br>[0114]各袋部421的形狀、大小(尺寸)以及配置(位置)基于進(jìn)行檢查的1C器件90的形狀、大小(尺寸)、第一器件搬運(yùn)頭13的各把持部的配置(位置)等進(jìn)行設(shè)定。
[0115]此外，在本實(shí)施方式中，從Z方向觀察，1C器件90的外形呈正方形(四邊形)，因此，袋部421的外形呈與1C器件90的外形對(duì)應(yīng)的形狀，即呈正方形(四邊形)。另外，各袋部421配置為行列狀。
[0116]另外，殼體44固定于支柱43。該殼體44呈中空的立方體形狀，在其內(nèi)部收容有上述溫度控制板41以及變化套板42。在該殼體44的內(nèi)部構(gòu)成為能夠供給干燥空氣。通過(guò)將干燥空氣供給至殼體44的內(nèi)部，能夠在該殼體44的內(nèi)部形成具有濕度較低的氛圍的空間(后述的第三空間53)。
[0117]另外，如圖2以及圖6所示，在殼體44的圖2中上側(cè)的壁部即與變化套板42的袋部421對(duì)置的第二壁部441形成有多個(gè)第二開口部442。
[0118]從Z方向觀察，第二開口部442的外形呈長(zhǎng)方形(矩形)。此外，上述長(zhǎng)方形的長(zhǎng)邊方向?yàn)閄方向、即與閘門45的往復(fù)動(dòng)作方向正交的方向，短邊方向?yàn)閅方向、即閘門45的往復(fù)動(dòng)作方向。該第二開口部442沿著Y方向并排設(shè)置。這樣，由于第二開口部442呈沿著X方向較長(zhǎng)的形狀，所以即便在變更了變化套板42的袋部421的X方向的長(zhǎng)度、X方向的間距的情況下，也能夠?qū)?yīng)。
[0119]另外，第二開口部442的Y方向的間距P3設(shè)定為與袋部421的間距P2相等。
[0120]另外，若關(guān)注于一個(gè)第二開口部442，則該第二開口部442配置于沿著X方向排列的各袋部421上，從Z方向觀察，第二開口部442包含沿著X方向排列的各袋部421。
[0121]另外，在第二壁部441與變化套板42之間形成有空隙。由此，在將干燥空氣供給至殼體44的內(nèi)部的情況下，干燥空氣在第二壁部441與變化套板42之間流動(dòng)，能夠降低1C器件90的周圍的濕度。
[0122]雖然第二壁部441與變化套板42之間的間隔dl并不特別限定，根據(jù)各條件適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，但是優(yōu)選為4mm以上20mm以下，更加優(yōu)選為5mm以上16mm以下。
[0123]若間隔dl比上述下限值小，則在通過(guò)其他條件將干燥空氣供給至殼體44的內(nèi)部的情況下，干燥空氣難以向第二壁部441與變化套板42之間流動(dòng)。另外，即便間隔dl比上述上限值大，也難以期冀干燥空氣容易向第二壁部441與變化套板42之間流動(dòng)的效果的提高，反而還會(huì)增大溫度調(diào)整部12的厚度。
[0124]另外，優(yōu)選間隔dl比后述的閘門45的第一壁部451與第二壁部441之間的間隔d2大。由此，在將干燥空氣供給至殼體44的內(nèi)部的情況下，能夠使干燥空氣順利地在第二壁部441與變化套板42之間流動(dòng)，從而能夠降低1C器件90的周圍的濕度。
[0125]另外，雖然間隔dl與間隔d2之比dl/d2并不特別限定，根據(jù)各條件適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，但是優(yōu)選為1.6以上16以下，更加優(yōu)選為2以上4以下。
[0126]若dl/d2比上述下限值小，則在通過(guò)其他條件將干燥空氣供給至殼體44的內(nèi)部的情況下，干燥空氣難以在第二壁部441與變化套板42之間流動(dòng)。另外，即便dl/d2比上述上限值大，也難以期冀干燥空氣容易在第二壁部441與變化套板42之間流動(dòng)的效果的提高，反而還會(huì)增大溫度調(diào)整部12的厚度。
[0127]另外，閘門45設(shè)置為相對(duì)于基體3能夠在配置1C器件90的至少一個(gè)方向動(dòng)作(能夠位移)。在本實(shí)施方式中，閘門45沿著Y方向平移(移動(dòng))，并且進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作(往復(fù)運(yùn)動(dòng))。S卩，閘門45進(jìn)行動(dòng)作的方向是溫度調(diào)整部12的長(zhǎng)邊方向。
[0128]此外，上述長(zhǎng)邊是指在溫度調(diào)整部12的形狀(外形形狀)從Z方向觀察(在溫度調(diào)整部12的俯視觀察下)為長(zhǎng)方形的情況下該長(zhǎng)方形的長(zhǎng)邊(沿著Y方向延伸的邊)。
