用于檢查對象的系統(tǒng)的制作方法
【專利說明】用于檢查對象的系統(tǒng)
[0001]相關申請
[0002]本申請要求于2014年12月18日提交的美國臨時專利62/093,457的的優(yōu)先權，其通過引用并入本文。
技術領域
[0003]本實用新型涉及但不限于用于檢查對象的系統(tǒng)。
【背景技術】
[0004]在包括諸如其銅信號線具有梯形狀輪廓的PCB層的具有成角度的表面的部分的、諸如PCB-s、半導體晶片、電子基底等等的不平坦的基底中，現(xiàn)有技術的方法的檢查系統(tǒng)未被布置為從所有表面角收集鏡面反射。
[0005]此外，分析反射偏振狀態(tài)的已知方法中的一些僅在入射角顯著不同于法向夾角時有效。因此，平行于成像軸和垂直于所檢查的平板的明場或同軸光是不可用的。
[0006]因此，在檢查非平坦基底的背景中，存在對提供以下系統(tǒng)和方法的需要:允許對來自寬范圍的表面角的鏡面反射的收集，并使得入射角不是法向夾角，但作為可能的示例中的一個，其可以相當接近Brewster角。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]根據(jù)本實用新型的實施例，可提供一種系統(tǒng)和一種方法。
[0008]該系統(tǒng)用于檢查對象并可包括攝像機;聚焦透鏡；分束器，其可包括第一區(qū)域、第二區(qū)域和可定位于該分束器的第一區(qū)域和第二區(qū)域之間的第三區(qū)域;物鏡，其可包括第一區(qū)域、第二區(qū)域和可定位于該物鏡的第一區(qū)域和第二區(qū)域之間的第三區(qū)域；明場照明模塊，其被配置為用明場光束照射分束器的第一區(qū)域;其中分束器的第一區(qū)域可被配置為將明場光束導向物鏡的第一區(qū)域;其中物鏡的第一區(qū)域可被配置為將明場光束導向對象的區(qū)域以便以第一角度范圍照射到對象的區(qū)域;暗場照明模塊，其可被配置為用暗場光束以不同于第一角度范圍的第二角度范圍照射對象的區(qū)域;其中，該物鏡可被配置為從對象的區(qū)域接收來自明場光束和暗場光束射出的至少一個光束的至少一個鏡面反射;其中該物鏡可被配置為將至少一個鏡面反射導向聚焦透鏡;其中聚焦透鏡可被配置為將至少一個鏡面反射聚焦到攝像機上。
[0009]當對象的區(qū)域可包括具有第一定向的區(qū)時，物鏡可被配置為接收明場光束的鏡面反射;并且其中，當對象的區(qū)域可包括具有不同于第一定向的第二定向的區(qū)時，物鏡可被配置為接收暗場光束的鏡面反射。
[0010]明場照明模塊可被配置為隨著時間的流逝而改變暗場光束的相位和偏振中的至少一個。
[0011]暗場照明模塊可被配置為隨著時間的流逝而改變暗場光束的相位和偏振中的至少一個。
[0012]系統(tǒng)可包括用于控制由攝像機感測的光的相位和偏振中的至少一個的收集路徑相位和偏振控制模塊。
[0013]攝像機可被配置為控制由攝像機感測的光的相位和偏振中的至少一個。
[0014]明場照明模塊可包括明場光源，其之后可以是阻擋元件。
[0015]阻擋元件可具有環(huán)形形狀或任何其它形狀。
[0016]明場照明模塊可被配置為用第二明場光束照射分束器的第二區(qū)域;其中分束器的第二區(qū)域可被配置為將第二明場光束導向物鏡的第二區(qū)域;其中物鏡的第二區(qū)域可被配置為將第二明場光束導向對象以便以不同于第一角度范圍和第二角度范圍的第三角度范圍照射到對象上。
[0017]暗場照明模塊可包括暗場光源和反射鏡;并且其中，反射鏡可被配置為從暗場光源接收暗場光束并將暗場光束導向對象。
[0018]反射鏡可被定位在物鏡和對象之間。
[0019]明場照明模塊可被配置為用第四明場光束照射分束器的第五區(qū)域;其中分束器的第五區(qū)域可被配置為將第四明場光束導向物鏡的第五區(qū)域;其中物鏡的第五區(qū)域可被配置為將第四明場光束導向對象。
