光束101的漫反射104可被導(dǎo)向物鏡3的第二區(qū)域32。漫反射104穿過分束器50的第二區(qū)域52并由聚焦透鏡聚焦(未示出)到攝像機(jī)4上。
[0102]應(yīng)注意的是，在任何圖中，漫反射中的僅僅一些可以被示出。
[0103]圖2示出了根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的系統(tǒng)。
[0104]在圖2中，有兩個(gè)優(yōu)選的準(zhǔn)直明場光束101和121來代替圖1中的單一明場光，并且有第一明場光束101的鏡面反射102和第二明場光束121的鏡面反射122。
[0105]在圖2中，明場光源6、可調(diào)整的偏振器9和可調(diào)整的相位補(bǔ)償器10之后有阻擋元件11，阻擋元件11被配置為阻止明場光束照射到分束器5的第三區(qū)域50上并將單一明場光束分離為兩個(gè)明場光束。
[0106]圖2的明場照明模塊包括阻擋元件11并被配置為用第二明場光束121照射分束器5的第二區(qū)域52。
[0107]分束器5的第二區(qū)域52被配置為將第二明場光束121導(dǎo)向物鏡3的第二區(qū)域32。
[0108]物鏡3的第二區(qū)域32被配置為將第二明場光束121導(dǎo)向?qū)ο?以便以不同于第一角度范圍和第二角度范圍的第三角度范圍照射到對象上。
[0109]物鏡3的第一區(qū)域31被配置為接收第二明場光束的鏡面反射122并將第二明場光束的鏡面反射122導(dǎo)向分束器的第一區(qū)域51。
[0110]分束器的第一區(qū)域51被配置為將第二明場光束的鏡面反射122導(dǎo)向攝像機(jī)4。
[0111]另外，分束器5的第一區(qū)域51被配置為將第一明場光束101導(dǎo)向物鏡的第一區(qū)域31ο
[0112]物鏡的第一區(qū)域31被配置為將第一明場光束101導(dǎo)向?qū)ο?以便以第一角度范圍照射對象。
[0113]在一些環(huán)境中(例如當(dāng)照射第一定向的區(qū)時(shí)-如圖2中所示)，物鏡的第二區(qū)域32可被配置為接收第一明場光束的鏡面反射102并將明場光束的鏡面反射102導(dǎo)向分束器的第二區(qū)域52。
[0114]在一些環(huán)境中，分束器的第二區(qū)域52被配置為將第一明場光束的鏡面反射102導(dǎo)向攝像機(jī)的第一區(qū)域41。
[0115]在一些環(huán)境中，物鏡的第三區(qū)域30被配置為將暗場光束111和112的漫反射114導(dǎo)向物鏡的第三區(qū)域30。
[0116]在一些環(huán)境中，分束器的第三區(qū)域30被配置為將暗場光束的漫反射114導(dǎo)向攝像機(jī)4。
[0117]應(yīng)注意的是，攝像機(jī)4可根據(jù)在給定時(shí)間由第一明場光束101、第一暗場光束111和第二暗場光束112照射的區(qū)域的區(qū)的定向來接收一個(gè)或多個(gè)(或一個(gè)也沒有)光束101、111和112的漫反射和/或鏡面反射。
[0118]當(dāng)對象的區(qū)域被照射時(shí)，則對象的不同定向的區(qū)域的不同區(qū)可鏡面反射來自不同光源的光。該區(qū)域的區(qū)可包括區(qū)域的一個(gè)或多個(gè)點(diǎn)。不同定向的被照射的區(qū)的非限制示例在圖1A和IC中被提供。圖1A和IC可示出在同一時(shí)間或在不同時(shí)間被照射的線的不同橫截面。
[0119]在圖1A中，被照射的區(qū)域被示出為包括水平區(qū)且鏡面反射是明場光束的鏡面反射。在圖1C中，被照射的區(qū)域被示出為包括傾斜的區(qū)且鏡面反射是第一暗場光束的鏡面反射。應(yīng)注意的是，被照射的區(qū)域可包括第一定向的區(qū)和第二定向的區(qū)，使得明場光束的鏡面反射和暗場光束的鏡面反射可被收集。
[0120]圖3和5根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例示出了系統(tǒng)的兩個(gè)部分。圖3是沿著第一虛平面截取而圖5是沿著第二虛平面截取-第二虛平面被定向到(例如-正交于)第一虛平面。例如-第一虛平面可以是Z-Y平面而第二虛平面可以是Z-X平面。圖4示出圖3的系統(tǒng)的一部分。
