變更-AVdl、_AVd2、……后輸出即可。這樣，信號測定部42的測定結(jié)果被修正。
[0340]另外，能夠如以下這樣實現(xiàn)上述實施方式。使具備CPU、硬盤、介質(zhì)(軟盤(注冊商標)、CD-ROM等)讀取裝置的計算機讀取記錄了實現(xiàn)上述各部分、例如波形顯示器40的各部分的程序的介質(zhì)，安裝到硬盤中。通過這樣的方法能夠?qū)崿F(xiàn)上述功能。
【主權(quán)項】
1.一種光測定裝置，其特征在于， 具備: 主激光器，其輸出主激光脈沖； 從激光器，其輸出重復(fù)頻率或相位與上述主激光脈沖不同的從激光脈沖； 照射光脈沖輸出器，其接受上述主激光脈沖，輸出照射光脈沖； 被測定信號輸出器，其接受向被測定物照射上述照射光脈沖而得到的被測定光脈沖，進而在接受了上述從激光脈沖的時刻，輸出與上述被測定光脈沖的功率對應(yīng)的被測定信號，其中 修正上述被測定信號的測定誤差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光測定裝置，其特征在于， 修正上述被測定信號的輸出時刻的測定誤差。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 信號測定部，其測定上述被測定信號的輸出時刻； 監(jiān)視信號輸出器，其接受上述照射光脈沖和上述從激光脈沖，輸出監(jiān)視信號； 時間測定部，其測定上述監(jiān)視信號的輸出時刻； 時間差導(dǎo)出部，其導(dǎo)出上述時間測定部的測定結(jié)果和得到該測定結(jié)果的時刻之前的上述時間測定部的測定結(jié)果之間的偏差； 誤差修正部，其根據(jù)上述時間差導(dǎo)出部的導(dǎo)出結(jié)果，修正上述被測定信號的輸出時刻，其中 上述被測定信號和上述監(jiān)視信號之間的時間差是固定的。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 觸發(fā)信號輸出器，其在同時接受了上述主激光脈沖和上述從激光脈沖的時刻，輸出觸發(fā)信號，其中 上述信號測定部以上述觸發(fā)信號為基準，測定上述被測定信號的輸出時刻， 上述誤差修正部修正上述觸發(fā)信號輸出器對上述觸發(fā)信號的輸出時刻。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光測定裝置，其特征在于， 上述誤差修正部修正上述信號測定部的測定結(jié)果。
6.根據(jù)權(quán)利要求3?5的任意一項所述的光測定裝置，其特征在于， 上述時間測定部多次測定上述監(jiān)視信號， 上述時間差導(dǎo)出部導(dǎo)出上述時間測定部的測定結(jié)果和上次的上述時間測定部的測定結(jié)果之間的偏差。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光測定裝置，其特征在于， 上述時間差導(dǎo)出部導(dǎo)出上述時間測定部的測定結(jié)果和上次的上述時間測定部的測定結(jié)果即上述誤差修正部進行修正后的測定結(jié)果之間的偏差。
8.根據(jù)權(quán)利要求3?5的任意一項所述的光測定裝置，其特征在于， 上述被測定信號輸出器兼作上述監(jiān)視信號輸出器， 使得上述被測定光脈沖和上述照射光脈沖在時間區(qū)域中不重疊地到達上述被測定信號輸出器。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光測定裝置，其特征在于， 使得從上述照射光脈沖輸出器向上述被測定信號輸出器的、存在上述被測定物的光路和不存在上述被測定物的光路之間的光路差大到對于上述被測定光脈沖和上述照射光脈沖在時間區(qū)域中不重疊地到達上述被測定信號輸出器來說充分的程度。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光測定裝置，其特征在于， 具備:光學(xué)系統(tǒng)，其選擇上述被測定光脈沖和上述照射光脈沖的任意一方并賦予上述被測定信號輸出器。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 信號測定部，其測定上述被測定信號的輸出時刻； 時間/溫度特性記錄部，其記錄上述被測定信號輸出器的輸出的輸出時刻與環(huán)境溫度之間的對應(yīng)關(guān)系； 時間差導(dǎo)出部，其根據(jù)上述時間/溫度特性記錄部的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出基準溫度和測定上述被測定信號的時刻的環(huán)境溫度下的上述被測定信號的輸出時刻的偏差； 誤差修正部，其根據(jù)上述時間差導(dǎo)出部的導(dǎo)出結(jié)果，修正上述被測定信號的輸出時刻。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 觸發(fā)信號輸出器，其在同時接受了上述主激光脈沖和上述從激光脈沖的時刻，輸出觸發(fā)信號，其中 上述信號測定部以上述觸發(fā)信號為基準，測定上述被測定信號的輸出時刻， 上述誤差修正部修正上述觸發(fā)信號輸出器對上述觸發(fā)信號的輸出時刻。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光測定裝置，其特征在于， 上述誤差修正部修正上述信號測定部的測定結(jié)果。
