本發(fā)明涉及搬送裝置的控制裝置。

背景技術(shù)：

以往，判斷搬送裝置的劣化的技術(shù)中有如下裝置。例如專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了如下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的劣化檢測(cè)裝置：檢測(cè)電機(jī)的可動(dòng)元件的位置及驅(qū)動(dòng)源中流動(dòng)的電流的至少一方，基于相對(duì)可動(dòng)元件的目標(biāo)位置檢測(cè)出的位置的變化和檢測(cè)出的電流的至少一方判斷驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的劣化狀況。

又，專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了如下基板搬送系統(tǒng)的監(jiān)視裝置：比較對(duì)應(yīng)于目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)和對(duì)應(yīng)于通過(guò)檢測(cè)單元檢測(cè)出的可動(dòng)構(gòu)件的實(shí)際的位置的數(shù)據(jù)并求得偏差，該偏差超過(guò)規(guī)定的容許范圍的情況下，判斷為搬送系統(tǒng)的動(dòng)作存在異常。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)：

專利文獻(xiàn)：

專利文獻(xiàn)1：特開(kāi)2005-311259號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：特開(kāi)平10-313037號(hào)公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的問(wèn)題：

但是，以往，搬送裝置中檢測(cè)出異常的情況下，不僅是裝置，在使包括周邊設(shè)備的整個(gè)系統(tǒng)一律停止之后，借助人力作業(yè)弄清出錯(cuò)的原因并進(jìn)行修理。因此，即使是因老化導(dǎo)致搬送機(jī)構(gòu)中發(fā)生機(jī)械及電氣故障的情況，若不經(jīng)人力便無(wú)法修復(fù)，存在裝置的停工時(shí)間變長(zhǎng)這樣的課題。

因此，本發(fā)明目的在于縮短搬送機(jī)構(gòu)中發(fā)生故障的情況下搬送裝置的停工時(shí)間。

解決問(wèn)題的手段：

根據(jù)本發(fā)明的一種形態(tài)，搬送裝置的控制裝置是形成為對(duì)伺服電機(jī)進(jìn)行位置控制同時(shí)通過(guò)該伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的搬送裝置的控制裝置，具備：

取得作為所述位置控制時(shí)電機(jī)的位置偏差及流至電機(jī)的電流的至少一方的劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)間序列的取得器；

將取得的所述劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)間序列進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)器；和

控制器，該控制器在所述劣化指標(biāo)參數(shù)的值超過(guò)預(yù)先設(shè)定的閾值時(shí)使所述搬送機(jī)構(gòu)停止，且基于所述劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)間序列的變化模式來(lái)判定所述劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)所述閾值是否是因所述搬送機(jī)構(gòu)的老化引起，在判定為所述劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)所述閾值是因所述搬送機(jī)構(gòu)的老化引起的情況下，使所述搬送機(jī)構(gòu)降低動(dòng)作速度地動(dòng)作。在此，電機(jī)的位置偏差包括：位置控制時(shí)目標(biāo)值和實(shí)際值之間的差（偏差）、偏移（offset）（殘留偏差）、從基準(zhǔn)位置的脫離量、或失調(diào)。

一般而言，伺服電機(jī)的位置偏差或電流的值隨著時(shí)間的經(jīng)過(guò)緩緩上升的情況下，原因在于老化引起的與搬送機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)連動(dòng)的齒輪的阻塞或潤(rùn)滑油的枯竭的可能性較高。另一方面，位置偏差或電流值急劇變化的情況下，原因在于與障礙物的沖突、齒輪破損等驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)故障的可能性較高。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，取得作為位置控制時(shí)電機(jī)的位置偏差及電流的至少一方的、劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)序數(shù)據(jù)并進(jìn)行存儲(chǔ)。借助于此，能夠監(jiān)視搬送裝置的自我狀態(tài)。并且，劣化指標(biāo)參數(shù)的值超過(guò)預(yù)先設(shè)定的閾值時(shí)使搬送機(jī)構(gòu)停止。借助于此，能夠確保發(fā)生機(jī)械及電氣故障的情況下的安全。并且，基于時(shí)序數(shù)據(jù)的變化模式，判定劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)閾值是否是因搬送機(jī)構(gòu)的老化引起，在判定為劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)閾值是因搬送機(jī)構(gòu)的老化引起的情況下，使所述搬送機(jī)構(gòu)降低動(dòng)作速度地動(dòng)作。借助于此，即使發(fā)生因老化造成的機(jī)械及電氣故障的情況下也能不介入人力而修復(fù)。又，關(guān)于降低速度以此能回避的出錯(cuò)，通過(guò)自動(dòng)降低速度使搬送裝置動(dòng)作，使縮短裝置的停工時(shí)間成為可能。

