(諸如但不限于亮場(chǎng)和暗場(chǎng)檢查技術(shù))收集。
[0056]在又一實(shí)施例中，可數(shù)字地組合從相同工作區(qū)采集的兩幅或更多幅圖像以形成單個(gè)圖像數(shù)據(jù)集。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，本領(lǐng)域已知的任何圖像處理步驟可用于組合和/或處理從一個(gè)或多個(gè)工作區(qū)取得的圖像數(shù)據(jù)。
[0057]在第四步驟208，可限定一個(gè)或多個(gè)VFF工作區(qū)的每一圖案區(qū)域的一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊。在一方面，系統(tǒng)100可分析步驟206所采集的圖像數(shù)據(jù)，以將一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊限定在工作區(qū)的每一圖案化區(qū)域內(nèi)。例如，如圖3所示，系統(tǒng)100可用來限定圖案化區(qū)域304的VFF訓(xùn)練塊312a、312b、312c、312d和312d。類似地，系統(tǒng)100可用來限定圖案化區(qū)域308的VFF訓(xùn)練塊314a和314b。利用圖案化區(qū)域的VFF訓(xùn)練塊來限制從半導(dǎo)體106的表面的非圖案化區(qū)塊反射的光的貢獻(xiàn)。以此方式，VFF訓(xùn)練塊被配置成基本上只涵蓋在給定圖案化區(qū)域中找到的所選重復(fù)圖案。例如，對(duì)于圖案區(qū)域304，如圖3所示，VFF訓(xùn)練塊312a、312b、312c、312d和312e可分別涵蓋重復(fù)圖案區(qū)塊302a、302b、302c、302d和302e。類似地，對(duì)于圖案區(qū)域308，VFF訓(xùn)練塊304a和304b可分別涵蓋重復(fù)圖案區(qū)塊306a和306b。應(yīng)當(dāng)注意，與多個(gè)VFF訓(xùn)練塊相關(guān)的以上描述不是限制性的，并且應(yīng)當(dāng)只被解釋為說明性的。在一般意義上，應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，給定圖案區(qū)域可包括任意數(shù)量的VFF訓(xùn)練塊。
[0058]在一個(gè)實(shí)施例中，系統(tǒng)100可實(shí)現(xiàn)VFF訓(xùn)練塊算法以自動(dòng)地限定VFF工作區(qū)的一個(gè)或多個(gè)圖案化區(qū)域的一個(gè)或多個(gè)訓(xùn)練塊。例如，VFF訓(xùn)練塊算法可定位只包含重復(fù)圖案的分頁(yè)(page break)的一個(gè)或多個(gè)部分。
[0059]在另一實(shí)施例中，可使用來自用戶的經(jīng)由系統(tǒng)100的用戶界面116的反饋來限定一個(gè)或多個(gè)圖案化區(qū)域的訓(xùn)練塊。以此方式，系統(tǒng)100可將所收集的給定工作區(qū)的圖像數(shù)據(jù)顯示到顯示設(shè)備114上。然后，用戶可經(jīng)由用戶界面116(例如，鍵盤、鼠標(biāo)、觸摸屏等)定位和限定給定圖案化區(qū)域的一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊的大小。
[0060]在第五步驟210，可計(jì)算在步驟208限定的一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊的初始頻譜。在一方面，可通過將(通過系統(tǒng)100的檢查工具104收集的)空間域強(qiáng)度信息變換成頻域頻譜信息來計(jì)算一個(gè)或多個(gè)訓(xùn)練塊的初始頻譜?？臻g域信息到頻域信息的變換可涉及本領(lǐng)域中已知的任何已知“傅里葉式”變換的應(yīng)用。這些變換可包括但不限于傅里葉變換、哈特利變換、或者本領(lǐng)域已知的任何合適的規(guī)范變換。
