檢驗(yàn)?zāi)K陣列的檢驗(yàn)裝置，所述檢驗(yàn)裝置容許掃描密度因應(yīng)用要求而異。在所公開的實(shí)施例中，所述檢驗(yàn)裝置包括:平臺(tái)，用以接收平基板并沿某一方向(被稱為掃描方向)傳送所述平基板；以及掃描橋，在所述平臺(tái)上安裝于所述基板的某一區(qū)(被稱為掃描區(qū))上方。所述掃描橋包括兩個(gè)或更多個(gè)平行軌道，所述兩個(gè)或更多個(gè)平行軌道沿與所述掃描方向橫交的方向跨越所述掃描區(qū)延伸。多個(gè)安裝座沿所述軌道中的每一者在間隔開所選間距的各自位置處被扣緊至所述軌道。光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K被固定至所述安裝座并在所述掃描區(qū)內(nèi)拍攝所述基板的相應(yīng)區(qū)域的圖像?？赏ㄟ^(guò)沿所述軌道滑動(dòng)所述安裝座來(lái)調(diào)整所述安裝座的、以及因此所述光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K及其成像區(qū)域的位置及間距。
[0046]通常(但并非必須如此)，安裝座在各不同軌道上的各自位置相對(duì)于彼此沿橫交方向錯(cuò)列。掃描橋支持各種不同的錯(cuò)列配置，在所述各種不同的錯(cuò)列配置中，安裝座與光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K間的間距可相差兩倍或更多倍。掃描橋相對(duì)于平基板的高度及可能橫向位置也可改變。這樣，可支持多個(gè)不同水平的分辨率及掃描速度/時(shí)間。
[0047]圖1為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的檢驗(yàn)裝置20的示意性圖解。裝置20尤其適用于對(duì)大的平基板(例如，平板顯示器)進(jìn)行自動(dòng)檢驗(yàn)，并可用于以各種分辨率水平以及以各種不同照明模式(包括暗場(chǎng)、明場(chǎng)(bright field)、彩色照明、及背光照明以及其任一組合)來(lái)觀察及探測(cè)形成于基板上的圖案中的缺陷。不同的照明裝置可單獨(dú)控制，以使照明模式能有各種所需組合。
[0048]檢驗(yàn)中的基板22放置在平臺(tái)24上，平臺(tái)24傳送所述基板經(jīng)過(guò)掃描橋32下方的掃描區(qū)。平臺(tái)24包括底架(chassis) 26以支撐一組平行的空心桿28，所述平行的空心桿28形成使基板22以最小的摩擦及振動(dòng)浮動(dòng)于其上的空氣墊。為此，桿28通常被以空氣加壓并通過(guò)基板22下面的孔(未示出)排出空氣。與此同時(shí)，一個(gè)或多個(gè)夾持器30保持基板22并沿平臺(tái)在掃描方向(即，圖1中的自左下方至右上方)上推進(jìn)基板22。盡管圖中顯示夾持器30位于平臺(tái)28的兩側(cè)，但其它種類的夾持器或傳送器也可用來(lái)保持及移動(dòng)基板22。作為另外一種選擇或另外，可在基板22上方傳送掃描橋32。
[0049]掃描橋32包括多個(gè)光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34，所述多個(gè)光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34沿與掃描方向橫交的方向跨越所述掃描橋排成陣列。將參照以下附圖詳細(xì)描述光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K及其在掃描橋中的布置。掃描橋32還可包括運(yùn)動(dòng)總成35，運(yùn)動(dòng)總成35用以調(diào)整所述掃描橋相對(duì)于基板22的高度。如此，可改變光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34的視場(chǎng)的大小(通常與調(diào)整其光學(xué)放大率及聚焦相結(jié)合)。作為另外一種選擇或另外，可單獨(dú)調(diào)整光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34的高度。再另外或作為另外一種選擇，運(yùn)動(dòng)總成35可用以調(diào)整光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34在掃描橋32上的橫向位置。
[0050]裝置20還可包括視頻橋36，視頻橋36以平行于掃描橋32的設(shè)置方式安裝于平臺(tái)24上方。視頻橋36包括一個(gè)或多個(gè)照相機(jī)(此圖中未示出)，所述一個(gè)或多個(gè)照相機(jī)可在橫向方向上移動(dòng)以拍攝基板22的所選區(qū)域的圖像。視頻橋36中的視頻照相機(jī)可包括例如高分辨率視頻顯微鏡，可控制所述高分辨率視頻顯微鏡以拍攝基板22的區(qū)域的高分辨率圖像，所述高分辨率圖像中的可疑缺陷是通過(guò)掃描橋32中的光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34來(lái)識(shí)別。視需要，裝置20可包括沿掃描方向排成陣列的兩個(gè)或更多個(gè)平行視頻橋，可能其中一個(gè)視頻橋位于掃描橋32的任一側(cè)上，如圖7所示。
[0051]一個(gè)或多個(gè)計(jì)算機(jī)化控制器38連接至裝置20的其它元件，以控制其操作及由其輸出的過(guò)程數(shù)據(jù)?？刂破?8通?？刂破脚_(tái)24(包括夾持器30)以及掃描橋32及視頻橋36的動(dòng)作?？刂破?8還自光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34及自視頻橋36中的照相機(jī)接收輸出數(shù)據(jù)并處理所述數(shù)據(jù)以探測(cè)基板22上的特征及缺陷，并向適當(dāng)?shù)难b置元件提供指令以進(jìn)行進(jìn)一步檢驗(yàn)，并且產(chǎn)生檢驗(yàn)報(bào)告及警報(bào)。
[0052]圖2為根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例，顯示掃描橋32的細(xì)節(jié)的示意性圖解。掃描橋32包括框架40，兩個(gè)或更多個(gè)平行軌道42沿與裝置20的掃描方向橫交的方向跨越所述框架延伸。光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34的安裝座44沿軌道42中的每一者在間隔開的各自位置處被扣緊至所述軌道?？赏ㄟ^(guò)沿所述軌道滑動(dòng)安裝座44來(lái)調(diào)節(jié)所述安裝座的位置及其之間的間距。光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34被固定至相應(yīng)安裝座44，從而在掃描區(qū)內(nèi)分別拍攝基板22的不同區(qū)域的圖像。
