上輸出的檢查結(jié)果包含所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或各類測(cè)試圖形的的使用數(shù)量，名稱，物理含義。
[0071] 步驟五、根據(jù)對(duì)所述檢查結(jié)果的分析確認(rèn)所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是否合格：如果所 提取的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和測(cè)試圖形的信息和對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn) 配置文件中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或測(cè)試圖形的信息一致，則所提取的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的 各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和測(cè)試圖形的信息符合劃片槽設(shè)計(jì)規(guī)則，判定所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合格；否 貝1J，判定所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合格。
[0072] 當(dāng)判定所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合格時(shí)，對(duì)錯(cuò)誤類型進(jìn)行分析和判斷：如何判斷所 述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)正確則對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件中存在偽錯(cuò)項(xiàng)，此時(shí)需要在數(shù)據(jù)庫(kù)中消 除對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件的偽錯(cuò)項(xiàng)，所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)判定結(jié)果改為合格；如果對(duì)應(yīng) 的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件的正確，則所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不正確，此時(shí)需要回到步驟三并重復(fù) 步驟三、四和五。
[0073] 本發(fā)明實(shí)施例中利用解析函數(shù)對(duì)劃片槽版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，抽取各類Mark的使 用信息，然后與步驟二中預(yù)先設(shè)定的配置文件（含Mark的放置規(guī)則）進(jìn)行比較，自動(dòng)輸出 所有Mark的檢查結(jié)果。該方法由機(jī)器完成對(duì)劃片槽結(jié)構(gòu)信息的檢查，不僅大大提高了工作 效率（對(duì)于〇. 13μπι的版圖數(shù)據(jù)可以在幾秒鐘內(nèi)完成層次檢查），并且確保了劃片槽結(jié)構(gòu)的 準(zhǔn)確性。
[0074] 步驟四中檢查結(jié)果通過(guò)ERROR LIST(錯(cuò)誤列表）窗口輸出的信息，不同的錯(cuò)誤類 型，使用不同的顏色標(biāo)示，如能采用如下規(guī)則表示：
[0075] 紅色表示漏放。
[0076] 紫色表示放了，但有數(shù)量有差異。
[0077] 灰色表示冗余的MARK。
[0078] 未出現(xiàn)以上三種情況的，即全部0K，則顯示綠色框。
[0079] 上述檢查結(jié)果的表示很方便步驟五中的分析確認(rèn)。
[0080] 本發(fā)明實(shí)施例方法通過(guò)不同工藝對(duì)劃片槽結(jié)構(gòu)檢查的要求進(jìn)行分析，總結(jié)出共同 點(diǎn)，并將特殊點(diǎn)進(jìn)行可選性功能模塊添加，然后制定各工藝的標(biāo)準(zhǔn)配置文件（內(nèi)含所有對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記以及測(cè)試圖形），以db的形式存放于數(shù)據(jù)庫(kù)中。對(duì)于實(shí)際產(chǎn)品級(jí)的劃片槽結(jié)構(gòu)做檢 查時(shí)，該方法能解析版圖數(shù)據(jù)中各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以及測(cè)試圖形的放置個(gè)數(shù)和方向，通過(guò)調(diào)取 數(shù)據(jù)庫(kù)中相應(yīng)配置文件進(jìn)行比對(duì)，然后輸出劃片槽結(jié)構(gòu)檢查的結(jié)果。本發(fā)明實(shí)施例方法的 應(yīng)用完全實(shí)現(xiàn)了對(duì)劃片槽結(jié)構(gòu)的自動(dòng)檢查，并對(duì)非正常的放置報(bào)出錯(cuò)誤，同時(shí)生成日志文 件，便于工程師進(jìn)行復(fù)查，大大縮短了檢查的時(shí)間，提高了工作效率，并有效降低了人工目 視檢查的失誤率。實(shí)測(cè)下來(lái)，各個(gè)工藝的檢查時(shí)間根據(jù)版圖數(shù)據(jù)大小的不同基本都能控制 在1分鐘之內(nèi)。可視化的操作界面使用起來(lái)非常方便，其中的算法也具有很好的拓展型，可 以方便的將之拓展到各個(gè)工藝。另外，數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)容維護(hù)方法也簡(jiǎn)單實(shí)用，易于批處理化。