也可以是，所述控制器在所述劣化指標(biāo)參數(shù)的值超過(guò)所述閾值時(shí)發(fā)出警告信號(hào)，在判定為所述劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)所述閾值并非因所述搬送機(jī)構(gòu)的老化引起的情況下發(fā)出出錯(cuò)信號(hào)。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于搬送裝置的動(dòng)作狀況被準(zhǔn)確地傳達(dá)至周圍，因此作業(yè)者能夠采取適當(dāng)?shù)拇胫谩＞唧w而言，警告信號(hào)時(shí)，存在搬送裝置自動(dòng)復(fù)歸的可能性，因此作業(yè)者沒(méi)有必要立刻進(jìn)行修復(fù)作業(yè)。例如像半導(dǎo)體設(shè)備那樣，向設(shè)備的進(jìn)入被禁止的環(huán)境或困難的環(huán)境下不希望人進(jìn)入設(shè)備內(nèi)，因此能夠謀得維護(hù)之前的時(shí)間。另一方面，出錯(cuò)信號(hào)時(shí)，使包括搬送裝置及生產(chǎn)線等周邊設(shè)備的整個(gè)系統(tǒng)停止，從觀測(cè)到的偏差或電流值等早期發(fā)現(xiàn)故障位置，能夠縮短修理所花費(fèi)的時(shí)間。

也可以是，示出所述搬送機(jī)構(gòu)的老化的所述劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)間序列的變化模式，是由基于所述劣化指標(biāo)參數(shù)值的規(guī)定時(shí)間內(nèi)的變化量進(jìn)行判別。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠適宜地判別參數(shù)值時(shí)序數(shù)據(jù)的變化模式是否是示出搬送機(jī)構(gòu)的老化。

也可以是，所述控制器在使所述搬送裝置復(fù)歸時(shí)，使動(dòng)作速度階段性地降低。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，使搬送裝置的動(dòng)作復(fù)歸變得容易。

所述搬送裝置也可以是在真空環(huán)境下使用的多軸機(jī)械手。

發(fā)明效果：

根據(jù)本發(fā)明，能夠縮短搬送機(jī)構(gòu)中發(fā)生故障的情況下搬送裝置的停工時(shí)間。

參照附圖從以下優(yōu)選實(shí)施形態(tài)的詳細(xì)說(shuō)明能夠明了本發(fā)明的上述目的、其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是示出根據(jù)本實(shí)施形態(tài)的搬送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的概略圖；

圖2是示出圖1的搬送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)及其控制系統(tǒng)的框圖；

圖3是示意性地示出圖2的控制裝置所儲(chǔ)存的劣化指標(biāo)參數(shù)的經(jīng)年變化的圖表；

圖4是示意性地示出圖3的狀態(tài)中發(fā)生故障的情況下劣化指標(biāo)參數(shù)的變化的圖表；

圖5是用于說(shuō)明借助圖2的控制裝置的自我狀態(tài)監(jiān)視動(dòng)作及自動(dòng)復(fù)歸動(dòng)作的流程圖。

具體實(shí)施方式

以下參照附圖說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。以下，所有附圖中相同或相當(dāng)?shù)囊夭捎孟嗤綀D標(biāo)記，省略重復(fù)說(shuō)明。

［結(jié)構(gòu)］

圖1是示出根據(jù)本實(shí)施形態(tài)的搬送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的概略圖。如圖1所示，搬送系統(tǒng)1具備搬送裝置2、與搬送裝置2可通信地連接的控制裝置3、以及與控制裝置3連接的警報(bào)裝置4。

