包括本文中所描述的任何存儲介質(zhì)、或者本領域已知的任何其他合適的存儲介質(zhì)。在已存儲了這些結果之后，這些結果可在存儲介質(zhì)中存取且可由本文中所描述的任何方法或系統(tǒng)實施例使用，被格式化以顯示給用戶，由另一軟件模塊、方法或系統(tǒng)使用等。此外，這些結果可被“永久地”、“半永久地”、臨時地存儲、或者被存儲一段時間。例如，存儲介質(zhì)可以是隨機存取存儲器(RAM)，并且這些結果可能在存儲介質(zhì)中不必無限地持續(xù)。
[0110]還可構想，以上所述的方法的每一實施例可包括本文中所描述的任何其他方法的任何其他步驟。另外，以上所述的方法的每一實施例可由本文中所描述的任何系統(tǒng)執(zhí)行。
[0111]本領域內(nèi)技術人員將理解，存在可實現(xiàn)本文中所描述的過程和/或系統(tǒng)和/或其他技術的各種載體(例如，硬件、軟件、和/或固件)，并且優(yōu)選載體將隨著部署過程和/或系統(tǒng)和/或其他技術的上下文而變化。例如，如果實施者確定速度和準確性是首要的，則實施者可主要傾向于硬件和/或固件載體；或者如果靈活性是首要的，則實施者可主要傾向于軟件實現(xiàn)；再或者，實施者可傾向于硬件、軟件和/或固件的一些組合。因此，存在可實現(xiàn)本文中所描述的過程和/或器件和/或其他技術的若干可能的載體，它們都沒有在本質(zhì)上優(yōu)于其他選擇，因為要利用的任何載體是依賴于將部署載體的上下文以及實施者的特定考慮(例如，速度、靈活性、或預測性)的選擇，這些因素中的任一個都可變化。本領域技術人員將認識到，光學實現(xiàn)方面通常將采用光學取向的硬件、軟件、和/或固件。
[0112]本領域技術人員將認識到，在本領域中以本文中所闡述的方式描述器件和/或過程、以及此后使用工程實踐將這種所述器件和/或過程集成到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)中是普遍的。即，本文中所描述的至少一部分器件和/或過程可經(jīng)由合理數(shù)量的實驗集成到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)中。本領域技術人員將認識到，典型數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)一般包括系統(tǒng)單元外殼、視頻顯示設備、存儲器(諸如易失性和非易失性存儲器)、處理器(諸如微處理器和數(shù)字信號處理器)、計算實體(諸如操作系統(tǒng)、驅(qū)動器、圖形用戶界面、以及應用程序)、一個或多個交互設備(諸如觸摸板或觸摸屏)、和/或包括反饋環(huán)和控制電機(例如，用于感測位置和/或速度的反饋；用于移動和/或調(diào)整組分和/或量的控制電機)的控制系統(tǒng)中的一個或多個。典型數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)可利用諸如通常在數(shù)據(jù)計算/通信和/或網(wǎng)絡計算/通信系統(tǒng)中找到的任何合適的商用組件來實現(xiàn)。
[0113]本文中所描述的主題有時示出不同的組件，這些組件包含在其他不同組件內(nèi)或者與其他不同組件連接。應當理解，這些所示體系結構只是示例性的，并且事實上可實現(xiàn)獲得同樣功能的許多其他體系結構。在概念的意義上，實現(xiàn)相同功能的組件的任何排列有效地“關聯(lián)”以實現(xiàn)期望功能。因此，在本文中組合以實現(xiàn)特定功能的任意兩個組件可被視為彼此“關聯(lián)”以實現(xiàn)期望功能，不管體系結構或中間組件如何。同樣，如此關聯(lián)的任意兩個組件也可被視為彼此“連接”或“耦合”以實現(xiàn)期望功能，并且能夠如此關聯(lián)的任意兩個組件也可被視為可彼此“耦合”以實現(xiàn)期望功能?？神詈系木唧w示例包括但不限于可物理匹配和/或物理交互的組件、和/或可無線交互和/或無線交互的組件、和/或邏輯交互和/或可邏輯交互的組件。
[0114]盡管已示出和描述了本文中所描述的本主題的特定方面，但對本領域技術人員而言將顯而易見的是，基于本文中的教導可作出改變和修改而不背離本文中所描述的主題及其更寬的范圍，并且因此所附權利要求書將涵蓋在所有這些改變和修改落入本文中所描述的主題的真實精神和范圍的其范圍內(nèi)。