[0081] 以上通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但這些并非構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限 制。在不脫離本發(fā)明原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可做出許多變形和改進(jìn)，這些也應(yīng) 視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于，包括如下步驟： 步驟一、為每一種工藝制定一個(gè)對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)配置文件，所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件中設(shè)置有對(duì) 應(yīng)的工藝的劃片槽的所有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或測(cè)試圖形的信息； 步驟二、將各所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件導(dǎo)入到數(shù)據(jù)庫(kù)中進(jìn)行存儲(chǔ)，所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的各所述標(biāo) 準(zhǔn)配置文件按照對(duì)應(yīng)的工藝的名稱區(qū)分； 步驟三、根據(jù)實(shí)際的工藝需要進(jìn)行掩膜板設(shè)計(jì)，在所述掩膜板設(shè)計(jì)中的劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)完成后，采用圖形用戶界面方式提取需要檢查的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)，解析所述 劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和測(cè)試圖形的信息，然后從所述數(shù)據(jù)庫(kù)中選擇所述 掩膜板設(shè)計(jì)中的工藝所對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件，將解析的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的 各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的信息和所對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的信息進(jìn)行對(duì)比操作，將 解析的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類測(cè)試圖形的信息和所對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件 中的測(cè)試圖形的信息進(jìn)行對(duì)比操作，并將所述對(duì)比操作的檢查結(jié)果輸出； 步驟四、分析所述圖形用戶界面上輸出的檢查結(jié)果并將所述檢查結(jié)果文件保存； 步驟五、根據(jù)對(duì)所述檢查結(jié)果的分析確認(rèn)所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是否合格：如果所提取 的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和測(cè)試圖形的信息和對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置 文件中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或測(cè)試圖形的信息一致，則所提取的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和測(cè)試圖形的信息符合劃片槽設(shè)計(jì)規(guī)則，判定所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合格；否則，判 定所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合格。2. 如權(quán)利要求1所述的掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于：步驟 一中為各工藝制定對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件包括如下步驟： 步驟11、確定對(duì)應(yīng)工藝所支持的最低和最高金屬層數(shù)； 步驟12、確定對(duì)應(yīng)工藝包含多少個(gè)可選層次； 步驟13、結(jié)合電子文檔規(guī)格書(shū)查找對(duì)應(yīng)工藝的劃片槽的所有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或測(cè)試圖形的信 息； 步驟14、結(jié)合步驟11所確定的所述最低和最高金屬層數(shù)、步驟12確定的所述可選層次 以及步驟13所得到的信息進(jìn)行算法組合形成所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件所要求格式的各所述對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記或各所述測(cè)試圖形的信息； 步驟15、整理步驟14進(jìn)行算法組合形成的各所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或各所述測(cè)試圖形的信息， 每一行對(duì)應(yīng)于一個(gè)各所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或各所述測(cè)試圖形的信息記錄，由對(duì)應(yīng)工藝的所有的所 述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和所述測(cè)試圖形的信息記錄組成對(duì)應(yīng)的工藝的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件。3. 如權(quán)利要求1所述的掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于：步驟 二中還能根據(jù)需要對(duì)存儲(chǔ)于所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件進(jìn)行修改、追加或刪除。4. 