搬送裝置2并不特別限定，能搬送物品即可。搬送裝置2例如是在半導(dǎo)體處理設(shè)備中搬送半導(dǎo)體晶圓、顯示面板用玻璃基板等的水平多關(guān)節(jié)型（scara型）多軸機(jī)械手。搬送裝置2的搬送機(jī)構(gòu)5由設(shè)置于基臺(tái)6的升降軸7、設(shè)置于升降軸7的第一連桿8、設(shè)置于第一連桿8的梢端部的第二連桿9、設(shè)置于第二連桿9的梢端部的第三連桿10、以及設(shè)置于第三連桿10的梢端的末端執(zhí)行器11構(gòu)成。搬送機(jī)構(gòu)5的各結(jié)構(gòu)構(gòu)件各自內(nèi)裝有驅(qū)動(dòng)用的伺服電機(jī)（參照?qǐng)D2）。

控制裝置3形成為對(duì)內(nèi)裝于搬送機(jī)構(gòu)5的多個(gè)伺服電機(jī)進(jìn)行位置控制并通過(guò)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)5的結(jié)構(gòu)?？刂蒲b置3例如具備微控制器等計(jì)算機(jī)，進(jìn)行后述的搬送機(jī)構(gòu)5的狀態(tài)的監(jiān)視動(dòng)作及自動(dòng)復(fù)歸動(dòng)作?？刂蒲b置3不限于單個(gè)裝置，亦可由多個(gè)裝置構(gòu)成。

警報(bào)裝置4向周圍的現(xiàn)場(chǎng)操作者通知搬送裝置2處于警告狀態(tài)或出錯(cuò)狀態(tài)。警報(bào)裝置4通過(guò)來(lái)自控制裝置3的警告信號(hào)或出錯(cuò)信號(hào)控制，通過(guò)パトライト（patlite）（注冊(cè)商標(biāo)）的燈及旋律喇叭（melodyhorn）的警報(bào)報(bào)知出錯(cuò)，但亦可通過(guò)其他的報(bào)知方法報(bào)知。

圖2是示出搬送機(jī)構(gòu)5的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)及其控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。如圖2所示，搬送機(jī)構(gòu)5的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)具有：與交流電源21連接的ac/dc變換電路22、平滑電路23、逆變電路24、伺服電機(jī)25、電流檢測(cè)器26、以及位置檢測(cè)器27。此處僅示出搬送機(jī)構(gòu)5內(nèi)裝的一個(gè)伺服電機(jī)25的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其他的伺服電機(jī)25的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)也是同樣。

交流電源21例如是三相交流電源。ac/dc變換電路22與交流電源21的輸出端子連接，將從交流電源21輸出的三相交流電力變換為直流電力輸出至平滑電路23。ac/dc變換電路22例如是三相全波整流電路。

平滑電路23與ac/dc變換電路22的輸出端子連接，將ac/dc變換電路22的直流輸出電壓平滑化并輸出至逆變電路24。平滑電路23例如是電容器。

逆變電路24與平滑電路23及控制裝置3的輸出端子連接，基于從控制裝置3輸入的控制指令，將從平滑電路23輸出的直流電力變換為交流電力，并將驅(qū)動(dòng)電流向伺服電機(jī)25輸出。逆變電路24例如由具有六個(gè)半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件的三相橋式逆變電路、和遵循控制信號(hào)向各開(kāi)關(guān)元件的控制端子供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)電路構(gòu)成。

伺服電機(jī)25借助逆變電路24的驅(qū)動(dòng)電流驅(qū)動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)5（參照?qǐng)D1）。伺服電機(jī)25例如為dc伺服電機(jī)。

電流檢測(cè)器26與逆變電路24的輸出端子連接，檢測(cè)伺服電機(jī)25的驅(qū)動(dòng)電流，將檢測(cè)結(jié)果輸出至控制裝置3。在此，驅(qū)動(dòng)電流是電機(jī)的“負(fù)荷電流”或“電樞電流”。

位置檢測(cè)器27安裝于伺服電機(jī)25，檢測(cè)伺服電機(jī)25的位置（相對(duì)于轉(zhuǎn)子的基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置的旋轉(zhuǎn)角度位置）并輸出至控制裝置3。位置檢測(cè)器27例如是安裝于電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸的編碼器（encoder）或解析器（resolver）。

