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      線路信息及非線路區(qū)信息擷取方法、線路缺陷檢測方法_3

      文檔序號(hào):9373097閱讀:來源:國知局
      ,此時(shí)電路影像I上的線路101相當(dāng)于是重疊在CAM圖片2的線路201上,以拉近骨架圖片3上的細(xì)線301與電路影像I上相對(duì)應(yīng)的線路101之間的位置差距,如此,在骨架圖片3與該電路影像I進(jìn)行對(duì)位時(shí),僅需進(jìn)行微調(diào)位置的校正程序,此一校正程序可用電路影像I上的像素點(diǎn)的亮暗比較予以達(dá)成。例如,若骨架30中大致沿水平方向延伸的細(xì)線301沒有對(duì)到相對(duì)應(yīng)的線路101內(nèi)部,就需要再進(jìn)行一水平部校正程序,此程序包括先從電路影像I中找到最靠近其中一條沿水平方向延伸的細(xì)線301的亮區(qū)(因?yàn)榫€路101所占據(jù)的區(qū)域比其它非線路區(qū)域亮),然后,往該亮區(qū)的方向垂直移動(dòng)骨架圖片3,以使該其中一細(xì)線301對(duì)到該亮區(qū)的中間位置,如此,就完成骨架圖片3在水平方向上的位置校正,使得大致沿水平方向延伸的細(xì)線301都對(duì)到相對(duì)應(yīng)的線路101內(nèi)部中間位置。
      [0064]在b2步驟中,若骨架30中大致沿垂直方向延伸的細(xì)線301沒有對(duì)到相對(duì)應(yīng)的線路101內(nèi)部,則需要再進(jìn)行一垂直部校正程序,此程序包括先找到最靠近其中一條沿垂直方向延伸的細(xì)線301的亮區(qū),然后,往該亮區(qū)的方向水平移動(dòng)骨架圖片3,以使該其中一細(xì)線301對(duì)到該亮區(qū)的中間位置,如此,就完成骨架圖片3在垂直方向上的位置校正,使得大致沿垂直方向延伸的細(xì)線301都位于相對(duì)應(yīng)的線路101內(nèi)部中間位置。
      [0065]在上述例子中,所處理得到的骨架圖片3中的骨架30實(shí)質(zhì)上是CAM圖片2的電路圖案20的完整骨架,為了簡化骨架處理過程及提高所處理得到的骨架的品質(zhì),也可以選擇執(zhí)行本發(fā)明的以下步驟a’?c’來取代上述的a?b步驟。更詳而言之,圖8顯示本發(fā)明的線路信息擷取方法的第二較佳實(shí)施例的流程圖,其包括以下a’?C,步驟:
      [0066]a’ )將CAM圖片2分別沿水平方向與垂直方向?qū)?yīng)處理成一水平骨架圖片3a與一垂直骨架圖片3b。如圖9所示,水平骨架圖片3a中的骨架30a是由多條大致沿水平方延伸的細(xì)線301a所構(gòu)成,如圖10所示,垂直骨架圖片3b中的骨架30b是由多條大致沿水平方延伸的細(xì)線301b所構(gòu)成。
      [0067]b’ )利用水平骨架圖片3a擷取依據(jù)CAM圖片2所制作出來的一基板(例如一印刷電路板)上的每一條水平方向線路或指定的水平方向線路的線路信息,例如每一條水平線路或指定的水平線路的色階或線寬等信息;及
      [0068]c’ )利用垂直骨架圖片3b擷取該基板上的每一條垂直方向線路或指定的垂直方向線路的線路信息,例如每一條垂直線路或指定的垂直線路的色階或線寬等信息。
      [0069]上述的b’及c’步驟沒有特定的執(zhí)行順序,且b’及c’步驟都可以利用上述bl?b3所示的步驟來完成擷取線路信息的目的,簡言之,只要將bl?b3中的骨架圖片3改為水平骨架圖片3a或垂直骨架圖片3b,就可以通過執(zhí)行b I?b3步驟(包括上述的水平部校正程序與垂直部校正程序)來達(dá)成前述目的。
      [0070]從上述說明可知,利用本發(fā)明的線路信息擷取方法可以擷取到依據(jù)CAM圖片2所制作的基板上的線路信息,這些線路信息可以運(yùn)用于線路缺陷的檢測。例如,為了檢測依據(jù)CAM圖片2所制作的一待測基板上的每一條線路的線寬是否符合標(biāo)準(zhǔn),首先應(yīng)利用上述線路信息擷取方法從依據(jù)CAM圖片2所制作出來的一標(biāo)準(zhǔn)基板上擷取線路信息。由于該標(biāo)準(zhǔn)基板上的每一條線路都被確認(rèn)過是符合一標(biāo)準(zhǔn)線寬的標(biāo)準(zhǔn)線路,因此,利用上述線路信息擷取方法而從拍攝自該標(biāo)準(zhǔn)基板的電路影像I中擷取到其中的每一條線路101的每一個(gè)像素點(diǎn)或多像素點(diǎn)所在位置的線寬(此時(shí)是將圖5所示的基板當(dāng)作該標(biāo)準(zhǔn)基板),接著,從每一條線路101擷取到的線寬可以進(jìn)行平均運(yùn)算,以得到每一線路的平均線寬分別當(dāng)作每一條線路101自己的標(biāo)準(zhǔn)線寬?;蛘?,也可以對(duì)所擷取到的每一條線路101的線寬進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,以建立相對(duì)應(yīng)的一組最小線寬門檻值與最大線寬門檻值,并將每一組前述門檻值分別當(dāng)作各條線路自己的線路缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)。