[0115]此外，應當理解，本發(fā)明由所附權利要求書限定。
[0116]雖然已示出了本發(fā)明的特定實施例，但是顯而易見的是本領域技術人員可對本發(fā)明作出各種修改和實施例，而不背離以上公開的范圍和精神。因此，本發(fā)明的范圍應當只由此處所附權利要求書限定。
[0117]相信本公開及其帶來的許多優(yōu)點應當通過上述描述來理解，并且應當顯而易見的是可以組件的形式、結構和排列作出各種改變，而不背離所公開的主題或者不犧牲其所有實質(zhì)優(yōu)勢。所描述的形式只是解釋性的，并且以下權利要求書旨在涵蓋并包括這些變化。
【主權項】
1.一種用于檢測從半導體表面采集的圖像數(shù)據(jù)中的缺陷的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括: 檢查系統(tǒng)； 計算系統(tǒng)，所述計算系統(tǒng)與所述檢查系統(tǒng)通信耦合，并且包括一個或多個處理器，其中所述處理器被配置為執(zhí)行存儲介質(zhì)中保持的程序指令集，所述程序指令集被配置使得所述一個或多個處理器: 從所述檢查系統(tǒng)接收來自半導體晶片的一個或多個圖像數(shù)據(jù)集； 對所述一個或多個圖像數(shù)據(jù)集進行圖案搜索，以標識所述半導體晶片上的一個或多個圖案化區(qū)域； 生成一個或多個虛擬傅里葉濾波器(VFF)工作區(qū)，其中每一 VFF工作區(qū)包括所述一個或多個所標識圖案化區(qū)域中的至少一個； 利用所述一個或多個圖像數(shù)據(jù)集來將兩個或更多個VFF訓練塊限定在所述一個或多個VFF工作區(qū)的每一個內(nèi)，以便限制所標識圖案化區(qū)域的非重復圖案部分對強度的貢獻，其中被選工作區(qū)內(nèi)的第一 VFF訓練塊被限定為涵蓋所述被選工作區(qū)的第一部分，該第一部分包括所述一個或多個所標識圖案化區(qū)域的第一所標識圖案化區(qū)域，所述第一所標識圖案化區(qū)域包括被選重復圖案，并且所述被選工作區(qū)內(nèi)的附加VFF訓練塊被限定為涵蓋所述被選工作區(qū)的附加部分，該附加部分包括所述一個或多個所標識圖案化區(qū)域的附加所標識圖案化區(qū)域，所述附加所標識圖案化區(qū)域包括所述被選重復圖案； 通過將與所述兩個或更多個VFF訓練塊相關聯(lián)的空間域強度信息變換成頻域頻譜信息，利用來自每一 VFF訓練塊的所述圖像數(shù)據(jù)集來計算沿著每一 VFF訓練塊的至少一個維度的初始頻譜； 通過標識在所述頻域中具有頻譜最大值的初始頻譜的頻率來生成每一 VFF訓練塊的VFF，其中所述VFF被配置成在初始頻譜的標識為顯示頻譜最大值的頻率處使初始頻譜的幅值為零； 通過將一個或多個生成的VFF施加到所述一個或多個圖案化區(qū)域的初始頻譜來生成所述一個或多個圖案化區(qū)域的一個或多個經(jīng)濾波頻譜；以及 通過將所述一個或多個圖案化區(qū)域的一個或多個生成的經(jīng)濾波頻譜變換成一個或多個空間域圖像數(shù)據(jù)集來創(chuàng)建所述一個或多個圖案化區(qū)域的經(jīng)濾波圖像數(shù)據(jù)集。2.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查系統(tǒng)包括: 亮場檢查系統(tǒng)和暗場檢查系統(tǒng)中的至少一個。3.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查系統(tǒng)包括: 電子束檢查系統(tǒng)。4.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查系統(tǒng)包括硬件傅里葉濾波器(HffFF) ο5.