[0020]系統(tǒng)可包括可被定位在攝像機和分束器之間的第二附加的透鏡。
[0021]明場照明模塊可包括可被定位在明場照明模塊的明場光源的焦平面處的阻擋元件。
[0022]暗場照明模塊的光軸可被定向到明場照明模塊的光軸。
[0023]暗場照明模塊可被配置為(a)控制第二暗場光束的相位和偏振，以及(b)用第二暗場光束照射對象;并且其中物鏡的第三區(qū)域可被配置為將第二暗場光束的漫反射導向物鏡的第三區(qū)域。
[0024]方法可用于檢查對象，方法可包括由明場照明模塊用明場光束照射分束器的第一區(qū)域；由分束器的第一區(qū)域將明場光束導向物鏡的第一區(qū)域；由物鏡的第一區(qū)域引導可被配置為將明場光束導向對象的區(qū)域以便以第一角度范圍照射到對象的區(qū)域上；由暗場照明模塊用暗場光束以不同于第一角度范圍的第二角度范圍照射對象的區(qū)域；由物鏡并且從對象的區(qū)域接收來自明場光束和暗場光束射出的至少一個光束的至少一個鏡面反射；由物鏡將至少一個鏡面反射導向聚焦透鏡；以及由聚焦透鏡將至少一個鏡面反射聚焦到攝像機上。
[0025]方法可包括當對象的區(qū)域可包括具有第一定向的區(qū)時，由物鏡接收明場光束的鏡面反射;并且，當對象的區(qū)域可包括具有不同于第一定向的第二定向的區(qū)時，由物鏡接收暗場光束的鏡面反射。
[0026]方法可包括隨著時間的流逝而改變明場光束的相位和偏振中的至少一個。
[0027]方法可包括隨著時間的流逝而改變暗場光束的相位和偏振中的至少一個。
[0028]方法可包括由收集路徑相位和偏振控制模塊控制由攝像機感測的光的相位和偏振中的至少一個。
[0029 ]方法可包括由攝像機控制由攝像機感測的光的相位和偏振中的至少一個。
[0030]明場照明模塊可包括之后可跟著阻擋元件的明場光源。
[0031]阻擋元件可具有環(huán)形形狀。
[0032]方法可包括由明場照明模塊用第二明場光束照射分束器的第二區(qū)域；由分束器的第二區(qū)域將第二明場光束導向物鏡的第二區(qū)域；由物鏡的第二區(qū)域將第二明場光束導向對象以便以不同于第一角度范圍和第二角度范圍的第三角度范圍照射到對象上。
[0033]暗場照明模塊可包括暗場光源和反射鏡;并且其中，方法可包括由反射鏡并從暗場光源接收暗場光束；以及由反射鏡將暗場光束導向對象。
[0034]反射鏡可被定位在物鏡和對象之間。
[0035]方法可包括由明場照明模塊用第四明場光束照射分束器的第五區(qū)域；由分束器的第五區(qū)域將第四明場光束導向物鏡的第五區(qū)域；以及由物鏡的第五區(qū)域將第四明場光束導向對象。
[0036]系統(tǒng)可包括可被定位在攝像機和分束器之間的第二附加的透鏡。
[0037]明場照明模塊可包括可被定位在明場照明模塊的明場光源的焦平面處的阻擋元件。
[0038]暗場照明模塊的光軸可被定向到明場照明模塊的光軸。
[0039]方法可包括由暗場照明模塊控制第二暗場光束的相位和偏振;用第二暗場光束照射對象;并且由物鏡的第三區(qū)域將第二暗場光束的漫反射導向物鏡的第三區(qū)域。
【附圖說明】
[0040]本實用新型將根據(jù)結合了附圖的以下詳細的描述得到更充分的理解和認識，其中
[0041]圖1A示出了根據(jù)本實用新型的實施例的系統(tǒng)；
[0042]圖1B示出了根據(jù)本實用新型的實施例的系統(tǒng)；
[0043]圖1C示出了根據(jù)本實用新型的實施例的系統(tǒng)；
[0044]圖2示出了根據(jù)本實用新型的實施例的系統(tǒng)；
[0045]圖3示出了根據(jù)本實用新型的實施例的系統(tǒng)；
[0046]圖4示出了根據(jù)本實用新型的實施例的圖3的系統(tǒng)的一部分；
[0047]圖5示出了根據(jù)本實用新型的實施例的系統(tǒng)；以及
[0048]圖6示出了根據(jù)本實用新型的實施例的方法；
【具體實施方式】
[0049]因為實現(xiàn)本實用新型