[0153]各袋部181的形狀、大小(尺寸)以及配置(位置)基于進行檢查的1C器件90的形狀、大小(尺寸)、第三器件搬運頭20的各把持部的配置(位置)等設定。
[0154]此外，袋部181的外形為與1C器件90的外形對應的形狀，在本實施方式中，呈正方形(四邊形)。另外，各袋部181配置為行列狀。
[0155]另外，在器件回收區(qū)域A4中的基體3上配置有呈板狀并且具有多個第二開口部611的板61、以及呈板狀并且具有多個第一開口部621的閘門62。
[0156]在器件回收部18配置于器件回收區(qū)域A4的情況下，板61配置于該器件回收部18的上方。
[0157]另外，在板61與器件回收部18之間形成有空隙。雖然該板61與器件回收部18之間的間隔d3并不特別限定，根據(jù)各條件適當?shù)卦O定，但是優(yōu)選值為與第一實施方式的間隔dl相同。
[0158]另外，各第二開口部611配置為與各袋部181相同。S卩，在器件回收部18配置于器件回收區(qū)域A4的情況下，各第二開口部611配置于各袋部181上。因此，第二開口部611的X方向的間距以及Y方向的間距分別設定為與袋部181的X方向的間距以及Y方向的間距相等。
[0159]另外，從Z方向觀察，第二開口部611的外形為與袋部181對應的形狀，在本實施方式中為正方形(四邊形)。另外，在第二開口部611配置于袋部181上的狀態(tài)下，從Ζ方向觀察，第二開口部611包含袋部181。
[0160]閘門62配置于板61的上方。另外，閘門62相對于板61設置為能夠在配置1C器件90的至少一個方向進行動作(能夠進行位移)。在本實施方式中，閘門62沿著Υ方向平移(移動)，并且進行往復動作(往復運動)。將上述閘門62支承為能夠平移的機構的一個例子如下述所述。
[0161]首先，四個滑動部件63通過螺栓64緊固于板61的四個角落。此外，滑動部件63可以固定，另外也可以為能夠轉動。
[0162]另外，滑動部件63由一對大徑部631、632以及配置于大徑部631與大徑部632之間的小徑部633構成。雖然作為該滑動部件63的構成材料并不特別限定，但是優(yōu)選相對于閘門62摩擦較小的材料，例舉有含有氟的樹脂等各種樹脂材料等。另外，滑動部件63也可以在其表面具有由相對于閘門62摩擦較小的材料形成的層。
[0163]另一方面，在閘門62的四個角落形成有沿著Υ方向較長的長孔622。而且，在各長孔622插入有各滑動部件63。即，在各滑動部件63的大徑部631與大徑部632之間配置有閘門62。由此，閘門62通過各滑動部件63支承為能夠平移。
[0164]另外，在閘門62與板61之間形成有空隙。雖然該閘門62與板61之間的間隔d4并不特別限定，根據(jù)各條件適當?shù)卦O定，但是優(yōu)選的值與第一實施方式的間隔d2相同。另夕卜，間隔d3與間隔d4的關系和第一實施方式相同，在該情況下，將第一實施方式的間隔dl與間隔d3置換，將第一實施方式的間隔d2與間隔d4置換。
[0165]另外，各第一開口部621配置為與各袋部181相同。S卩，第一開口部621的X方向的間距以及Y方向的間距分別設定為與袋部181的X方向的間距以及Y方向的間距相等。
[0166]另外，從Z方向觀察，第一開口部621的外形為與袋部181以及第二開口部611對應的形狀，在本實施方式中為正方形(四邊形)。另外，在第一開口部621配置于袋部181上的狀態(tài)下，從Z方向觀察，第一開口部621包含袋部181以及第二開口部611。
[0167]此外，閘門62的圖11中上側的空間為第一空間51，閘門62的圖11中下側的空間為第二空間52，閘門62與第一空間51以及第二空間52接觸。另外，上述板61以及器件回收部18配置于第二空間52。
[0168]接下來，對閘門62的動作進行說明。