[0053]通常，首先將安裝座44定位并在所需位置扣緊至軌道42，并接著將光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34扣緊至相應(yīng)安裝座。圖2例示處于安裝座44已扣緊就位之后的階段的掃描橋32、以及光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34正被逐一扣緊至所述安裝座。在圖示配置中，光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34沿其中兩個(gè)軌道42緊密地間隔于一起，而第三軌道為空的?？墒褂酶鞣N不同的部署方案以各種不同的間距將所述模塊定位于其中一個(gè)、兩個(gè)或所有三個(gè)軌道上。這些方案中的幾個(gè)方案顯示于圖6A至圖6C中，并且以下將參照所述圖對(duì)所述幾個(gè)方案進(jìn)行描述。
[0054]圖3為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例，光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34的示意性側(cè)視圖。照明總成50產(chǎn)生光并將所述光引導(dǎo)至基板22上。通常，所述照明總成包括一個(gè)或多個(gè)輻射源，例如鹵素?zé)?、發(fā)光二極管(light-emitting d1de ;LED)或激光。如前所述，照明總成50通常可用以在脈沖式操作或連續(xù)操作時(shí)使用所選光譜的光以窄波段或?qū)挷ǘ芜M(jìn)行明場(chǎng)或暗場(chǎng)照明。(在本實(shí)用新型的上下文及權(quán)利要求書中所用的術(shù)語(yǔ)“光”意指任何種類的光學(xué)輻射，包括處于紅外光波段、可見光波段、及紫外光波段中的任一波段或所有波段的輻射。)作為另外一種選擇或另外，光源(未示出)可設(shè)置于平臺(tái)24的表面之下以提供對(duì)基板22的背光照明。目標(biāo)光學(xué)器件52自基板收集光并將所述光聚焦至圖像傳感器54上，以輸出圖像數(shù)據(jù)至控制器38。圖像傳感器54可包括傳感器元件的CXD或CMOS矩陣陣列、或作為另外一種選擇，線性陣列、或一時(shí)間延遲集成(time delay integrat1n ;TDI)傳感器。光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34的部件優(yōu)選地容納于剖視圖中所示的保護(hù)罩56中。
[0055]光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34可在其結(jié)構(gòu)及功能的某些方面類似于上述美國(guó)專利申請(qǐng)公開2010/0309308中所述的檢驗(yàn)照相機(jī)，且這些檢驗(yàn)照相機(jī)的特征若加以變更可應(yīng)用于光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34的設(shè)計(jì)及操作中。
[0056]光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34包括安裝支架58，以用于將所述光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K扣緊至其安裝座44 ?為有利于精確地定位光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K，安裝銷60嚙合安裝座44中的插口及支架58中的對(duì)應(yīng)插口以將光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34在精確限定的位置處固定至安裝座44。
[0057]圖4為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例，顯示將光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34安裝于掃描橋32上的示意性詳視圖。安裝座44沿軌道42滑動(dòng)至所需位置，在此處通過(guò)旋緊螺釘62而將安裝座44扣緊就位。將安裝座44與銷60配合，以將支架58定位于安裝座44上，如上所述。由此通過(guò)將支架58配合于銷60上而將光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34定位于其安裝座44上。接著，通過(guò)將螺釘66穿過(guò)支架58插入至安裝座44中的帶螺紋插口 64中而將所述光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K扣緊就位。
[0058]在替代實(shí)施例(圖中未示出)中，首先將光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K扣緊至相應(yīng)安裝座上，并接著將所述安裝座定位并扣緊就位于軌道上。
[0059]圖5為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例，用于調(diào)整光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34在掃描橋32中的位置的夾具70的示意性圖解。夾具70包括一對(duì)保持器72，所述一對(duì)保持器72容納具有適當(dāng)寬度的對(duì)應(yīng)插口 74以嚙合其中一個(gè)軌道42上的對(duì)應(yīng)一對(duì)安裝座44的安裝銷60。保持器72通過(guò)相應(yīng)夾片78連接至間隔桿76，相應(yīng)夾片78可被松開以調(diào)節(jié)所述保持器之間的距離并接著收緊以將所述保持器分開固定于所需距離處。視光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34之間的所選間距而定，此距離可小于或大于圖5中所示的距離。在布署安裝座44期間，利用軌道42上的一對(duì)鄰近安裝座44而將插口 74配合于安裝銷60上，并由此使所述安裝銷保持于所選間距、同時(shí)通過(guò)旋緊螺釘62而將所述安裝座扣緊至所述軌道。在欲在上面安裝光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K的每一軌道的長(zhǎng)度上重復(fù)此步驟。
[0060]圖6A至圖6C為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描橋32的示意性俯視圖，其分別顯示光學(xué)檢驗(yàn)?zāi)K34在掃描橋中的不同部署配置。在基板22在掃描橋32下方傳