[0121]在圖3中，明場照明模塊包括明場光源6、可調(diào)整的偏振器9和可調(diào)整的相位補(bǔ)償器
1。明場照明模塊之后有第一附加的透鏡61，而第一附加的透鏡61之后有分束器5。在圖3中，分束器5被定位在第一附加的透鏡61的右邊。第二附加的透鏡62被定位在分束器5的上方和攝像機(jī)4的下方。物鏡3位于對象2的上方和分束器5的下方。
[0122]物鏡3和第二附加的透鏡62互相平行且被形成為同軸布置。
[0123]在圖3-5中，存在第一明場光束201、第二明場光束202、第三明場光束203、第四明場光束204、第一明場光束201的鏡面反射211、第二明場光束202的鏡面反射212、第三明場光束203的鏡面反射213、第四明場光束204的鏡面反射214、兩個(gè)暗場光束301和302以及兩個(gè)暗場光束301和302的漫反射303。在圖3中，阻擋元件被定位在明場光源6的光圈處。阻擋元件可以在光圈的中心，從而有效地形成得到環(huán)形形狀照明的環(huán)形形狀光圈。在所示出的射線的上方和下方可以有附加的阻擋元件。
[0124]圖3示出兩個(gè)明場光束，其被阻擋元件分離為第一明場光束至第四明場光束201、202、203、204。
[0125]第一明場光束至第四明場光束201、202、203、204穿過第一附加的透鏡61并照射到分束器的第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域和第四區(qū)域(在圖4中表示為51、52、53和54)上并被導(dǎo)向物鏡3的第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域和第四區(qū)域。
[0126]物鏡3將第一明場光束和第二明場光束201和202導(dǎo)向到對象2的第一位置上。
[0127]物鏡3將第三明場光束和第四明場光束203和204導(dǎo)向到對象2的第二位置上，第二位置與第一位置是空間上隔開的。
[0128]第一明場光束201的鏡面反射211和第二明場光束202的鏡面反射212穿過物鏡3的第二區(qū)域和第一區(qū)域、穿過分束器的第二區(qū)域和第一區(qū)域傳播，并被第二附加的透鏡62導(dǎo)向到攝像機(jī)4上。
[0129]第三明場光束203的鏡面反射213和第四明場光束204的鏡面反射214穿過物鏡3的第四區(qū)域和第三區(qū)域、穿過分束器的第四區(qū)域和第三區(qū)域傳播，并被第二附加的透鏡62導(dǎo)向到攝像機(jī)4上。
[0130]可以有多于兩對明場光束。
[0131]圖5示出暗場光束301和302由暗場光源7生成，穿過可調(diào)整的偏振器9和可調(diào)整的相位補(bǔ)償器10并被反射鏡71和72反射以照射到對象2上。
[0132]鏡面反射303穿過物鏡3和第二附加的透鏡以照射到攝像機(jī)4上。
[0133]圖5是系統(tǒng)的Y-Z截面，且該說明的是用于沿著X軸定向(S卩，“進(jìn)入紙內(nèi)”)的線掃描攝像機(jī)的暗場線照明。
[0134]可提供一種用于使用如上面示出的系統(tǒng)檢查被檢查的對象的方法。
[0135]圖6根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例示出了方法400。
[0136]方法400可開始于步驟410和415。
[0137]步驟410可包括控制明場光束的相位和偏振以及用明場光束照射分束器的第一區(qū)域。
[0138]步驟410之后可以為步驟420、430、440、450、和460的序列。
[0139]步驟420可包括由分束器的第一區(qū)域?qū)蛭镧R的第一區(qū)域。
[0140]步驟430可包括由物鏡的第一區(qū)域?qū)⒚鲌龉馐鴮?dǎo)向?qū)ο笠员阋缘谝唤嵌确秶丈涞綄ο笊稀?br>[0141]步驟440可包括由物鏡的第二區(qū)域接收明場光束的鏡面反射。
[0142]步驟450可包括將明場光束的鏡面反射導(dǎo)向分束器的第二區(qū)域。
[0143]步驟460可包括由分束器的第二區(qū)域?qū)⒚鲌龉馐溺R面反射導(dǎo)向攝像機(jī)。
[0144]步驟415可包括控制暗場光束的相位和偏振，以及用暗場光束以不同于第一角度范圍的第二角度范圍照射對象。
[0145]步驟415之后可以為步驟425和435的序列。
[0146]步驟425可包括由物鏡的第三區(qū)域?qū)祱龉馐溺R面反射導(dǎo)向分束器的