14.根據(jù)權(quán)利要求11?13的任意一項所述的光測定裝置，其特征在于， 上述信號測定部多次測定上述被測定信號， 上述基準溫度是上次測定上述被測定信號的時刻的環(huán)境溫度。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光測定裝置，其特征在于， 修正上述被測定信號的振幅的測定誤差。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 信號測定部，其測定上述被測定信號的振幅； 監(jiān)視信號輸出器，其接受上述照射光脈沖和上述從激光脈沖，輸出監(jiān)視信號； 振幅測定部，其測定上述監(jiān)視信號的振幅； 監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部，其記錄上述監(jiān)視信號的振幅與施加到上述照射光脈沖輸出器的偏壓電壓之間的對應(yīng)關(guān)系； 修正量導(dǎo)出部，其根據(jù)上述監(jiān)視/偏壓振幅特性記錄部的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出用于使上述振幅測定部的測定結(jié)果與得到該測定結(jié)果的時刻之前的上述振幅測定部的測定結(jié)果一致的上述偏壓電壓的修正量； 振幅誤差修正部，其根據(jù)上述修正量導(dǎo)出部的導(dǎo)出結(jié)果，修正上述被測定信號的振幅。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的光測定裝置，其特征在于， 上述振幅誤差修正部使上述偏壓電壓變化上述偏壓電壓的修正量。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部，其記錄上述被測定信號輸出器的輸出的振幅與上述偏壓電壓之間的對應(yīng)關(guān)系，其中 上述振幅誤差修正部根據(jù)上述設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部的記錄內(nèi)容，將上述信號測定部的測定結(jié)果修正與上述偏壓電壓的修正量對應(yīng)的上述被測定信號的振幅的變動量。
19.根據(jù)權(quán)利要求16?18的任意一項所述的光測定裝置，其特征在于， 上述振幅測定部多次測定上述監(jiān)視信號， 上述修正量導(dǎo)出部根據(jù)上述振幅測定部的測定結(jié)果和上次的上述振幅測定部的測定結(jié)果，導(dǎo)出上述偏壓電壓的修正量。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光測定裝置，其特征在于， 上述修正量導(dǎo)出部根據(jù)上述振幅測定部的測定結(jié)果和上次的上述振幅測定部的測定結(jié)果即上述振幅誤差修正部進行修正后的測定結(jié)果，導(dǎo)出上述偏壓電壓的修正量。
21.根據(jù)權(quán)利要求16?18的任意一項所述的光測定裝置，其特征在于， 上述被測定信號輸出器兼作上述監(jiān)視信號輸出器， 使得上述被測定光脈沖和上述照射光脈沖在時間區(qū)域中不重疊地到達上述被測定信號輸出器。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的光測定裝置，其特征在于， 使得從上述照射光脈沖輸出器向上述被測定信號輸出器的存在上述被測定物的光路和不存在上述被測定物的光路之間的光路差大到對于上述被測定光脈沖和上述照射光脈沖在時間區(qū)域中不重疊地到達上述被測定信號輸出器來說充分的程度。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的光測定裝置，其特征在于， 具備:光學(xué)系統(tǒng)，其選擇上述被測定光脈沖和上述照射光脈沖的任意一方并賦予上述被測定信號輸出器。
