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      一種帶復(fù)合緩沖層的LED外延結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號:12614310閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種帶復(fù)合緩沖層的LED外延結(jié)構(gòu),它從下到上依次包括藍寶石襯底層(1)、緩沖層(2)、u型GaN層(3)、n型GaN層(4)、量子阱發(fā)光層(5)、電子阻擋層(6)和p型GaN層(7),其特征在于:所述緩沖層(2)為復(fù)合緩沖層,緩沖層(2)包括從下到上依次生長的低溫緩沖層(21)、高溫GaN層(22)以及低溫緩沖插入層(231)或者中溫緩沖插入層(232)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶復(fù)合緩沖層的LED外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述低溫緩沖插入層(231)的生長溫度為500-600℃,生長壓力為500-600Torr,生長時間為145-195s,無摻雜。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶復(fù)合緩沖層的LED外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述中溫緩沖插入層(232)的生長溫度為700-900℃,生長壓力為500-600Torr,生長時間為145-195s,無摻雜。

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