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      一種解決離子注入機(jī)PMAC部件運(yùn)行時(shí)控制程序卡機(jī)或死機(jī)的處理方法與流程

      文檔序號:11153365閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.該離子注入機(jī)PMAC部件運(yùn)行時(shí)控制程序卡機(jī)或死機(jī)解決方法的特征在于:無論離子注入機(jī)設(shè)備PMAC部件運(yùn)行操作需要花多長時(shí)間,都不會因?yàn)榈却齈MAC部件的運(yùn)行完成而造成控制程序卡機(jī)或死機(jī)等現(xiàn)象的發(fā)生。

      2.該離子注入機(jī)PMAC部件運(yùn)行時(shí)控制程序卡機(jī)或死機(jī)解決方法的特征在于:無論離子注入機(jī)設(shè)備有多種PMAC部件同時(shí)運(yùn)行,只要它們之間的運(yùn)行操作不相互發(fā)生沖突,它們就可以同時(shí)操作運(yùn)行,且不會因?yàn)镻MAC部件同時(shí)運(yùn)行造成控制程序卡機(jī)或死機(jī)等現(xiàn)象。

      3.該離子注入機(jī)PMAC部件運(yùn)行時(shí)控制程序卡機(jī)或死機(jī)解決方法的特征在于:離子注入機(jī)控制程序運(yùn)行PMAC部件時(shí),只要不沖突,可以通過控制程序進(jìn)行其它功能操作。

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