控制裝置3具備：接受各檢測(cè)器26、27的輸出的取得器31、用于存儲(chǔ)信息的存儲(chǔ)器32、控制搬送裝置2的動(dòng)作同時(shí)進(jìn)行搬送機(jī)構(gòu)的狀態(tài)監(jiān)視動(dòng)作及自動(dòng)復(fù)歸動(dòng)作的控制器33、以及輸入輸出接口（圖未示）。存儲(chǔ)器32中存儲(chǔ)本實(shí)施形態(tài)中的控制程序，控制器33遵循該控制程序進(jìn)行各種計(jì)算，以此進(jìn)行搬送裝置2的搬送動(dòng)作同時(shí)進(jìn)行搬送機(jī)構(gòu)5的狀態(tài)的監(jiān)視動(dòng)作及自動(dòng)復(fù)歸動(dòng)作。

取得器31取得作為位置控制時(shí)電機(jī)25的位置偏差及流至電機(jī)25電流（驅(qū)動(dòng)電流）的劣化指標(biāo)參數(shù)的值。在此，電機(jī)的位置偏差包括：位置控制時(shí)目標(biāo)值和實(shí)際值之間的差（偏差）、偏移（offset）（殘留偏差）、從基準(zhǔn)位置的脫離量、或失調(diào)。取得器31根據(jù)位置檢測(cè)器17檢測(cè)出的位置信息（電機(jī)25的位置）、和位置信息的理論值算出位置偏差。取得器31取得由電流檢測(cè)器16檢測(cè)出的流至伺服電機(jī)25的電流值。

存儲(chǔ)器32除了控制程序之外還存儲(chǔ)取得的劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)序數(shù)據(jù)及閾值等信息。存儲(chǔ)器32將由取得器31算出的位置偏差及取得的電流作為劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)間序列（按時(shí)間經(jīng)過(guò)順序排列的一組參數(shù)值）進(jìn)行存儲(chǔ)（參照?qǐng)D3、圖4）。

控制器33在劣化指標(biāo)參數(shù)的值超過(guò)預(yù)先設(shè)定的閾值時(shí)停止搬送機(jī)構(gòu)5，且基于時(shí)序數(shù)據(jù)的變化模式判定劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)閾值是否是因搬送機(jī)構(gòu)5的老化引起的，在判定為劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)閾值是因搬送機(jī)構(gòu)5的老化引起的情況下，使搬送機(jī)構(gòu)5降低動(dòng)作速度地動(dòng)作。

［動(dòng)作］

首先說(shuō)明以上結(jié)構(gòu)的搬送裝置2的基本的搬送動(dòng)作。控制裝置3基于由位置檢測(cè)器27檢測(cè)出的實(shí)測(cè)值相對(duì)于搬送裝置2的動(dòng)作路徑的位置指令值的位置偏差，決定驅(qū)動(dòng)電機(jī)所需的電流，以使該電流流動(dòng)的形式生成控制命令，輸出至逆變電路14。如此，控制裝置3以通過(guò)反饋控制使搬送機(jī)構(gòu)5（圖1）內(nèi)裝的多個(gè)伺服電機(jī)25（圖2）成為位置指令值的形式進(jìn)行位置控制同時(shí)通過(guò)伺服電機(jī)25驅(qū)動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)5，借助于此，將基板搬送至規(guī)定的位置。

接著，用圖3說(shuō)明作為本發(fā)明特征的自我狀態(tài)監(jiān)視動(dòng)作及自動(dòng)復(fù)歸動(dòng)作的原理。圖3是示意性地示出控制裝置3的存儲(chǔ)器32所存儲(chǔ)的劣化指標(biāo)參數(shù)的經(jīng)年變化的圖表。圖3中的（a）示出流至伺服電機(jī)25的電流的值i的經(jīng)年變化。在此的電流值是將伺服電機(jī)25例如以規(guī)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)的情況下的電流值按時(shí)間序列存儲(chǔ)。例如根據(jù)伺服電機(jī)25的特性設(shè)定電流限制值ith。