[0129]這里，配置上述1C器件90的方向是指包含1C器件90排列的方向的面內(nèi)的各方向、即是指包含XY平面內(nèi)的各方向的概念，不僅包含1C器件90排列的方向，而且也包含與此交叉的方向。因此，在配置1C器件90的至少一個(gè)方向進(jìn)行動(dòng)作(位移)是指在包含1C器件90排列的方向的面內(nèi)沿著任意方向進(jìn)行動(dòng)作。
[0130]另外，作為動(dòng)作(位移)，例舉有平移(移動(dòng))、轉(zhuǎn)動(dòng)(旋轉(zhuǎn))等，另外還包含它們的組合。
[0131]另外，作為平移，例舉有前進(jìn)、在曲線上行進(jìn)等，另外，也包含移動(dòng)中暫時(shí)中斷移動(dòng)并且變更行進(jìn)方向。作為具體例子，例舉有直線前進(jìn)并且在中途將行進(jìn)方向變更90°的情況、進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作(往復(fù)運(yùn)動(dòng))的情況等。
[0132]該閘門45呈中空的立方體形狀，在其內(nèi)部收容有上述殼體44、溫度控制板41以及變化套板42。此外，閘門45的外部空間為第一空間51，閘門45的內(nèi)部空間為與上述第一空間51不同的第二空間52。另外，第二空間52中的殼體44的內(nèi)部空間為第三空間53。因此，閘門45的后述的第一壁部451配置于第一空間51與第二空間52之間，并且與該雙方接觸。另外，上述殼體44、溫度控制板41以及變化套板42配置于第二空間52。而且，第一空間51與第二空間52的濕度不同，第二空間52的濕度比第一空間51的濕度低。即，第一空間51對(duì)濕度不進(jìn)行管理，第二空間52對(duì)濕度以成為規(guī)定的濕度以下的方式進(jìn)行管理。由此，在對(duì)1C器件90進(jìn)行冷卻的情況下，通過(guò)關(guān)閉閘門45，能夠防止在1C器件90產(chǎn)生結(jié)露。
[0133]另外，如圖2以及圖7所示，在閘門45的圖2中上側(cè)的壁部即與殼體44的第二壁部441對(duì)置的第一壁部451形成有多個(gè)第一開口部452。
[0134]從Z方向觀察，第一開口部452的外形呈長(zhǎng)方形(矩形)。此外，上述長(zhǎng)方形的長(zhǎng)邊方向?yàn)閄方向、即與閘門45的往復(fù)動(dòng)作方向正交的方向，短邊方向?yàn)閅方向、即閘門45的往復(fù)動(dòng)作方向。該第一開口部452沿著Y方向并排設(shè)置。這樣，由于第一開口部452呈沿著X方向較長(zhǎng)的形狀，所以即便在變更了變化套板42的袋部421的X方向的長(zhǎng)度、X方向的間距的情況下，也能夠?qū)?yīng)。
[0135]另外，第一開口部452的Y方向的間距P1設(shè)定為袋部421的間距P2的2倍。
[0136]另外，若關(guān)注于一個(gè)第一開口部452，則在該第一開口部452配置于沿著X方向排列的各袋部421上的狀態(tài)下，從Z方向觀察，第一開口部452包含沿著X方向排列的各袋部421以及第二開口部442。
[0137]另外，在第一壁部451與第二壁部441之間形成有空隙。雖然該第一壁部451與第二壁部441之間的間隔d2并不特別限定，根據(jù)各條件適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，但是優(yōu)選為10mm以下，更加優(yōu)選為0.5mm以上5mm以下。
[0138]若間隔d2比上述上限值大，則由于其他條件，擔(dān)心閘門45的遮擋效果變低。
[0139]另外，雖然作為閘門45的驅(qū)動(dòng)源并不特別限定，但是例舉有各種汽缸、步進(jìn)電機(jī)等各種馬達(dá)等。
[0140]接下來(lái)，對(duì)閘門45的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0141]首先，在圖4所示的閘門45處于關(guān)閉的狀態(tài)(閉合狀態(tài))下，閘門45的第一開口部452在變化套板42的沿著Y方向相鄰的兩個(gè)袋部421之間以及殼體44的沿著Y方向相鄰的兩個(gè)第二開口部442之間配置。
[0142]在該閘門45處于關(guān)閉的狀態(tài)下，且在袋部421收容有1C器件90的情況下，能夠抑制該1C器件90暴露于濕度等受到管理的第一空間51的氛圍中。另外，能夠抑制供給至殼體44的內(nèi)部的干燥空氣從第二開口部442放出，從而能夠容易地對(duì)第二空間52的濕度進(jìn)行管理。