[0169]首先，在從圖10以及圖11所示的閘門62關閉的狀態(tài)打開閘門62的情況下，使閘門62向Y方向的圖10中下側(Y方向的正側)移動1/2.Plo由此，閘門62的第一開口部621配置于器件回收部18的袋部181以及板61的第二開口部611上。由此，取出收容于袋部181的1C器件90，或者能夠將1C器件90收容于袋部181。
[0170]而且，在關閉閘門62的情況下，使閘門62向Y方向的圖10中上側(Y方向的負偵U)移動1/2 -Plo由此，如圖10以及圖11所示，閘門62的第一開口部621從器件回收部18的袋部181以及板61的第二開口部611上退避，從Z方向觀察，第一開口部621與袋部181以及第二開口部611未重疊。由此，通過閘門62在第一空間51與第二空間52之間抑制氣體的流動。
[0171]這樣，雖然閘門62在開閉動作中沿著Y方向進行往復動作，但是該閘門62的往復動作的單程的距離為第一開口部621的間距P1的1/2。因此，能夠迅速地開閉閘門62。
[0172]另外，器件供給區(qū)域A2、檢查區(qū)域A3以及器件回收區(qū)域A4通過未圖示的隧道連通，器件供給部14以及器件回收部18在該隧道內移動，另外，干燥空氣在該隧道內流動。因此，通過關閉閘門62，能夠抑制干燥空氣從板61的第二開口部611放出。
[0173]此外，在本實施方式中，雖然溫度調整部12的閘門45構成為:能夠僅關閉奇數(shù)列的第二開口部442(袋部421)與偶數(shù)列的第二開口部442(袋部421)中的一方而僅打開另一方，但是并不限定于此，例如也可以構成為能夠同時開閉全部第二開口部442。S卩，閘門45例如也可以構成為與閘門62相同。
[0174]另外，在本實施方式中，雖然閘門45的第一開口部452的Y方向的間距P1設定為變化套板42的袋部421的間距P2的2倍，但是并不限定于此，例如間距P1也可以設定為間距P2的η倍(η為自然數(shù))。
[0175]另外，在本實施方式中，雖然器件回收部18的閘門62設置為與器件回收部18不同，但是并不限定于此，器件回收部18也可以具有閘門。
[0176]另外，針對器件供給部14，可以不設置閘門也可以設置閘門。在設置閘門的情況下，能夠構成為與上述器件回收部18的情況相同。
[0177]<第二實施方式>
[0178]圖12是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實施方式的溫度調整部的殼體的俯視圖。圖13是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實施方式的溫度調整部的閘門的俯視圖。
[0179]以下，雖然對第二實施方式進行說明，但是以與上述第一實施方式的不同點為中心進行說明，相同的事項省略其說明。
[0180]第二實施方式的檢查裝置1除溫度調整部12的殼體44的第二開口部442以及閘門45的第一開口部452的形狀與上述第一實施方式不同以外，與上述第一實施方式相同。
[0181]如圖12所示，殼體44的各第二開口部442與變化套板42的各袋部421同樣地配置。即，各第二開口部442配置于各袋部421上。因此，第二開口部442的X方向的間距以及Υ方向的間距Ρ3分別設定為與袋部421的X方向的間距以及Υ方向的間距Ρ2相等。
[0182]另外，從Ζ方向觀察，第二開口部442的外形為與袋部421對應的形狀，在本實施方式中呈正方形(四邊形)。另外，從Ζ方向觀察，第二開口部442包含袋部421。
[0183]另外，如圖13所示，從Ζ方向觀察，閘門45的第一開口部452的外形為與變化套板42的袋部421以及第二開口部442對應的形狀，在本實施方式中為正方形(四邊形)。另外，在第一開口部452配置于袋部421上的狀態(tài)下，從Ζ方向觀察，第一開口部452包含袋部421以及第二開口部442。