[0061]圖6示出通過變換空間域強(qiáng)度信息而算出的頻域頻譜602，該空間域強(qiáng)度信息來自于從一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊采集的沿著一個(gè)方向(例如，X方向或Y方向)顯示周期性的圖像數(shù)據(jù)。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，圖6所示的頻譜信息顯示作為頻率的函數(shù)的光強(qiáng)度。
[0062]空間域-頻域變換可包括將沿著至少一個(gè)空間方向的空間強(qiáng)度信息變換成頻域頻譜信息。在這一點(diǎn)上，應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，從顯示強(qiáng)度作為空間位置的函數(shù)的給定VFF訓(xùn)練塊采集的二維圖像可被變換成頻域頻譜。此外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，沿著單個(gè)方向(例如，X方向或Y方向)顯示周期性的二維圖像可被映射到一維頻域頻譜。然而，還應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，對(duì)于顯示不可分離的二維周期性(例如，周期性陣列)的二維圖像，有可能將二維空間域圖像變換成二維頻域頻譜圖。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，存在適于在本發(fā)明中實(shí)現(xiàn)的各種空間域-頻域變換操作。在半導(dǎo)體檢查數(shù)據(jù)的上下文中用于進(jìn)行空間域到頻域變換的方法在1996年7月16日授權(quán)的美國(guó)專利N0.5，537，669,2000年2月I日授權(quán)的美國(guó)專利N0.6，021，214、2003年12月16日授權(quán)的美國(guó)專利N0.6，665，432、以及2007年5月15日授權(quán)的美國(guó)專利N0.7，218，768中進(jìn)行了描述，這些專利的全部?jī)?nèi)容通過引用結(jié)合于此。
[0063]在又一實(shí)施例中，可在應(yīng)用上述空間域-頻域變換之前數(shù)字地組合從兩個(gè)或更多個(gè)VFF訓(xùn)練塊取得的空間圖像數(shù)據(jù)。在這一點(diǎn)上，應(yīng)當(dāng)注意，系統(tǒng)100或者用戶可選擇給定圖案化區(qū)域(例如，304)的兩個(gè)或更多個(gè)可用VFF訓(xùn)練塊(例如，312a、…、312e)來改進(jìn)給定空間圖像數(shù)據(jù)集的采樣統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。例如，再次參考圖3，系統(tǒng)100(經(jīng)由算法選擇或用戶反饋)可選擇第一 VFF訓(xùn)練塊312b和第二 VFF訓(xùn)練塊312d并將其組合以形成集聚空間圖像數(shù)據(jù)集。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，通過這樣做，系統(tǒng)100的算法(或者用戶反饋)可標(biāo)識(shí)訓(xùn)練塊312b和312d的強(qiáng)度相對(duì)空間位置數(shù)據(jù)中的峰值，并且在將兩個(gè)數(shù)據(jù)集數(shù)字地相加在一起之前使與兩個(gè)訓(xùn)練塊312ba和213d相關(guān)聯(lián)的周期性圖案對(duì)準(zhǔn)。在創(chuàng)建集聚空間圖像數(shù)據(jù)集之后，可應(yīng)用上述空間域-頻域變換。
