平基板檢驗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型大體涉及自動光學檢驗，且具體而言，涉及對大的平基板(flatsubstrate)的檢驗。
【背景技術(shù)】
[0002]在本領(lǐng)域中，已知有各種裝置用于對圖案化平基板(例如，平板顯示器)進行自動光學檢驗(automated optical inspect1n ;A0T)。此種裝置的一個例子為由奧寶科技股份有限公司(Orbotech Ltd.)(位于以色列亞夫內(nèi)(Yavne, Israel))銷售的Supervis1nAOI System0
[0003]此種裝置也在專利文獻中有所描述。例如，美國專利7，386，161描述了一種同時存在低分辨率/高分辨率的并行掃描裝置及在檢驗裝置對平坦物體(例如，面板顯示器中所用的大的平板)的掃描過程中使用的方法。低分辨率缺陷探測有效地與其中會自動界定并分析缺陷的高分辨率缺陷查看及分類階段交疊及平行。所述裝置據(jù)說尤其適用于探測沉積有集成電路的用于形成LCD平板顯示器的大玻璃板上的圖案缺陷。
[0004]再例如，美國專利申請公開2010/0309308描述了一種用于檢驗的設(shè)備，所述設(shè)備包括成像總成，所述成像總成包括多個照相機，所述多個照相機在所述成像總成中分別安裝于不同的位置處并分別用以拍攝樣品的圖像。運動總成用以使所述成像總成與所述樣品至少其中一者移動以使所述成像總成掃描所述樣品。圖像處理器被耦接成接收并處理由照相機所拍攝的圖像，從而以比成像總成的位置公差(posit1n tolerance)更精細的位置精度來確定缺陷在樣品中的位置。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的實施例提供使用多個光學檢驗模塊來平行地掃描平基板的檢驗裝置。
[0006]因為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種平基板檢驗裝置，包括:
[0007]平臺，用以接收平基板并沿掃描方向傳送所述平基板經(jīng)過掃描區(qū)；以及
[0008]掃描橋，安裝于所述掃描區(qū)上方并包括:
[0009]兩個或更多個平行軌道，沿與所述掃描方向橫交的軌道方向跨越所述掃描區(qū)延伸；
[0010]第一多個安裝座，沿所述軌道中的每一者在間隔開所選間距的各自位置處被扣緊至所述軌道，從而可通過沿所述軌道滑動所述安裝座來調(diào)節(jié)所述位置及所述間距；以及
[0011]第二多個光學檢驗模塊，分別在所述各自位置處被固定至所述安裝座，以在所述掃描區(qū)內(nèi)拍攝所述平基板的相應區(qū)域的圖像。
[0012]本實用新型的一個實施例中，所述兩個或更多個平行軌道包括至少第一軌道及第二軌道，且其中所述安裝座在所述第一軌道上的所述各自位置相對于所述安裝座在所述第二軌道上的所述各自位置沿所述橫向方向錯列。
[0013]本實用新型的一個實施例中，所述兩個或更多個平行軌道包括第三軌道，且其中所述安裝座在所述第三軌道上的所述各自位置相對于所述安裝座在所述第一軌道及所述第二軌道上的所述各自位置沿所述橫向方向錯列。
[0014]本實用新型的一個實施例中，所述掃描橋具有第一錯列配置及第二錯列配置，在所述第一錯列配置中，所述第一軌道及所述第二軌道上的所述安裝座間隔開第一間距，在所述第二錯列配置中，所述第一軌道及所述第二軌道上的所述安裝座間隔開第二間距，所述第二間距是所述第一間距的至少兩倍。
[0015]本實用新型的一個實施例中，所述掃描橋包括多個安裝銷，使得每一安裝銷嚙合所述安裝座中以及所述光學檢驗模塊中的對應一者，以將所述光學檢驗模塊中的所述一者在預定位置固定至所述安裝座中的所述一者。
[0016]本實用新型的一個實施例中，包括調(diào)整夾具，所述調(diào)整夾具具有一對插口，所述一對插口用以嚙合所述軌道中的一者上的對應一對所述安裝座的所述安裝銷，所述一對插口并用以在所述安裝座被扣緊至所述軌道中的所述一者時使被嚙合的所述安裝銷保持于所述所選間距。