[0184]這樣，由于第一開口部452形成為與袋部421以及第二開口部442對應的形狀，所以與第一實施方式相比，在袋部421收容有1C器件90的情況下，且在關閉閘門45的情況下，能夠抑制該1C器件90暴露于第一空間51的氛圍中，另外，能夠抑制供給至殼體44的內部的干燥空氣從第二開口部442放出，另外，能夠容易對第二空間52的濕度進行管理。
[0185]另外，第一開口部452的X方向的間距設定為與袋部421的X方向的間距相等，第一開口部452的Υ方向的間距設定為袋部421的Υ方向的間距的2倍。
[0186]通過以上的第二實施方式，也能夠發(fā)揮與上述第一實施方式相同的效果。
[0187]此外，閘門45與殼體44的組合并不限定于該第二實施方式以及上述第一實施方式，例如也可以組合第一實施方式的閘門45與第二實施方式的殼體，另外也可以組合第二實施方式的閘門45與第一實施方式的殼體。
[0188]<第三實施方式>
[0189]以下，雖然對第三實施方式進行說明，但是以與上述第一實施方式的不同點為中心進行說明，相同的事項省略其說明。
[0190]在第三實施方式的檢查裝置1中，溫度調整部12的閘門45能夠更換，根據(jù)需要能夠與其他相同種類或者不同種類的部件進行更換。
[0191]具體而言，閘門45能夠更換為第一開口部452的形狀、大小(尺寸)以及位置(posit1n)中的至少一個不同的閘門，尤其能夠更換為第一開口部452的大小以及位置中的至少一方不同的閘門。另外，閘門45的第一開口部452的大小基于1C器件90的大小設定。此外，閘門45例如基于所檢查的1C器件90的形狀、大小(尺寸)、第一器件搬運頭13的各把持部的配置(位置)等更換為能夠與此對應的閘門。
[0192]另外，對于閘門45，能夠更換其整體，另外也能夠更換其一部分。在能夠更換閘門45的一部分的情況下，例如能夠更換閘門45中的第一壁部451。
[0193]另外，在能夠更換閘門45中的第一壁部451的情況下，該第一壁部451的固定方法并不特別限定，例舉有螺紋固定、由磁鐵吸附等。
[0194]通過以上的第三實施方式，也能夠發(fā)揮與上述第一實施方式相同的效果。
[0195]另外，由于閘門45能夠更換，所以能夠對應于各種尺寸的1C器件90。
[0196]另外，通過將閘門45的第一壁部451形成為能夠更換，與整體能夠更換的情況相比，更換作業(yè)容易，另外能夠降低準備更換用的部件所需要的成本。
[0197]另外，第三實施方式也能夠應用于上述第二實施方式。
[0198]此外，在本實施方式中，雖然舉例對將溫度調整部12的閘門45形成為能夠更換的情況進行了說明，但是并不限定于此，殼體44可以能夠更換，另外，閘門45以及殼體44也可以能夠更換。
[0199]另外，器件回收部18的閘門62以及板61中的任一方或者雙方也可以能夠更換。
[0200]另外，在設置針對器件供給部14的閘門以及板的情況下，該閘門以及板中的任一方或者雙方也可以能夠更換。
[0201]<第四實施方式>
[0202]圖14是用于說明本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第四實施方式的動作的圖。圖15是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第四實施方式的控制動作的流程圖。
[0203]以下，雖然對第四實施方式進行說明，但是以與上述第一實施方式的不同點為中心進行說明，相同的事項省略其說明。
[0204]第四實施方式的檢查裝置1構成為:在搬運部件朝向配置部件移動時打開閘門。該控制也能夠應用于溫度調整部12的閘門45、針對器件回收部18的閘門62以及針對器件供給部14的閘門