[0064]在第六步驟212，可生成在步驟208限定的一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊的虛擬傅里葉濾波器(VFF)。在第七步驟214，可通過將步驟212生成的VFF施加到一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊的初始頻譜來生成一個(gè)或多個(gè)VF訓(xùn)練塊的經(jīng)濾波頻譜。
[0065]再次參考圖6，在一方面，可利用初始頻譜602的顯示頻域中的最大值(例如，604a、604b、604c等)(在步驟210算出)的所標(biāo)識(shí)頻率來針對(duì)一個(gè)或多個(gè)VFF訓(xùn)練塊生成VFF 606ο
[0066]在另一方面，VFF 606被配置成在標(biāo)識(shí)為顯示頻譜最大值的頻率處使初始頻譜的強(qiáng)度的幅值為零。以此方式，生成的VFF 606可用來限制由頻域數(shù)據(jù)中的強(qiáng)度峰值表現(xiàn)的與周期性圖案相關(guān)聯(lián)的強(qiáng)度貢獻(xiàn)。通過使頻域強(qiáng)度數(shù)據(jù)的強(qiáng)度峰值為零，系統(tǒng)100可用來去除或者至少限制來自所檢查的半導(dǎo)體晶片104的重復(fù)圖案部分的貢獻(xiàn)，如將在本文中進(jìn)一步詳細(xì)討論的。如圖6所示，VFF 606被限定為在初始頻域頻譜602的峰值最大值(例如，604a、604b、605c等)的頻率位置處具有零幅值。
[0067]在一個(gè)實(shí)施例中，系統(tǒng)100可經(jīng)由峰值尋找算法自動(dòng)地定位強(qiáng)度最大值的位置(SP，頻率值)。例如，系統(tǒng)100的峰值尋找算法可用來找到初始頻譜(例如，602)的所有或者幾乎所有的強(qiáng)度峰值(例如，604a、604b、604c等)。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，大量峰值尋找算法可適于在本發(fā)明中實(shí)現(xiàn)。
[0068]在另一實(shí)施例中，可利用用戶經(jīng)由用戶界面提供的反饋來標(biāo)識(shí)強(qiáng)度相對(duì)頻率數(shù)據(jù)集的強(qiáng)度峰值。以此方式，系統(tǒng)100可將頻域強(qiáng)度頻譜的一幅或多幅圖像顯示到顯示設(shè)備114上。然后，用戶可通過經(jīng)由用戶界面116(例如，鍵盤、鼠標(biāo)、觸摸屏等)輸入標(biāo)識(shí)指令來標(biāo)識(shí)一個(gè)或多個(gè)強(qiáng)度峰值。在又一實(shí)施例中，首先，可經(jīng)由一種或多種峰值尋找算法標(biāo)識(shí)給定頻域頻譜的強(qiáng)度峰值。然后，用戶可“檢查”自動(dòng)峰值標(biāo)識(shí)的結(jié)果，并且經(jīng)由用戶界面116對(duì)所標(biāo)識(shí)峰值集作出調(diào)整。
[0069]在又一實(shí)施例中，系統(tǒng)100可被配置成允許用戶修改由系統(tǒng)100的峰值尋找算法使用的準(zhǔn)則。例如，系統(tǒng)100可被配置成允許用戶選擇系統(tǒng)100應(yīng)當(dāng)分析的頻率范圍。在另一示例中，系統(tǒng)100可被配置成允許用戶建立應(yīng)當(dāng)分配有峰值強(qiáng)度位置的最小強(qiáng)度，由此忽略所選最小峰值以下的所有峰值。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，與峰值尋找準(zhǔn)則相關(guān)的以上示例并不表示限制，而是應(yīng)當(dāng)只被解釋為說明性的，因?yàn)榇嬖诒绢I(lǐng)域已知的可由用戶選擇和/或調(diào)整的多個(gè)準(zhǔn)則。
[0070]在標(biāo)識(shí)到峰值位置(例如，604a、604b、604c等)之后，系統(tǒng)100可通過創(chuàng)建在所標(biāo)識(shí)峰值的頻率位置處具有零幅值且具有最大幅值I的函數(shù)來形成VFF 606，如圖6所示。由此，VFF 606的函數(shù)用來使初始頻域頻譜的強(qiáng)度峰值為零，同時(shí)維持非峰值頻率處的相同幅值。