[0143]此外，在本實(shí)施方式中，雖然在閘門45處于關(guān)閉的狀態(tài)下，從Z方向觀察，第一開口部452與袋部421的一部分以及第二開口部442的一部分重疊，但是并不限定于此，也可以構(gòu)成為第一開口部452與袋部421以及第二開口部442未重疊。
[0144]在從關(guān)閉該閘門45的狀態(tài)打開閘門45從而形成為第一打開狀態(tài)(圖2以及圖8所示的狀態(tài))的情況下，如圖2以及圖8所示，使閘門45向Y方向的圖2中右側(cè)(Y方向的正側(cè))移動(dòng)1/4.Ρ1。由此，閘門45的第一開口部452配置于變化套板42的奇數(shù)列的袋部421以及殼體44的奇數(shù)列的第二開口部442上。由此，取出收容于奇數(shù)列的袋部421的1C器件90，或者能夠?qū)?C器件90收容于奇數(shù)列的袋部421。此外，將X方向的排列稱為上述列，該列的上述奇數(shù)列、后述的偶數(shù)列是從圖2中的右側(cè)(圖8中的上側(cè))開始計(jì)算的情況下的列數(shù)。
[0145]另一方面，從Ζ方向觀察，第一開口部452與偶數(shù)列的袋部421以及偶數(shù)列的第二開口部442未重疊。由此，在偶數(shù)列的第二開口部442，通過(guò)閘門45在第一空間51與第二空間52之間抑制氣體的流動(dòng)。由此，能夠抑制供給至殼體44的內(nèi)部的干燥空氣從偶數(shù)列的第二開口部442放出。另外，在偶數(shù)列的袋部421收容有1C器件90的情況下，能夠抑制收容于該偶數(shù)列的袋部421的1C器件90暴露于濕度等未受到管理的第一空間51的氛圍中。
[0146]接下來(lái)，在將閘門45形成為第二打開狀態(tài)(圖3以及圖9所示的狀態(tài))的情況下，如圖3以及圖9所示，使閘門45向Υ方向的圖3中左側(cè)(Υ方向的負(fù)側(cè))移動(dòng)1/2.Ρ1。由此，閘門45的第一開口部452配置于變化套板42的偶數(shù)列的袋部421以及殼體44的偶數(shù)列的第二開口部442上。由此，取出收容于偶數(shù)列的袋部421的1C器件90，或者能夠?qū)?C器件90收容于偶數(shù)列的袋部421。
[0147]另一方面，從Z方向觀察，第一開口部452與奇數(shù)列的袋部421以及奇數(shù)列的第二開口部442未重疊。由此，在奇數(shù)列的第二開口部442，通過(guò)閘門45在第一空間51與第二空間52之間抑制氣體的流動(dòng)。由此，能夠抑制供給至殼體44的內(nèi)部的干燥空氣從奇數(shù)列的第二開口部442放出。另外，在奇數(shù)列的袋部421收容有1C器件90的情況下，能夠抑制收容于該奇數(shù)列的袋部421的1C器件90暴露于濕度等未受到管理的第一空間51的氛圍中。
[0148]接下來(lái)，在形成為第一打開狀態(tài)的情況下，如圖2以及圖8所示，使閘門45向Υ方向的圖2中右側(cè)(Υ方向的正側(cè))移動(dòng)1/2.Ρ1，接下來(lái)，在將閘門45形成為第二打開狀態(tài)的情況下，如圖3以及圖9所示，使閘門45向Υ方向的圖3中左側(cè)(Υ方向的負(fù)側(cè))移動(dòng)1/2.Plo以下相同。
[0149]這樣，雖然閘門45在開閉動(dòng)作、或者切換第一打開狀態(tài)與第二打開狀態(tài)的動(dòng)作中沿著Y方向進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作，但是該閘門45的切換第一打開狀態(tài)與第二打開狀態(tài)的動(dòng)作中的往復(fù)動(dòng)作的單程的距離為第一開口部452的間距P1的1/2。因此，能夠分別迅速地進(jìn)行第一打開狀態(tài)與第二打開狀態(tài)的切換、閉合狀態(tài)與第一打開狀態(tài)的切換以及閉合狀態(tài)與第二打開狀態(tài)的切換。
[0150]接下來(lái)，雖然對(duì)器件回收部18以及器件回收部18的閘門等進(jìn)行說(shuō)明，但是以與上述溫度調(diào)整部12的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。
[0151]如圖10以及圖11所示，器件回收部18呈板狀，在檢查裝置1的基體3上配置為能夠沿著X方向移動(dòng)。雖然器件回收部18的形狀并不特別限定，但是在本實(shí)施方式中，從Z方向觀察(在器件回收部18的俯視觀察下)其外形呈長(zhǎng)方形。此外，上述長(zhǎng)方形的長(zhǎng)邊方向?yàn)閄方向，短邊方向?yàn)閅方向。
[0152]另外，在器件回收部18的上表面即與基體3相反側(cè)的面，形成有收容(配置)IC器件90的多個(gè)凹部亦即袋部(電子部件配置部)181。各1C器件90收容于各袋部181，由此配置于器件回收部18。