本發(fā)明是一種軟件技術(shù)，涉及離子注入機的PMAC部件運行時數(shù)據(jù)檢測、數(shù)據(jù)傳輸、數(shù)據(jù)處理的方法，以此來解決控制程序在PMAC部件運行時卡機或死機等現(xiàn)象，屬于半導體器件制造的軟件領域。

背景技術(shù)：

半導體集成電路制造工藝已經(jīng)發(fā)展到12英寸晶片、納米技術(shù)節(jié)點階段。隨著晶圓尺寸越來越大，單元器件尺寸越來越小，對半導體工藝設備的性能要求也越來越高。這樣對離子注入機控制程序編寫也越來越復雜。為了確保離子注入機控制程序運行時的可靠性和穩(wěn)定性，確保注入晶片的工藝操作符合設計要求，必須保證離子注入機控制程序正常運行，保證控制程序在運行時不會出現(xiàn)卡機或死機等現(xiàn)象。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明主要是為了確保離子注入機在PMAC部件運行時控制程序不會出現(xiàn)卡機或死機而針對PMAC相關數(shù)據(jù)進行處理的一種方法。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

1、上位機對下位機發(fā)送PMAC部件執(zhí)行命令成功后即返回線程，不需等至PMAC部件動作執(zhí)行完成后再返回線程。

2、下位機檢測PMAC部件執(zhí)行狀態(tài)是在定時器中定時檢測，而不是用Sleep延時命令來循環(huán)檢測，同時把檢測結(jié)果發(fā)送給上位機。

3、上位機用回調(diào)函數(shù)來監(jiān)測下位機傳輸?shù)腜MAC部件運行狀態(tài)。

4、上位機根據(jù)需要在定時器中檢測PMAC部件運行動作是否完成。

本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點：

1、多種PMAC部件動作可同時執(zhí)行。

2、PMAC部件動作執(zhí)行時不需等待其操作完成后就能對控制程序進行其他操作。

3、控制程序的運行效率和設備的執(zhí)行效率得到很大提高。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細描述，但不作為對本發(fā)明專利限定。

如圖所示，注入機在運行時，當需要進行PMAC部件操作時，一般PMAC部件動作操作完成時間比較長，如果程序發(fā)送PMAC動作的函數(shù)是等待PMAC動作執(zhí)行完成后再返回信息，即在圖中第5步中不向上位機發(fā)送成功信號，而是上位機發(fā)送命令后一直等待下位機程序執(zhí)行完PMAC動作后再反饋結(jié)果，則控制程序在等待的過程中就不能進行其他操作，且發(fā)送PMAC動作的函數(shù)因為長時間占用內(nèi)存空間而造成控制程序卡機，而程序卡機又容易造成控制程序死機等現(xiàn)象發(fā)生。

通過如圖流程操作PMAC動作，可以同時操作多種PMAC部件動作，只要它們之間的動作不存在沖突。同時在操作PMAC部件時可以對控制程序進行其他操作，這些操作不會造成程序卡機或死機現(xiàn)象，大大提高了程序的工作效率和設備的執(zhí)行效率。

附圖說明

圖1為解決離子注入機PMAC部件運行時控制程序卡機或死機的處理方法流程圖。

本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領域一般技術(shù)人員而言，在不違背本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。