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      一種能提高抗靜電能力和發(fā)光效率的藍(lán)光LED外延結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):12614315閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種能提高抗靜電能力和發(fā)光效率的藍(lán)光LED外延結(jié)構(gòu),它從下至上依次包括藍(lán)寶石襯底(1)、AlN緩沖層(2)、U型GaN層(3)、N型GaN層(4)、有源區(qū)(5)、電子阻擋層(6)和P型GaN層(7),其特征在于:所述P型GaN層(7)包括生長(zhǎng)厚度較薄的薄P-GaN層(8)、厚度較厚的厚P-GaN層(9)以及依次生長(zhǎng)在薄P-GaN層(8)和厚P-GaN層(9)上方的低濃度 P-GaN層(10)、超高濃度薄P-GaN層(11)和高濃度厚P-InGaN層(12),所述薄P-GaN層(8)與厚P-GaN層(9)交替生長(zhǎng),或者厚P-GaN層(9)與薄P-GaN層(8)交替生長(zhǎng),交替生長(zhǎng)周期為6-20個(gè)周期,P型GaN層(7)中摻雜Mg元素或者同時(shí)摻雜Mg元素和In元素。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述能提高抗靜電能力和發(fā)光效率的藍(lán)光LED外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述薄P-GaN層(8)為高濃度層,薄P-GaN層(8)的厚度為10-30埃,生長(zhǎng)P型,摻雜的Mg元素濃度為6x1019 cm3-4x1020 cm3,同時(shí)摻雜In元素濃度為1x1017 cm3 ~4x1017 cm3;厚P-GaN層(9)為低濃度層,厚P-GaN層(9)的厚度為20-80埃,生長(zhǎng)P型,摻雜的Mg元素濃度為6x1019 cm3 -4x1020 cm3,同時(shí)摻雜In元素濃度為1x1017 cm3 ~4x1017 cm3;低濃度 P-GaN層(10)厚度為70-90埃,生長(zhǎng)P型,摻雜Mg元素濃度為6x1019 cm3 ~9.5x1019cm3;超高濃度薄P-GaN層(11)厚度為30-40埃,生長(zhǎng)P型,摻雜Mg元素濃度為6x1020cm3 ~9x1020 cm3;高濃度厚P-InGaN層(12)厚度為15-25埃,生長(zhǎng)P型,摻雜Mg元素濃度為2x1020cm3 ~5x1020 cm3,同時(shí)摻雜In元素濃度為2.4x1019 cm3 ~2.4x1020cm3。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述能提高抗靜電能力和發(fā)光效率的藍(lán)光LED外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述P型GaN層(7)的生長(zhǎng)溫度為800-1000℃,生長(zhǎng)壓力為180-300torr,P型GaN層(7)在氮?dú)?、氫氣或者氫氮混合氣環(huán)境中生長(zhǎng)。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述能提高抗靜電能力和發(fā)光效率的藍(lán)光LED外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述P型GaN層(7)采用P-InGaN或者PGaN中的任一種,所述薄P-GaN層(8)與厚P-GaN層(9)交替生長(zhǎng)采用InGaN/GaN、InGaN/InGaN或者GaN/GaN 中的任一種。

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