[0017]本實用新型的一個實施例中，所述掃描橋包括運動總成，所述運動總成用以調(diào)整所述掃描橋相對于所述平基板的高度與橫向位置至少其中一者。
[0018]本實用新型的一個實施例中，包括至少一個視頻橋，所述至少一個視頻橋以平行于所述掃描橋的設(shè)置方式安裝于所述平臺上方并包括一個或多個照相機，所述一個或多個照相機可在所述橫向方向上移動以在所述平基板的所選區(qū)域的所述掃描區(qū)外拍攝圖像。
[0019]本實用新型的一個實施例中，所述至少一個視頻橋包括兩個視頻橋，所述兩個視頻橋分別在所述掃描橋的相對兩側(cè)上安裝于所述平臺上方。
[0020]本實用新型的一個實施例中，包括多個背光照明源，所述多個背光照明源安裝于所述平臺的表面之下并分別與所述光學檢驗模塊對齊，且用以通過所述平臺中的間隙對所述基板進行背光照明。
[0021]本實用新型平基板檢驗裝置，具有可調(diào)整的光學檢驗模塊陣列的檢驗裝置，所述檢驗裝置容許掃描密度因應用要求而異。在所公開的實施例中，所述檢驗裝置包括:平臺，用以接收平基板并沿某一方向(被稱為掃描方向)傳送所述平基板；以及掃描橋，在所述平臺上安裝于所述基板的某一區(qū)(被稱為掃描區(qū))上方。所述掃描橋包括兩個或更多個平行軌道，所述兩個或更多個平行軌道沿與所述掃描方向橫交的方向跨越所述掃描區(qū)延伸。多個安裝座沿所述軌道中的每一者在間隔開所選間距的各自位置處被扣緊至所述軌道。光學檢驗模塊被固定至所述安裝座并在所述掃描區(qū)內(nèi)拍攝所述基板的相應區(qū)域的圖像?？赏ㄟ^沿所述軌道滑動所述安裝座來調(diào)整所述安裝座的、以及因此所述光學檢驗模塊及其成像區(qū)域的位置及間距。
[0022]通常安裝座在各不同軌道上的各自位置相對于彼此沿橫交方向錯列。掃描橋支持各種不同的錯列配置，在所述各種不同的錯列配置中，安裝座與光學檢驗模塊間的間距可相差兩倍或更多倍。掃描橋相對于平基板的高度及可能橫向位置也可改變。這樣，可支持多個不同水平的分辨率及掃描速度/時間。
【附圖說明】
[0023]在結(jié)合附圖閱讀以下對本實用新型實施例的詳細說明之后，將更充分地理解本實用新型，其中:
[0024]圖1為根據(jù)本實用新型實施例的檢驗裝置的示意性圖解；
[0025]圖2為根據(jù)本實用新型實施例的在檢驗裝置中使用的掃描橋的示意性圖解；
[0026]圖3為根據(jù)本實用新型實施例的光學檢驗模塊的示意性側(cè)視圖；
[0027]圖4為根據(jù)本實用新型實施例安裝于掃描橋上的光學檢驗模塊的示意性詳視圖；
[0028]圖5為根據(jù)本實用新型實施例用以調(diào)整光學檢驗模塊在一掃描橋中的位置的夾具的不意性圖解；
[0029]圖6A至圖6C為根據(jù)本實用新型實施例的掃描橋的示意性俯視圖，其分別顯示光學檢驗模塊在掃描橋中的不同部署配置；
[0030]圖7為根據(jù)本實用新型另一實施例的檢驗裝置的示意性俯視圖；以及
[0031]圖8為根據(jù)本實用新型實施例顯示檢驗裝置的細節(jié)的示意性剖視圖。
[0032]【主要元件標記說明】
[0033]20檢驗裝置22基板24平臺
[0034]26底架28空心桿30夾持器
[0035]32掃描橋34光學檢驗模塊35運動總成
[0036]36視頻橋38計算機化控制器40框架
[0037]42平行軌道44安裝座50照明總成
[0038]52目標光學器件54圖像傳感器56保護罩
[0039]58安裝支架60安裝銷62螺釘
[0040]64帶螺紋插口 66螺釘70夾具[0041 ]72保持器74插口 76間隔桿
[0042]78夾片80裝置82視頻橋
[0043]84視頻橋86照相機90背光照明源。
【具體實施方式】
[0044]上述美國專利申請公開2010/0309308描述了一種成像總成，在所述成像總成中，多個照相機沿與掃描方向橫交的至少第一排及第二排布置于各自位置處，且所述照相機在所述第一排中的各自位置相對于所述照相機在所述第二排中的位置沿橫交方向錯列。此布置方式適用于在檢驗基板時達成高的采樣密度。
[0045]本文所述的本實用新型實施例提供一種具有可調(diào)整的光學