一種用于檢測從半導體表面采集的圖像數(shù)據(jù)中的缺陷的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括: 檢查系統(tǒng)； 計算系統(tǒng)，所述計算系統(tǒng)與所述檢查系統(tǒng)通信耦合，并且包括一個或多個處理器，其中所述處理器被配置為執(zhí)行存儲介質(zhì)中保持的程序指令集，所述程序指令集被配置使得所述一個或多個處理器: 對與半導體晶片相關聯(lián)的設計布局數(shù)據(jù)進行圖案搜索，以標識與所述半導體晶片的一個或多個器件結構接近的半導體晶片的一個或多個圖案化區(qū)域或者所述一個或多個器件結構中的至少一個； 生成所述半導體晶片的一個或多個虛擬傅里葉濾波器(VFF)工作區(qū)，其中每一 VFF工作區(qū)包括經(jīng)由所述設計布局數(shù)據(jù)標識的所述一個或多個圖案化區(qū)域中的至少一個； 從所述檢查系統(tǒng)接收來自每一 VFF工作區(qū)的初始圖像數(shù)據(jù)集； 利用所述初始圖像數(shù)據(jù)集來將兩個或更多個VFF訓練塊限定在所述一個或多個VFF工作區(qū)的每一個內(nèi)，以便限制所標識圖案化區(qū)域的非重復圖案部分對強度的貢獻，其中被選工作區(qū)內(nèi)的第一 VFF訓練塊被限定為涵蓋所述被選工作區(qū)的第一部分，該第一部分包括所述一個或多個所標識圖案化區(qū)域的第一所標識圖案化區(qū)域，所述第一所標識圖案化區(qū)域包括被選重復圖案，并且所述被選工作區(qū)內(nèi)的附加VFF訓練塊被限定為涵蓋所述被選工作區(qū)的附加部分，該附加部分包括所述一個或多個所標識圖案化區(qū)域的附加所標識圖案化區(qū)域，所述附加所標識圖案化區(qū)域包括所述被選重復圖案； 通過將與所述兩個或更多個訓練塊相關聯(lián)的空間域強度信息變換成頻域頻譜信息，利用來自每一 VFF訓練塊的所述初始圖像數(shù)據(jù)集來計算沿著每一 VFF訓練塊的至少一個維度的初始頻譜； 通過標識所述頻域中初始頻譜的具有頻譜最大值的頻率來生成每一 VFF訓練塊的VFF ； 通過將一個或多個生成的VFF施加到所述一個或多個圖案化區(qū)域的初始頻譜來生成所述一個或多個圖案化區(qū)域的一個或多個經(jīng)濾波頻譜；以及 通過將所述一個或多個圖案化區(qū)域的一個或多個生成的經(jīng)濾波頻譜變換成一個或多個空間域圖像數(shù)據(jù)集來創(chuàng)建所述一個或多個圖案化區(qū)域的經(jīng)濾波圖像數(shù)據(jù)集。6.如權利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查系統(tǒng)包括: 亮場檢查系統(tǒng)和暗場檢查系統(tǒng)中的至少一個。7.如權利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查系統(tǒng)包括: 電子束檢查系統(tǒng)。8.如權利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查系統(tǒng)包括硬件傅里葉濾波器(HffFF) ο
【專利摘要】本發(fā)明涉及基于區(qū)域的虛擬傅里葉濾波器，包括：搜索圖像數(shù)據(jù)以標識半導體晶片上的一個或多個圖案化區(qū)域；生成一個或多個虛擬傅里葉濾波器(VFF)工作區(qū)；從VFF工作區(qū)采集初始圖像數(shù)據(jù)集；利用初始圖像數(shù)據(jù)集來將VFF訓練塊限定在VFF工作區(qū)的所標識圖案化區(qū)域內(nèi)，其中每一VFF訓練塊被限定為涵蓋所標識圖案化區(qū)域的顯示所選重復圖案的部分；利用來自VFF訓練塊的初始圖像數(shù)據(jù)集來計算每一VFF訓練塊的初始頻譜；以及通過標識在頻域中初始頻譜的具有最大值的頻率來生成每一訓練塊的VFF，其中VFF被配置成在標識為顯示頻譜最大值的頻率處使初始頻譜的幅值為零。
【IPC分類】G06T7/00
【公開號】CN105118046
【申請?zhí)枴緾N201510415381
【發(fā)明人】L·高, K·吳, A·帕克, E·常, K·扎法, J（J）·黃, P·顧, C·馬赫, G·H·陳, S·榮, L-M·吳
【申請人】克拉-坦科股份有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2011年8月1日
【公告號】CN103329167A, US8989479, US20120141013, WO2012016243A2, WO2012016243A3, WO2012016243A8