24.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 信號測定部，其測定上述被測定信號的振幅； 設(shè)備振幅特性記錄部，其記錄上述被測定信號輸出器的輸出的振幅與施加到上述照射光脈沖輸出器的偏壓電壓、上述主激光脈沖的功率、上述從激光脈沖的功率以及環(huán)境溫度的任意一個以上的振幅變動因素之間的對應(yīng)關(guān)系； 振幅誤差導(dǎo)出部，其根據(jù)上述設(shè)備振幅特性記錄部的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出基準振幅變動因素和測定了上述被測定信號的時刻的測定振幅變動因素之間的上述被測定信號的振幅的誤差; 振幅誤差修正部，其根據(jù)上述振幅誤差導(dǎo)出部的導(dǎo)出結(jié)果，修正上述被測定信號的振巾畐。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的光測定裝置，其特征在于， 具備: 設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部，其記錄上述被測定信號輸出器的輸出的振幅與上述偏壓電壓之間的對應(yīng)關(guān)系； 修正量導(dǎo)出部，其根據(jù)上述設(shè)備/偏壓振幅特性記錄部的記錄內(nèi)容，導(dǎo)出為了使上述被測定信號的振幅變動抵消所導(dǎo)出的上述被測定信號的振幅的誤差的量所必需的上述偏壓電壓的修正量，其中 上述振幅誤差修正部使上述偏壓電壓變化上述偏壓電壓的修正量。
26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的光測定裝置，其特征在于， 上述振幅誤差修正部將上述信號測定部的測定結(jié)果修正抵消所導(dǎo)出的上述被測定信號的振幅的誤差的量。
27.根據(jù)權(quán)利要求24?26的任意一項所述的光測定裝置，其特征在于， 上述信號測定部多次測定上述被測定信號， 上述基準振幅變動因素是上次測定上述被測定信號的時刻的測定振幅變動因素。
28.一種光測定方法，其使用了光測定裝置，該光測定裝置具備:主激光器，其輸出主激光脈沖；從激光器，其輸出重復(fù)頻率或相位與上述主激光脈沖不同的從激光脈沖；照射光脈沖輸出器，其接受上述主激光脈沖，輸出照射光脈沖；被測定信號輸出器，其接受向被測定物照射上述照射光脈沖而得到的被測定光脈沖，進而在接受了上述從激光脈沖的時亥IJ，輸出與上述被測定光脈沖的功率對應(yīng)的被測定信號，該光測定方法的特征在于， 具備:修正上述被測定信號的測定誤差的工序。
29.一種程序，其使計算機執(zhí)行光測定裝置的光測定處理，該光測定裝置具備:主激光器，其輸出主激光脈沖；從激光器，其輸出重復(fù)頻率或相位與上述主激光脈沖不同的從激光脈沖；照射光脈沖輸出器，其接受上述主激光脈沖，輸出照射光脈沖；被測定信號輸出器，其接受向被測定物照射上述照射光脈沖而得到的被測定光脈沖，進而在接受了上述從激光脈沖的時刻，輸出與上述被測定光脈沖的功率對應(yīng)的被測定信號，該程序的特征在于， 上述光測定處理具備:修正上述被測定信號的測定誤差的工序。
30.一種記錄介質(zhì)，其能夠由計算機讀取，記錄了用于使計算機執(zhí)行光測定裝置的光測定處理的程序，該光測定裝置具備:主激光器，其輸出主激光脈沖；從激光器，其輸出重復(fù)頻率或相位與上述主激光脈沖不同的從激光脈沖；照射光脈沖輸出器，其接受上述主激光脈沖，輸出照射光脈沖；被測定信號輸出器，其接受向被測定物照射上述照射光脈沖而得到的被測定光脈沖，進而在接受了上述從激光脈沖的時刻，輸出與上述被測定光脈沖的功率對應(yīng)的被測定信號，該記錄介質(zhì)的特征在于， 上述光測定處理具備:修正上述被測定信號的測定誤差的工序。
【專利摘要】本發(fā)明的光測定裝置具備主激光器、從激光器、照射光脈沖輸出器、以及被測定信號輸出器。根據(jù)該光測定裝置，主激光器輸出主激光脈沖。從激光器輸出重復(fù)頻率或相位與上述主激光脈沖不同的從激光脈沖。另外，照射光脈沖輸出器接受上述主激光脈沖，輸出照射光脈沖。被測定信號輸出器接受向被測定物照射上述照射光脈沖而得到的被測定光脈沖，進而在接受了上述從激光脈沖的時刻，輸出與上述被測定光脈沖的功率對應(yīng)的被測定信號。另外，修正上述被測定信號的測定誤差。
【IPC分類】G01N21-3581
【公開號】CN104620094
【申請?zhí)枴緾N201380047033
【發(fā)明人】橋本昌一, 入澤昭好
【申請人】株式會社愛德萬測試
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2013年8月22日
【公告號】DE112013004646T5, US20150241346, WO2014045820A1