接著,利用上述線路信息擷取方法從拍攝自該待測基板的電路影像I中擷取其中的每一條線路101的每一個(gè)像素點(diǎn)或多像素點(diǎn)所在位置的線寬(此時(shí)是將圖5所示的基板當(dāng)作該待測基板),然后,比對(duì)并判斷所擷取到的線寬是否大于上述相對(duì)應(yīng)的最大線寬門檻值,若判斷結(jié)果為“是”,表示所擷取到的線寬所對(duì)應(yīng)的位置點(diǎn)上出現(xiàn)線路突出的缺陷,若判斷結(jié)果為“否”,則繼續(xù)比對(duì)并判斷所擷取到的線寬是否小于上述相對(duì)應(yīng)的最小線寬門檻值,若判斷結(jié)果為“是”,表示所擷取到的線寬所對(duì)應(yīng)的位置點(diǎn)上出現(xiàn)線路凹陷的缺陷,而若判斷結(jié)果為“否”,則表示所擷取到的線寬是符合標(biāo)準(zhǔn)的。
      [0071]此外,也可以利用本發(fā)明上述線路信息擷取方法檢測依據(jù)CAM圖片2所制作的一待測基板上是否存在斷路缺陷,具體而言,首先利用線路信息擷取方法而從拍攝自該待測基板的電路影像I擷取到其中的每一條線路101的每一個(gè)像素點(diǎn)(或多個(gè)像素點(diǎn))所在位置在寬度方向上所有線路內(nèi)部像素點(diǎn)的色階并取其平均值,以得到每一條線路101的每一個(gè)像素點(diǎn)(或多個(gè)像素點(diǎn))所在位置上的平均色階;對(duì)所取得的色階進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,為相對(duì)應(yīng)的每一條線路101分別建立一最小色階門檻值;接著,比對(duì)并判斷所擷取每一個(gè)像素點(diǎn)所在位置上的平均色階是否小于相對(duì)應(yīng)的最小色階門檻值;若判斷結(jié)果為“是”,即表示目前進(jìn)行比對(duì)的像素點(diǎn)所在位置上存在線路斷開的缺陷;而若判斷結(jié)果為“否”即表示目前進(jìn)行比對(duì)的像素點(diǎn)所在位置沒有出現(xiàn)線路斷開的缺陷。
      [0072]在上述例子中的骨架圖片3是為了擷取電路影像I中的電路圖案10的線路101上的線路信息而制作的,如果要想要擷取的信息是位在非電路圖案11中的信息,例如為了檢測電路影像I中是否存在短路缺陷,就必需檢查非線路區(qū)中是否出現(xiàn)橋接現(xiàn)象,此時(shí),就有需要去擷取非電路圖案11中的信息。本發(fā)明上述線路信息擷取方法,僅需略作修改,就可變成一種非線路區(qū)信息擷取方法,用以擷取非電路圖案11中的信息,更詳而言之,只需將上述CAM圖片2改為圖11所示的CAM圖片4即可。CAM圖片4是CAM圖片2的反相結(jié)果,即將CAM圖片2中的白色區(qū)域反相變成CAM圖片4中的黑色區(qū)域,CAM圖片2中的黑色區(qū)域反相變成CAM圖片4中的白色區(qū)域。接著,如同上述a步驟針對(duì)CAM圖片4中的每一道非線路區(qū)40 (即每一道白色區(qū)域的部分)進(jìn)行細(xì)線化或骨架化,得到如圖12所示的一骨架圖片5,此骨架圖片5中的骨架50同樣是由多條細(xì)線501所構(gòu)成,且每一條細(xì)線501也都只有一個(gè)像素的寬度。然后,如同上述b步驟,利用骨架圖片5擷取依據(jù)CAM圖片2所制作出來的上述基板上的每一道非線路區(qū)的信息,其細(xì)部過程可參見上述bl?b3步驟,僅需將上述骨架圖片3替換為骨架圖片5即可,且于進(jìn)行對(duì)位時(shí)是讓骨架50的每一條細(xì)線501分別對(duì)到電路影像I中相對(duì)應(yīng)的每一道非線路區(qū)的內(nèi)部,容不贅述。
      [0073]在一例子中,可援用上述a’至c’步驟,將CAM圖片5分別沿水平方向與垂直方向?qū)?yīng)處理成如圖13所示的一垂直骨架圖片5a與圖14所示的一水平骨架圖片5b,接著,利用垂直骨架圖片5a擷取依據(jù)CAM圖片2所制作出來的該基板上的每一道垂直方向的非線路區(qū)40或指定的垂直方向的非線路區(qū)40中的信息,以及利用水平骨架圖片5b擷取依據(jù)CAM圖片2所制作出來的該基板上的每一道水平方向的非線路區(qū)40或指定的水平方向的非線路區(qū)40中的信息。
      [0074]從上述說明可知,利用本發(fā)明上述非線路區(qū)信息擷取方法可以擷取到依據(jù)CAM圖片2所制作的基板
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