的位置的周邊進(jìn)行異物檢查，能夠更加高效地檢測成為缺件的元件P。
[0054]進(jìn)而，安裝檢查裝置40取得與安裝檢測出的缺件所涉及的元件P時的基板S上的搬運路線相關(guān)的信息即缺件搬運信息，優(yōu)先對根據(jù)基板S中的缺件搬運信息所確定的區(qū)域進(jìn)行異物檢查。成為缺件的元件P存在于到被檢測出缺件的元件P的正確的位置為止的搬運路線上的可能性較高。因此，通過優(yōu)先對基板S中的包含該搬運路線在內(nèi)的區(qū)域進(jìn)行異物檢查，能夠更加高效地檢測成為缺件的元件P。
[0055]另外，安裝檢查裝置40基于圖像處理進(jìn)行異物檢查，取得與缺件所涉及的元件P的大小相關(guān)的信息即缺件尺寸信息，基于取得的缺件尺寸信息，忽略基于圖像處理檢測出的異物中的比缺件所涉及的元件P小的異物而進(jìn)行異物檢查。因此，例如，能夠進(jìn)一步抑制將焊接的偏移等比元件P小的異物作為異物而進(jìn)行誤檢測，能夠進(jìn)一步高效地檢測成為缺件的元件P。另外，安裝檢查裝置40在缺件所涉及的元件P存在多個的情況下，基于缺件所涉及的元件P中的最小的元件P的缺件尺寸信息，忽略基于圖像處理所檢測出的異物中的比最小的元件P小的異物而進(jìn)行異物檢查。這樣，在成為缺件的元件P存在多個的情況下，能夠進(jìn)一步高效地檢測成為缺件的元件P。
[0056]另外，安裝檢查裝置40在基板S為多連片基板的情況下，也對多連片基板中的除被檢測出缺件的子基板以外的子基板進(jìn)行異物檢查。因此，即使在除被檢測出缺件的子基板以外的子基板上存在成為缺件的元件P的情況下，也能夠檢測該元件P。
[0057]另外，安裝檢查裝置40在異物檢查中檢測出異物時將異物的存在顯示于顯示部57。而且，由于也顯示了異物在基板S上的位置，因此能夠基于顯示的位置高效地進(jìn)行基板S上的異物的去除。
[0058]此外，本發(fā)明并不局限于上述任何實施方式，不言而喻地，只要從屬于本發(fā)明的技術(shù)的范圍，就能夠通過各種實施方式進(jìn)行實施。
[0059]例如，在上述實施方式中，安裝檢查裝置40最優(yōu)先地進(jìn)行關(guān)于包含缺件位置周邊在內(nèi)的異物檢查區(qū)域的異物檢查，接著，優(yōu)先進(jìn)行關(guān)于包含缺件搬運路線在內(nèi)的異物檢查區(qū)域的異物檢查，但是并不局限于此。例如，也可以顛倒兩者的優(yōu)先順序?；蛘咭部梢允÷躁P(guān)于包含缺件位置周邊在內(nèi)的異物檢查區(qū)域的異物檢查和關(guān)于包含缺件搬運路線在內(nèi)的異物檢查區(qū)域的異物檢查中的一個以上。
[0060]在上述實施方式中，安裝檢查裝置40在缺件所涉及的元件P存在多個的情況下，基于缺件所涉及的元件P中的最小的元件P的缺件尺寸信息來設(shè)定閾值Eth，忽略比該最小的元件P小的異物而進(jìn)行異物檢查，但是并不局限于此。例如，安裝檢查裝置40也可以與缺件尺寸信息無關(guān)地將預(yù)先設(shè)定的值作為閾值Eth。另外，在缺件所涉及的元件P存在多個的情況下，也可以針對各元件P設(shè)定不同的閾值Eth。例如，在存在缺件所涉及的元件Pl、P2的情況下，安裝檢查裝置40也可以在步驟S240中對于元件Pl的缺件位置的周邊的異物檢查區(qū)域，使用基于元件Pl的閾值Ethl來進(jìn)行異物檢查，對于元件P2的缺件位置的周邊的異物檢查區(qū)域，使用基于元件P2的閾值Eth2來進(jìn)行異物檢查。步驟S290中的包含缺件搬運路線在內(nèi)的異物檢查區(qū)域內(nèi)的異物檢查也相同。