圖3中的（b）分別示出伺服電機(jī)25的位置偏差p的經(jīng)年變化。在此的位置偏差p是將伺服電機(jī)25的指令位置例如為規(guī)定的基準(zhǔn)位置的情況下由位置檢測(cè)器27檢測(cè)的電機(jī)25的位置從基準(zhǔn)位置的脫離量按時(shí)間序列存儲(chǔ)。例如根據(jù)位置控制的精度設(shè)定位置偏差閾值pth。另外，均為存儲(chǔ)從裝置的出貨時(shí)起例如5年間的時(shí)序數(shù)據(jù)。

如圖3中的（a）及圖3中的（b）所示，作為劣化指標(biāo)參數(shù)的伺服電機(jī)25的位置偏差p或電流的值i隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)緩緩上升。在維持如此的傾向的情況下，即使是電流值i或位置偏差p均超越電流限制值ith或位置偏差閾值pth的情況，原因在于老化引起的與搬送機(jī)構(gòu)5的伺服電機(jī)25連動(dòng)的齒輪的阻塞或潤(rùn)滑油的枯竭等的可能性也較高。若將動(dòng)作速度降低，則能降低電流值，且能通過(guò)修正來(lái)避免位置偏差造成妨礙，因此能夠由軟件的判斷使速度降低、使搬送裝置2的動(dòng)作繼續(xù)。

與此相對(duì)，圖4是示意性地示出圖3的狀態(tài)中發(fā)生故障的情況下的劣化指標(biāo)參數(shù)的變化的圖表。圖4中的（a）及圖4中的（b）對(duì)應(yīng)于圖3中的（a）及圖3中的（b）。如圖4所示，時(shí)刻ｔ0時(shí)，作為劣化指標(biāo)參數(shù)的位置偏差p或電流值i急劇上升。該情況下，原因在于與障礙物的沖突、齒輪破損等驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)故障的可能性較高。即、存在電機(jī)等物體自身破損的可能性，因此難以由軟件的判斷使動(dòng)作繼續(xù)。因此，從觀測(cè)的偏差或電流值等早期發(fā)現(xiàn)故障位置，能夠縮短修理花費(fèi)的時(shí)間。

接著用圖5的流程圖說(shuō)明控制裝置3的自我狀態(tài)監(jiān)視及自動(dòng)復(fù)歸動(dòng)作。

首先，如圖5所示，控制裝置3監(jiān)視劣化指標(biāo)參數(shù)（步驟s1）。取得器31取得作為位置控制時(shí)電機(jī)的位置偏差及流至電機(jī)的電流的、劣化指標(biāo)參數(shù)的值的時(shí)序數(shù)據(jù)。取得的劣化指標(biāo)參數(shù)的值作為時(shí)序數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器32。借助于此，能夠監(jiān)視搬送裝置2的自我狀態(tài)。

接著，控制器33判斷劣化指標(biāo)參數(shù)的值是否超過(guò)預(yù)先設(shè)定的閾值（步驟s2）?？刂破?3持續(xù)監(jiān)視直至劣化指標(biāo)參數(shù)的值超過(guò)閾值，在劣化指標(biāo)參數(shù)的值超過(guò)閾值的情況下停止搬送機(jī)構(gòu)（步驟s3）。借助于此，能夠確保發(fā)生機(jī)械及電氣故障的情況下的安全。在此，控制器33在劣化指標(biāo)參數(shù)的值超過(guò)閾值時(shí)向警報(bào)裝置4發(fā)出警告信號(hào)。接收它的警報(bào)裝置4向周圍的現(xiàn)場(chǎng)操作者報(bào)知搬送裝置2處于警告狀態(tài)之意。借助于此，警告信號(hào)時(shí)，存在搬送裝置2自動(dòng)復(fù)歸的可能性，因此作業(yè)者沒(méi)有必要立刻進(jìn)行修復(fù)作業(yè)。尤其是半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)的真空環(huán)境下不期望人進(jìn)入設(shè)備內(nèi)，因而例如能夠謀得定期維護(hù)之前的時(shí)間。

