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      一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制作方法與工藝

      文檔序號(hào):11972261閱讀:來源:國(guó)知局
      一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制作方法與工藝

      技術(shù)特征:
      1.一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:包括勢(shì)壘層(103),所述勢(shì)壘層(103)上部設(shè)有源極(101)和柵極(102),下部依次為溝道層(104)、p-GaN電流阻擋層(201)、n-GaN緩沖層(105)、n+-GaN襯底(202)、漏極(203);所述p-GaN電流阻擋層(201)中心設(shè)有寬度為L(zhǎng)AP的孔徑,且嵌套在n-GaN緩沖層(105)上部,所述n-GaN緩沖層(105)內(nèi)設(shè)有p-GaN島(301),所述p-GaN島(301)位于p-GaN電流阻擋層(201)與n+-GaN襯底(202)之間;所述p-GaN島(301)沿著縱軸方向,從上至下共分為n層,n為正整數(shù),n的范圍1≤n≤1000;所述p-GaN島層(301)的每一層均為同一中心線,該中心線也是n-GaN緩沖層(105)的中心線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:所述的p-GaN島層(301)長(zhǎng)度為L(zhǎng)p,其范圍為1nm≤Lp≤LAP,所述的p-GaN島層(301)厚度為Tp,其范圍為1nm≤Tp≤5μm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:所述的p-GaN島層(301)相鄰兩層間距離為Tp-p,其范圍為1nm≤Tp-p≤30μm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:所述的p-GaN島層(301)頂層與p-GaN電流阻擋層(201)之間的間距為TC-P,其范圍為1nm≤TC-P≤15μm,p-GaN島層(301)底層與n+-GaN襯底(202)之間的間距為TP-S,其范圍為1nm≤TP-S≤15μm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:所述的p-GaN島層(301)中,每層摻雜濃度范圍為1×1015~1×1020cm-3。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:所述的p-GaN島層(301)的形狀為長(zhǎng)方形。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:所述p-GaN電流阻擋層(201)的厚度為0.1~5μm,摻雜濃度為1×1015~1×1020cm-3。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有P型GaN島的垂直氮化鎵基異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于:所述勢(shì)壘層(103)的材料為AlxInyGazN,其中0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z≤1,x+y+z=1。
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