[0061]在安裝檢查裝置40中，也可以在存在多個缺件所涉及的元件P的情況下，在基于缺件位置或缺件搬運路線設(shè)定的多個異物檢查區(qū)域中的小于一個以上缺件數(shù)的異物檢查區(qū)域內(nèi)檢測出異物時，基于未檢測出異物的異物檢查區(qū)域所涉及的元件P的信息來設(shè)定以下異物檢查區(qū)域。換言之，也可以在檢測出異物時，將檢測出異物的異物檢查區(qū)域所涉及的元件P看作是檢測出的異物而進(jìn)行以下的處理。例如，在存在缺件所涉及的元件P1、P2的情況下，安裝檢查裝置40也可以在步驟S240中在元件Pl的缺件位置的周邊的異物檢查區(qū)域內(nèi)檢測出一個以上異物且在元件P2的缺件位置的周邊的異物檢查區(qū)域內(nèi)未檢測出異物之后，在步驟S280中設(shè)定基于元件P2的缺件搬運路線的異物檢查區(qū)域而不設(shè)定基于元件Pl的缺件搬運路線的異物檢查區(qū)域。在該情況下，也可以基于元件P2的缺件尺寸信息重新設(shè)定在步驟S290中使用的閾值Eth。
[0062]在上述實施方式中，安裝檢查裝置40在基板S為多連片基板的情況下，也對多連片基板中的除被檢測出缺件的子基板以外的子基板進(jìn)行異物檢查，但是并不局限于此。例如，安裝檢查裝置40也可以僅對被檢測出缺件的子基板進(jìn)行異物檢查?；蛘?，安裝檢查裝置40也可以僅對被檢測出缺件的子基板及與該子基板相鄰的子基板進(jìn)行異物檢查。
[0063]在上述實施方式中，安裝檢查裝置40將異物的存在、異物的基板S上的位置顯示于顯示部57，但是只要是進(jìn)行報告，則并不局限于顯示。例如，安裝檢查裝置40也可以通過聲音向操作者進(jìn)行報告。
[0064]在上述實施方式中，安裝檢查裝置40對于通過缺件檢查未檢測出缺件的基板S不進(jìn)行異物檢查，但是并不局限于此。例如，檢查控制單元41也可以在經(jīng)由操作部58輸入了來自操作者的異物檢查的執(zhí)行指示時，與缺件檢查的結(jié)果無關(guān)地進(jìn)行異物檢查。
[0065]在上述實施方式中，安裝檢查裝置40在異物檢查中也使用在缺件檢查中取得的拍攝圖像數(shù)據(jù)，但是也可以通過基板相機53另行取得拍攝圖像數(shù)據(jù)來用于異物檢查。
[0066]在上述實施方式中，將基板S設(shè)為包含多個子基板的多連片基板，但是并不局限于此，基板S也可以是單體的基板。
[0067]在上述實施方式中，安裝檢查裝置40通過比較安裝前基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)、安裝后基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)與拍攝圖像數(shù)據(jù)來進(jìn)行缺件檢查、異物檢查，但是并不局限于此。例如，也可以基于拍攝圖像數(shù)據(jù)中的各像素的亮度信息等，檢測拍攝圖像數(shù)據(jù)中的成為邊緣的像素，基于檢測出的邊緣來檢測物體(元件、異物)的輪廓，基于檢測出的物體與安裝條件信息86來進(jìn)行缺件的檢查、異物的檢查。另外，安裝檢查裝置40也可以通過除圖像處理以外的方法來進(jìn)行缺件檢查、異物檢查。
[0068]在上述實施方式中，將安裝頭33的吸嘴34設(shè)為吸附元件P的裝置，但是只要將安裝頭33設(shè)為保持元件P的結(jié)構(gòu)，則并不限定于進(jìn)行吸附的方式。例如，也可以將安裝頭33設(shè)為在把持部鉤住并保持元件P。
[0069]在上述實施方式中，作為具備了本發(fā)明的功能的安裝檢查裝置40進(jìn)行了說明，但是并未特別局限于此，也可以作為安裝檢查方法及其程序的形態(tài)。
[0070]工業(yè)實用性
[0071]本發(fā)明能夠應(yīng)用于檢查安裝于基板的元件的安裝狀態(tài)的安裝檢查的技術(shù)領(lǐng)域中。
[0072]附圖標(biāo)記說明