接著，控制器33，在使搬送機(jī)構(gòu)5停止后，基于時(shí)序數(shù)據(jù)的變化模式來(lái)判定劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)閾值是否是因搬送機(jī)構(gòu)5的老化引起的（步驟s4）。本實(shí)施形態(tài)中，示出搬送機(jī)構(gòu)5的老化的時(shí)序數(shù)據(jù)的變化模式，是基于劣化指標(biāo)參數(shù)值的規(guī)定時(shí)間內(nèi)的變化量判別的。借助于此，能夠適宜地判別時(shí)序數(shù)據(jù)的變化模式是否示出搬送機(jī)構(gòu)5的老化。

在步驟s4判定為劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)閾值是因搬送機(jī)構(gòu)5的老化引起的情況下，將搬送機(jī)構(gòu)5的動(dòng)作速度降低至規(guī)定的速度而進(jìn)行動(dòng)作復(fù)歸（步驟s5）。借助于此，即使發(fā)生因老化造成的機(jī)械及電氣故障的情況下也能不介入人力而修復(fù)。又，關(guān)于降低速度以此能回避的出錯(cuò)，通過(guò)自動(dòng)降低速度使搬送裝置2動(dòng)作，使得縮短裝置的停工時(shí)間成為可能。

在步驟s5中判定為劣化指標(biāo)參數(shù)值超過(guò)閾值并非因搬送機(jī)構(gòu)5的老化引起的情況下，向警報(bào)裝置4發(fā)出出錯(cuò)信號(hào)的同時(shí)使整個(gè)系統(tǒng)停止（步驟s6）。接受了出錯(cuò)信號(hào)的警報(bào)裝置4向周圍通知處于出錯(cuò)狀態(tài)之意。作業(yè)者使包括搬送裝置2及生產(chǎn)線等周邊設(shè)備的整個(gè)系統(tǒng)停止，從觀測(cè)到的偏差或電流值等早期發(fā)現(xiàn)故障位置，能夠縮短修理所花費(fèi)的時(shí)間。

因此，根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，即使是發(fā)生機(jī)械及電氣故障的情況下，也能夠借助監(jiān)視搬送裝置的自我狀態(tài)，掌握動(dòng)作的鈍化或電流及電壓的増減。因此能夠根據(jù)狀態(tài)視為出錯(cuò)、或在出錯(cuò)以前發(fā)出警告。又，關(guān)于降低速度以此能回避的出錯(cuò)，通過(guò)自動(dòng)降低速度使搬送裝置動(dòng)作，能夠使裝置的停工時(shí)間達(dá)到最小限。

此外，本實(shí)施形態(tài)中劣化指標(biāo)參數(shù)是位置控制時(shí)電機(jī)的位置偏差及流至電機(jī)的電流雙方，但也可以是任意一方。又，劣化指標(biāo)參數(shù)也可以是伺服電機(jī)的速度的偏差。

此外，本實(shí)施形態(tài)中，控制裝置3在使搬送裝置2復(fù)歸時(shí)，將動(dòng)作速度降低至規(guī)定的速度，但亦可階段性地降低。例如使動(dòng)作速度以100％、50％、25％、12.5％（停止）的形式，在參數(shù)的值不恢復(fù)的情況下階段性地降低。借助于此，使搬送裝置2的動(dòng)作復(fù)歸變得容易。

根據(jù)上述說(shuō)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員明了本發(fā)明較多的改良和其他實(shí)施形態(tài)。因此，上述說(shuō)明應(yīng)只作為示例來(lái)解釋，是以向本領(lǐng)域技術(shù)人員教導(dǎo)實(shí)施本發(fā)明的最優(yōu)形態(tài)為目的而提供的。在不脫離本發(fā)明的精神的情況下，可實(shí)質(zhì)性地變更其結(jié)構(gòu)及功能的一方或雙方的具體內(nèi)容。

工業(yè)實(shí)用性

本發(fā)明在半導(dǎo)體基板等的搬送裝置中有用。

符號(hào)說(shuō)明

1搬送系統(tǒng)

2搬送裝置

3控制裝置

4警報(bào)裝置

5搬送機(jī)構(gòu)

6基臺(tái)

7升降軸

8第一連桿

9第二連桿

10第三連桿

11末端執(zhí)行器

21交流電源

22ac/dc變換電路

23平滑電路

24逆變電路

25伺服電機(jī)

26電流檢測(cè)器

27位置檢測(cè)器

31取得器

32存儲(chǔ)器

33控制器。