[0071]圖7示出由生成的VFF 606對(duì)一個(gè)或多個(gè)訓(xùn)練塊的初始頻譜602的施加而產(chǎn)生的經(jīng)濾波頻譜702。如圖7所示，已濾除圖6的未經(jīng)濾波的頻譜602中存在的峰值(例如，604a,604b,604c等)，同時(shí)頻譜702的非峰值頻率的強(qiáng)度水平相對(duì)于初始頻譜602保持不變。
[0072]在另一實(shí)施例中，可合并兩個(gè)或更多個(gè)VFF以形成單個(gè)集聚VFF。例如，從圖案區(qū)域的第一 VFF訓(xùn)練塊取得的第一 VFF可與從相同圖案區(qū)域的第二訓(xùn)練取得的第二 VFF合并。舉例而言，可對(duì)從第一和第二訓(xùn)練塊取得的頻譜一起求平均。在另一實(shí)例中，可選擇性地組合兩個(gè)頻譜，其中系統(tǒng)100可主動(dòng)地選擇兩個(gè)頻譜的哪些部分要組合。在又一實(shí)施例中，在自動(dòng)的基礎(chǔ)上，利用系統(tǒng)100的合并算法來進(jìn)行兩個(gè)或更多個(gè)VFF的合并。在另一實(shí)施例中，系統(tǒng)100可用來基于用戶經(jīng)由用戶界面116提供的反饋來合并兩個(gè)或更多個(gè)VFF。例如，在觀察到顯示設(shè)備114上的兩個(gè)或更多個(gè)經(jīng)濾波頻譜702或者相關(guān)聯(lián)的VFF606之后，用戶可提供關(guān)于如何合并兩個(gè)或更多個(gè)數(shù)據(jù)集的用戶反饋。舉例而言，用戶可選擇要合并的VFF集合606。在又一實(shí)施例中，用戶可經(jīng)由用戶界面116選擇要組合的圖案區(qū)域的兩個(gè)或更多個(gè)VFF訓(xùn)練塊。然后，系統(tǒng)100可自動(dòng)地執(zhí)行合并操作，由此合并與用戶所選的VFF訓(xùn)練塊相關(guān)聯(lián)的VFF。
[0073]在本文中還應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，在標(biāo)識(shí)到峰值位置之前可首先通過合并兩個(gè)或更多個(gè)頻域數(shù)據(jù)集來執(zhí)行兩個(gè)或更多個(gè)VFF的合并。在這種意義上，系統(tǒng)100可標(biāo)識(shí)由從兩個(gè)或更多個(gè)VFF訓(xùn)練塊采集的強(qiáng)度相對(duì)頻率數(shù)據(jù)集的組合構(gòu)成的集聚強(qiáng)度相對(duì)頻率數(shù)據(jù)集的峰值位置。
[0074]在另一實(shí)施例中，初始圖像數(shù)據(jù)集可包括在檢查系統(tǒng)的第一通道上收集的第一圖像數(shù)據(jù)集、以及在該檢查的第二通道上收集的第二圖像數(shù)據(jù)集。在這一點(diǎn)上，每一濾波器可被配置成對(duì)應(yīng)于檢查系統(tǒng)的單個(gè)通道。
[0075]現(xiàn)在參考圖8A至8D，VFF濾波器可被配置為一維濾波器或二維濾波器。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖8A和SB所示，一維VFF可由適于濾除來自只有垂直或水平周期性的圖案化區(qū)域的照明貢獻(xiàn)的濾波器構(gòu)成。例如，圖8A的區(qū)域802示出具有垂直重復(fù)結(jié)構(gòu)的區(qū)域，而圖8B的區(qū)域804示出具有水平重復(fù)結(jié)構(gòu)的區(qū)域。在這一點(diǎn)上，在步驟212生成的VFF可被配置成濾除來自一維圖案的照明，如圖8A和SB所示。
[0076]在另一實(shí)施例中，VFF可包括二維VFF。例如，圖8C示出具有“可分離”的二維結(jié)構(gòu)的圖案化區(qū)域。在這種意義上，結(jié)構(gòu)806的組件結(jié)構(gòu)各自顯示沿著垂直或水平方向的周期性。由此，在步驟212