[0073]10元件安裝系統(tǒng)、12LAN、20安裝處理裝置、21安裝控制單元、22CPU、23R0M、24RAM、25HDD、30基板處理單元、32安裝處理單元、33安裝頭、34吸嘴、35頭移動部、37供給單元、38零件相機、39輸入輸出接口、40安裝檢查裝置、41檢查控制單元、42CPU、43R0M、44RAM、45HDD、50基板處理單元、52檢查處理單元、53基板相機、54相機移動部、56操作面板、57顯示部、58操作部、59輸入輸出接口、80管理計算機、81控制裝置、82CPU、83R0M、84RAM、85HDD、86安裝條件信息、87輸入裝置、88顯示器、89輸入輸出接口、P元件、S基板
【主權(quán)項】
1.一種安裝檢查裝置，具備: 缺件檢查單元，對安裝于基板上的元件進(jìn)行缺件檢查;及 異物檢查單元，基于所述缺件檢查單元的所述缺件檢查的結(jié)果，對被檢測出所述缺件的基板進(jìn)行檢查該基板上的異物的異物檢查。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝檢查裝置，其中， 所述異物檢查單元取得與所述基板中的被檢測出所述缺件的位置相關(guān)的信息即缺件位置信息，并優(yōu)先對所述基板中的根據(jù)所述缺件位置信息所確定的所述位置的周邊進(jìn)行所述異物檢查。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝檢查裝置，其中， 所述異物檢查單元取得與安裝被檢測出的所述缺件所涉及的元件時的所述基板上的搬運路線相關(guān)的信息即缺件搬運信息，并優(yōu)先對所述基板中的根據(jù)所述缺件搬運信息所確定的區(qū)域進(jìn)行所述異物檢查。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的安裝檢查裝置，其中， 所述異物檢查單元基于圖像處理來進(jìn)行所述異物檢查，取得與被檢測出的所述缺件所涉及的元件的大小相關(guān)的信息即缺件尺寸信息，并基于取得的該缺件尺寸信息，忽略基于所述圖像處理檢測出的異物中的比所述缺件所涉及的元件小的異物而進(jìn)行所述異物檢查。5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項所述的安裝檢查裝置，其中， 所述基板是包含多個子基板的多連片基板， 所述異物檢查單元對由所述缺件檢查單元檢測出所述缺件的所述多連片基板進(jìn)行所述異物檢查，也對該多連片基板中的除被檢測出該缺件的子基板以外的一個以上子基板進(jìn)行所述異物檢查。
【專利摘要】安裝檢查裝置(40)基于缺件檢查的結(jié)果，對被檢測出安裝的元件(P)的缺件的基板進(jìn)行基板上的異物檢查。另外，安裝檢查裝置(40)對通過缺件檢查未檢測出缺件的基板不進(jìn)行異物檢查。安裝檢查裝置(40)取得與基板中的被檢測出缺件的位置相關(guān)的信息即缺件位置信息，并優(yōu)先對基板中的根據(jù)缺件位置信息所確定的缺件位置的周邊進(jìn)行異物檢查。安裝檢查裝置(40)取得與安裝被檢測出的缺件所涉及的元件時的基板上的搬運路線相關(guān)的信息即缺件搬運信息，優(yōu)先對基板中的根據(jù)缺件搬運信息所確定的區(qū)域進(jìn)行異物檢查。
【IPC分類】G01N21/956, G01B11/30, H05K13/08
【公開號】CN105531582
【申請?zhí)枴緾N201380079577
【發(fā)明人】中島干雄, 稻垣光孝
【申請人】富士機械制造株式會社
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2013年9月17日
【公告號】EP3048439A1, WO2015040667A1