技術(shù)特征：
1.一種基板交接裝置，對于形成于間隔壁的開口部，使形成于基板搬送容器的前表面的基板取出口從該間隔壁的一面一側(cè)與所述開口部相對，從所述間隔壁的另一面一側(cè)取下所述基板搬送容器的蓋體，進(jìn)行基板的交接，所述基板交接裝置的特征在于，包括：門，其從所述間隔壁的另一面一側(cè)對所述開口部進(jìn)行開閉；裝卸機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在所述門上、用于對所述基板搬送容器裝卸所述蓋體；進(jìn)退部，其用于使所述門在封閉所述開口部的第一位置與從該位置向前方離開的第二位置之間進(jìn)退；和轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，其使所述門在第二位置與從所述開口部的前方區(qū)域偏離的第三位置之間，繞沿著該門的進(jìn)退方向的轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括：驅(qū)動桿移動的汽缸；連接所述桿和所述門的、與該桿的移動連動地使所述門轉(zhuǎn)動的連接部件，所述進(jìn)退部使所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)與所述門一起進(jìn)退，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動部件，該轉(zhuǎn)動部件的一端一側(cè)固定于所述轉(zhuǎn)動軸，另一端一側(cè)固定于從所述門的中心部起在左右方向和上下方向上偏心的位置，所述開口部、門、進(jìn)退部和轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的組彼此在上下設(shè)置有多個，并且在左右設(shè)置有多個，彼此相鄰的所述開口部、門、進(jìn)退部和轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的組中一個組的第三位置與另一個組的第三位置彼此前后重疊。2.如權(quán)利要求1所述的基板交接裝置，其特征在于：所述第三位置被設(shè)定于在左右方向上偏離第二位置的位置。3.如權(quán)利要求1所述的基板交接裝置，其特征在于：所述第三位置被設(shè)定于在上下方向上偏離第二位置的位置。4.如權(quán)利要求1所述的基板交接裝置，其特征在于：在所述間隔壁的另一面?zhèn)仍O(shè)置有基板檢測機(jī)構(gòu)，該基板檢測機(jī)構(gòu)包括用于檢測位于橫向方向的基板的傳感器部和使所述傳感器部升降的升降部，所述基板交接裝置包括控制部，該控制部對所述基板檢測機(jī)構(gòu)和所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)輸出控制信號來控制該基板檢測機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的動作，所述控制部輸出控制信號，以使所述傳感器部的上升或下降動作與通過門的轉(zhuǎn)動而打開所述開口部的動作并行進(jìn)行。5.一種基板交接方法，其特征在于：使用權(quán)利要求1～4中任一項所述的基板交接裝置進(jìn)行基板的交接，該基板交接方法包括：對于形成于間隔壁的開口部，使形成于基板搬送容器的前表面的基板取出口從該間隔壁的一面一側(cè)與所述開口部相對的工序；利用設(shè)置在用于對所述開口部進(jìn)行開閉的門上的裝卸機(jī)構(gòu)，對基板搬送容器裝卸所述基板搬送容器的蓋體，從所述間隔壁的另一面一側(cè)取下所述蓋體的工序；利用進(jìn)退部使所述門在封閉所述開口部的第一位置與從該位置向前方離開的第二位置之間進(jìn)退，并利用轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)使所述門在第二位置與偏離所述開口部的前方區(qū)域的第三位置之間，繞沿著該門的進(jìn)退方向的轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，由此從所述間隔壁的另一面一側(cè)對所述開口部進(jìn)行開閉的工序；和通過打開的開口部在所述間隔壁的另一面一側(cè)與基板搬送容器之間進(jìn)行基板的交接的工序，其中，所述門的轉(zhuǎn)動由轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)進(jìn)行，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括：驅(qū)動桿移動的汽缸；連接所述桿和所述門的、與該桿的移動連動地使所述門轉(zhuǎn)動的連接部件，該基板交接方法還包括利用所述進(jìn)退部使所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)與所述門一起進(jìn)退的工序。6.如權(quán)利要求5所述的基板交接方法，其特征在于：包括利用升降機(jī)構(gòu)使設(shè)置在所述間隔壁的另一面一側(cè)、用于檢測位于橫向的基板的傳感器部升降的工序，通過門的轉(zhuǎn)動而打開所述開口部的工序與使所述傳感器部上升或下降的工序并行進(jìn)行。