如權(quán)利要求1所述的掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于：當(dāng)步 驟三中的所述掩膜板設(shè)計(jì)所對(duì)應(yīng)的實(shí)際工藝為以前所沒(méi)有使用過(guò)的新工藝時(shí)，該新工藝所 對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件不存在于所述數(shù)據(jù)庫(kù)中，需要進(jìn)行步驟一和二將該新工藝所對(duì)應(yīng) 的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件導(dǎo)入到所述數(shù)據(jù)庫(kù)； 當(dāng)步驟三中的所述掩膜板設(shè)計(jì)所對(duì)應(yīng)的實(shí)際工藝為以前使用過(guò)的舊工藝時(shí)，該舊工藝 所對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件存在于所述數(shù)據(jù)庫(kù)中，此時(shí)需要比較所述實(shí)際工藝和所述舊工 藝相比是否增加了或刪除了相應(yīng)的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或所述測(cè)試圖形，如增加了或刪除了相應(yīng) 的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或所述測(cè)試圖形則需要在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)所述舊工藝的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文 件進(jìn)行相應(yīng)的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或所述測(cè)試圖形的增加或刪減；如果需要比較所述實(shí)際工藝和 所述舊工藝相比所對(duì)應(yīng)的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或所述測(cè)試圖形都相同，則不需要對(duì)所述舊工藝的 所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件進(jìn)行修改。5. 如權(quán)利要求1所述的掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于：步驟 二中所述數(shù)據(jù)庫(kù)為sqlite數(shù)據(jù)庫(kù)。6. 如權(quán)利要求1所述的掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于：步驟 四中分析所述圖形用戶界面上輸出的檢查結(jié)果包含所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記或各類測(cè)試圖形的的使用數(shù)量，名稱，物理含義。7. 如權(quán)利要求1所述的掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于：步驟 三中在所述掩膜板設(shè)計(jì)中的劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)完成后、采用圖形用戶界面方式提取需要檢查 的所述劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)之前，還包括進(jìn)行所述劃片槽的襯底檢查的工藝步驟，所述 劃片槽的襯底檢查包括： 步驟31、檢查所述劃片槽結(jié)構(gòu)的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或所述測(cè)試圖形是否為于所述劃片槽的 中心； 步驟32、檢查所述劃片槽結(jié)構(gòu)上的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或所述測(cè)試圖形之間是否存在交疊。8. 如權(quán)利要求1所述的掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，其特征在于：步驟 五中判定所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合格時(shí)，對(duì)錯(cuò)誤類型進(jìn)行分析和判斷：如何判斷所述劃片 槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)正確則對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件中存在偽錯(cuò)項(xiàng)，此時(shí)需要在數(shù)據(jù)庫(kù)中消除對(duì)應(yīng) 的所述標(biāo)準(zhǔn)配置文件的偽錯(cuò)項(xiàng)，所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)判定結(jié)果改為合格；如果對(duì)應(yīng)的所述 標(biāo)準(zhǔn)配置文件的正確，則所述劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不正確，此時(shí)需要回到步驟三并重復(fù)步驟三、 四和五。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種掩膜板設(shè)計(jì)中劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的檢查方法，包括如下步驟：制定工藝的標(biāo)準(zhǔn)配置文件；將各標(biāo)準(zhǔn)配置文件導(dǎo)入到數(shù)據(jù)庫(kù)中進(jìn)行存儲(chǔ)；根據(jù)實(shí)際的工藝需要進(jìn)行掩膜板設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)完成后，采用圖形用戶界面方式提取需要檢查的劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)，解析劃片槽結(jié)構(gòu)的版圖數(shù)據(jù)的各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和測(cè)試圖形的信息，然后從數(shù)據(jù)庫(kù)中選擇對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)配置文件，將解析得到的各類對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或測(cè)試圖形的信息和標(biāo)準(zhǔn)配置文件中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的信息進(jìn)行對(duì)比操作并輸出檢查結(jié)果；分析檢查結(jié)果并保存；根據(jù)對(duì)檢查結(jié)果的分析確認(rèn)劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是否合格。本發(fā)明能縮短檢查時(shí)間、提高工作效率并有效降低失誤率。
【IPC分類】G06F17/30
【公開(kāi)號(hào)】CN105574029
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410546523
【發(fā)明人】張燕榮, 張興洲
【申請(qǐng)人】上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2014年10月16日